एपिटॅक्सियल एपी ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टर
एपिटॅक्सियल एपी ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टरडिपॉझिशन किंवा एपिटॅक्सी प्रक्रियांसारख्या उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान सेमीकंडक्टर सब्सट्रेट्स ठेवण्यासाठी आणि गरम करण्यासाठी वापरले जाणारे विशेष डिझाइन केलेले सपोर्ट आणि हीटिंग डिव्हाइस आहे.
त्याच्या संरचनेत सामान्यत: दंडगोलाकार किंवा किंचित बॅरल-आकाराचा समावेश असतो, पृष्ठभागावर वेफर्स ठेवण्यासाठी अनेक पॉकेट्स किंवा प्लॅटफॉर्म असतात, गरम करण्याच्या पद्धतीवर अवलंबून, घन किंवा पोकळ डिझाइन असू शकते.
एपिटॅक्सियल बॅरल ससेप्टरची मुख्य कार्ये:
-सबस्ट्रेट सपोर्ट: अनेक सेमीकंडक्टर वेफर्स सुरक्षितपणे धारण करतात;
-उष्णता स्त्रोत: गरम करून वाढीसाठी आवश्यक उच्च तापमान प्रदान करते;
- तापमान एकसमानता: सब्सट्रेट्स एकसमान गरम करणे सुनिश्चित करते;
-रोटेशन: तापमान आणि गॅस वितरण एकसमानता सुधारण्यासाठी सामान्यतः वाढीच्या दरम्यान फिरते.
एपि ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टरचे कार्य तत्त्व:
- एपिटॅक्सियल रिॲक्टरमध्ये, बॅरल ससेप्टर आवश्यक तापमानाला गरम केले जाते (सामान्यत: सिलिकॉन एपिटॅक्सीसाठी 1000℃-1200℃);
-बॅरल ससेप्टर एकसमान तापमान वितरण आणि गॅस प्रवाह सुनिश्चित करण्यासाठी फिरते;
-रिएक्शन वायू उच्च तापमानात विघटित होतात, ज्यामुळे थर पृष्ठभागावर एपिटॅक्सियल स्तर तयार होतात.
अर्ज:
-प्रामुख्याने सिलिकॉन एपिटॅक्सियल वाढीसाठी वापरला जातो
- GaAs, InP, इत्यादी सारख्या इतर अर्धसंवाहक सामग्रीच्या एपिटॅक्सीसाठी देखील लागू.
रासायनिक स्थिरता वाढवण्यासाठी VET एनर्जी CVD-SiC कोटिंगसह उच्च शुद्धता ग्रेफाइट वापरते:
VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor चे फायदे:
- उच्च तापमान स्थिरता;
- चांगली थर्मल एकसमानता;
- एकाच वेळी अनेक सब्सट्रेट्सवर प्रक्रिया करू शकते, उत्पादन कार्यक्षमता सुधारते;
-रासायनिकदृष्ट्या निष्क्रिय, उच्च शुद्धता वाढीचे वातावरण राखून.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd हा उच्च-स्तरीय प्रगत साहित्य, ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड, सिरॅमिक्स, SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन सारख्या पृष्ठभागावरील उपचारांसह उच्च दर्जाच्या प्रगत सामग्रीचे उत्पादन आणि विक्री यावर लक्ष केंद्रित करणारा एक उच्च-तंत्रज्ञान उपक्रम आहे. कोटिंग, पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग इ., ही उत्पादने फोटोव्होल्टेइक, सेमीकंडक्टर, नवीन ऊर्जा, धातूशास्त्र इत्यादींमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरली जातात.
आमची तांत्रिक टीम शीर्ष देशांतर्गत संशोधन संस्थांमधून येते, आणि उत्पादनाची कार्यक्षमता आणि गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी अनेक पेटंट तंत्रज्ञान विकसित केले आहे, ग्राहकांना व्यावसायिक सामग्री समाधाने देखील प्रदान करू शकतात.
तांत्रिक चर्चा आणि सहकार्यासाठी आमच्या प्रयोगशाळेला आणि वनस्पतीला भेट देण्यासाठी आम्ही तुमचे मनापासून स्वागत करतो!
