RTP/RTA-д зориулсан SiC бүрэх зөөгч нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст хэрэглэгддэг гол бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд бид өөрсдийн патентлагдсан технологийг ашиглан цахиурын карбид зөөгчийг маш өндөр цэвэршилттэй, сайн бүрэх чадвартай, маш сайн үйлчилгээтэй болгодог. түүнчлэн химийн өндөр эсэргүүцэл ба дулааны тогтвортой байдлын шинж чанарууд.
Манай бүтээгдэхүүний онцлог:
1. 1700℃ хүртэл өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцэл.
2. Өндөр цэвэршилт, дулааны жигд байдал
3. Маш сайн зэврэлтэнд тэсвэртэй: хүчил, шүлт, давс, органик урвалжууд.
4. Өндөр хатуулаг, нягт гадаргуу, нарийн ширхэгтэй тоосонцор.
5. Үйлчилгээний хугацаа урт, удаан эдэлгээтэй
| ЗСӨ SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ийн үндсэн физик шинж чанаруудбүрэх | |
| 性质 / Эд хөрөнгө | 典型数值 / Ердийн утга |
| 晶体结构 / Кристал бүтэц | FCC β үе шат多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Нягт | 3.21 г/см³ |
| 硬度 / Хатуулаг | 2500 维氏硬度（500г ачаалал） |
| 晶粒大小 / Үр тарианы хэмжээ | 2 ~ 10 мкм |
| 纯度 / Химийн цэвэр байдал | 99.99995% |
| 热容 / Дулааны багтаамж | 640 Жкг-1· К-1 |
| 升华温度 / Сублимацийн температур | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Гулзайлтын бат бэх | 415 МПа RT 4 цэг |
| 杨氏模量 / Young's modulus | 430 Gpa 4pt нугалах, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermaлДамжуулах чадвар | 300W·m-1· К-1 |
| 热膨胀系数 / Дулааны тэлэлт (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy нь SiC бүрэх, TaC бүрэх, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрэх, пиролит нүүрстөрөгчийн бүрэх гэх мэт өөр өөр өнгөлгөө бүхий графит, цахиурын карбидын бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэдэг жинхэнэ үйлдвэрлэгч бөгөөд хагас дамжуулагч болон фотоволтайкийн үйлдвэрлэлийн төрөл бүрийн захиалгат эд ангиудыг нийлүүлэх боломжтой.
Манай техникийн баг дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас ирдэг тул танд илүү мэргэжлийн материаллаг шийдлүүдийг санал болгож чадна.
Бид илүү дэвшилтэт материалаар хангах дэвшилтэт процессуудыг тасралтгүй хөгжүүлж, тусгай патентлагдсан технологийг боловсруулсан бөгөөд энэ нь бүрээс болон субстрат хоорондын холболтыг илүү нягт, салгахад өртөмтгий болгодог.
Таныг манай үйлдвэрт хүрэлцэн ирэхийг урьж байна, цаашдаа ярилцъя!
