SiC бүрээстэй бал чулуу MOCVD Өргөвч зөөгч, Графит мэдрэгчSiC эпитакси,
Нүүрстөрөгч нь мэдрэгчийг хангадаг, Графит эпитакс мэдрэгч, Графитыг дэмжих субстрат, MOCVD мэдрэгч, SiC эпитакси, Өргөст хальсан шүүрэгчид,
Манай SiC бүрсэн графит мэдрэгчийн онцгой давуу тал нь маш өндөр цэвэршилт, нэгэн төрлийн бүрэх, маш сайн үйлчилгээний хугацаа юм. Тэд мөн өндөр химийн эсэргүүцэл, дулааны тогтвортой байдлын шинж чанартай байдаг.
Хагас дамжуулагчийн хэрэглээнд зориулсан графит субстратын SiC бүрэх нь исэлдүүлэгч уур амьсгалд тэсвэртэй, өндөр цэвэршилттэй хэсгийг үйлдвэрлэдэг.
CVD SiC эсвэл CVI SiC нь энгийн эсвэл нарийн төвөгтэй дизайнтай хэсгүүдийн графит дээр хэрэглэнэ. Бүрхүүлийг янз бүрийн зузаантай, маш том хэсгүүдэд түрхэж болно.
Онцлогууд:
· Маш сайн дулааны цохилтонд тэсвэртэй
· Биеийн цочролд маш сайн тэсвэртэй
· Маш сайн химийн эсэргүүцэл
· Супер өндөр цэвэршилттэй
· Цогцолбор хэлбэртэй байх боломжтой
· Исэлдэж буй агаар мандалд ашиглах боломжтой
Хэрэглээ:
Суурь графит материалын ердийн шинж чанарууд:
Харагдах нягтрал: | 1.85 г/см3 |
Цахилгаан эсэргүүцэл: | 11 мкм |
Гулзайлтын хүч: | 49 МПа (500кгф/см2) |
Эргийн хатуулаг: | 58 |
Үнс: | <5ppm |
Дулаан дамжуулалт: | 116 Вт/мК (100 ккал/мцаг-℃) |
Нүүрстөрөгч нь мэдрэгчийг хангадагба одоогийн бүх эпитаксийн реакторын бал чулууны бүрэлдэхүүн хэсгүүд. Манай багцад түрхсэн болон LPE нэгжүүдэд зориулсан баррель мэдрэгч, LPE, CSD, Gemini нэгжүүдэд зориулсан хуушуур мэдрэгч, хэрэглээний болон ASM нэгжүүдэд зориулсан нэг талст хальсан мэдрэгч багтдаг. Тэргүүлэгч OEM, материалын туршлага, үйлдвэрлэлийн ноу-хау, SGL-тэй хүчтэй түншлэлийг нэгтгэснээрээ. таны хэрэглээний оновчтой загварыг санал болгож байна.