सेमीकंडक्टर उद्योगातील ग्रेफाइट सामग्रीची आवश्यकता विशेषत: उच्च आहे, ग्रेफाइटच्या सूक्ष्म कण आकारात उच्च परिशुद्धता, उच्च तापमान प्रतिकार, उच्च शक्ती, लहान नुकसान आणि इतर फायदे आहेत, जसे की: sintered ग्रेफाइट उत्पादने मोल्ड.सेमीकंडक्टर उद्योगात वापरल्या जाणाऱ्या ग्रेफाइट उपकरणांना (हीटर्स आणि त्यांच्या सिंटर्ड डाईजसह) वारंवार गरम होण्याच्या आणि थंड होण्याच्या प्रक्रियेला तोंड द्यावे लागते, ग्रेफाइट उपकरणांचे सेवा आयुष्य वाढवण्यासाठी, सामान्यतः वापरलेल्या ग्रेफाइट सामग्रीची कार्यक्षमता स्थिर असणे आवश्यक असते. आणि उष्णता प्रतिरोधक प्रभाव कार्य.
01 सेमीकंडक्टर क्रिस्टल वाढीसाठी ग्रेफाइट उपकरणे
सेमीकंडक्टर क्रिस्टल्स वाढवण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या सर्व प्रक्रिया उच्च तापमान आणि संक्षारक वातावरणात कार्यरत असतात. क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसचा हॉट झोन सहसा उष्णता-प्रतिरोधक आणि गंज-प्रतिरोधक उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट घटकांनी सुसज्ज असतो, जसे की हीटर, क्रूसिबल, इन्सुलेशन सिलेंडर, मार्गदर्शक सिलेंडर, इलेक्ट्रोड, क्रूसिबल होल्डर, इलेक्ट्रोड नट इ.
आम्ही क्रिस्टल उत्पादन उपकरणांचे सर्व ग्रेफाइट भाग तयार करू शकतो, जे वैयक्तिकरित्या किंवा सेटमध्ये पुरवले जाऊ शकतात किंवा ग्राहकांच्या गरजेनुसार विविध आकारांचे सानुकूलित ग्रेफाइट भाग बनवू शकतात. उत्पादनांचा आकार साइटवर मोजला जाऊ शकतो आणि तयार उत्पादनांची राख सामग्री कमी असू शकते5ppm पेक्षा.
सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सीसाठी 02 ग्रेफाइट उपकरणे
एपिटॅक्सियल प्रक्रिया म्हणजे सिंगल क्रिस्टल सब्सट्रेटवरील सब्सट्रेट प्रमाणेच जाळीच्या व्यवस्थेसह एकल क्रिस्टल सामग्रीच्या थराची वाढ होय. एपिटॅक्सियल प्रक्रियेत, वेफर ग्रेफाइट डिस्कवर लोड केले जाते. वेफरच्या एपिटॅक्सियल लेयरच्या गुणवत्तेत ग्रेफाइट डिस्कची कार्यक्षमता आणि गुणवत्ता महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. एपिटॅक्सियल उत्पादनाच्या क्षेत्रात, एसआयसी कोटिंगसह भरपूर अति-उच्च शुद्धता ग्रेफाइट आणि उच्च शुद्धता ग्रेफाइट बेस आवश्यक आहे.
सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सीसाठी आमच्या कंपनीच्या ग्रेफाइट बेसमध्ये विस्तृत ऍप्लिकेशन्स आहेत, ते उद्योगातील सामान्यतः वापरल्या जाणाऱ्या उपकरणांशी जुळू शकतात आणि उच्च शुद्धता, एकसमान कोटिंग, उत्कृष्ट सेवा जीवन आणि उच्च रासायनिक प्रतिकार आणि थर्मल स्थिरता आहे.
03 आयन इम्प्लांटेशनसाठी ग्रेफाइट उपकरणे
आयन इम्प्लांटेशन म्हणजे बोरॉन, फॉस्फरस आणि आर्सेनिकच्या प्लाझ्मा बीमला एका विशिष्ट ऊर्जेपर्यंत गती देण्याची आणि नंतर पृष्ठभागाच्या थराचे भौतिक गुणधर्म बदलण्यासाठी वेफर सामग्रीच्या पृष्ठभागाच्या थरात इंजेक्शन देण्याची प्रक्रिया होय. आयन इम्प्लांटेशन यंत्राचे घटक उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता, थर्मल चालकता, आयन बीममुळे कमी गंज आणि कमी अशुद्धता असलेल्या उच्च-शुद्धतेच्या सामग्रीचे बनलेले असावे. उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट अनुप्रयोग आवश्यकता पूर्ण करते, आणि आयन इम्प्लांटेशन उपकरणांच्या फ्लाइट ट्यूब, विविध स्लिट्स, इलेक्ट्रोड्स, इलेक्ट्रोड कव्हर्स, कंड्युइट्स, बीम टर्मिनेटर इत्यादींसाठी वापरले जाऊ शकते.
आम्ही विविध आयन इम्प्लांटेशन मशीनसाठी केवळ ग्रेफाइट शील्डिंग कव्हरच देऊ शकत नाही, तर उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड आणि आयन स्त्रोत देखील प्रदान करू शकतो ज्यामध्ये विविध वैशिष्ट्यांचे उच्च गंज प्रतिरोधक आहे. लागू मॉडेल: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM आणि इतर उपकरणे. याव्यतिरिक्त, आम्ही जुळणारे सिरॅमिक, टंगस्टन, मॉलिब्डेनम, ॲल्युमिनियम उत्पादने आणि कोटेड भाग देखील प्रदान करू शकतो.
04 ग्रेफाइट इन्सुलेशन साहित्य आणि इतर
सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या थर्मल इन्सुलेशन सामग्रीमध्ये ग्रेफाइट हार्ड फील, सॉफ्ट फील, ग्रेफाइट फॉइल, ग्रेफाइट पेपर आणि ग्रेफाइट दोरी यांचा समावेश होतो.
आमचा सर्व कच्चा माल ग्रेफाइट आयात केला जातो, जो ग्राहकाच्या गरजेनुसार कापला जाऊ शकतो किंवा संपूर्णपणे विकला जाऊ शकतो.
कार्बन-कार्बन ट्रे सौर मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन आणि पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन पेशींच्या उत्पादन प्रक्रियेत फिल्म कोटिंगसाठी वाहक म्हणून वापरली जाते. कामाचे तत्त्व आहे: सिलिकॉन चिप CFC ट्रेमध्ये घाला आणि फिल्म कोटिंगवर प्रक्रिया करण्यासाठी भट्टीच्या ट्यूबमध्ये पाठवा.
