Яагаад сийрэгжүүлэх хэрэгтэй байна вэ?

Ар талын үйл явцын үе шатанд, theвафер (цахиур хавтанУрд талдаа хэлхээтэй) савлагааны өндрийг багасгах, чипний багцын хэмжээг багасгах, чипийн дулааны тархалтын үр ашиг, цахилгааны гүйцэтгэл, механик шинж чанарыг сайжруулахын тулд дараагийн шоо дөрвөлжин, гагнуур, баглаа боодлын өмнө ар талыг сийрэгжүүлэх шаардлагатай. шоо зүсэх. Буцах нунтаглах нь өндөр үр ашигтай, хямд өртөгтэй давуу талтай. Уламжлалт нойтон сийлбэр болон ион сийлбэрийг сольж, нурууны сийрэгжилтийн хамгийн чухал технологи болсон.

Нимгэн вафель

Хэрхэн турах вэ?

Уламжлалт сав баглаа боодлын процесст өрмөнцөр сийрэгжүүлэх үндсэн үйл явц

-ийн тодорхой алхамуудваферсийрэгжүүлэх нь сийрэгжүүлэгч хальсанд боловсруулагдах өрөмийг нааж, сийрэгжүүлэгч хальс болон түүн дээрх чипийг вакуум ашиглан сүвэрхэг вааран вааран хавтан дээр шингээж, ажлын гадаргуугийн дотоод болон гадна дугуй завины төв шугамыг тохируулах явдал юм. аяга хэлбэртэй алмаазан нунтаглагч дугуй нь цахиурын өрлөгийн төв рүү, цахиур хавтан болон нунтаглах хүрд нь тус тусын тэнхлэгээ тойрон эргэлддэг. зүсэх нунтаглах зориулалттай. Нунтаглах нь барзгар нунтаглах, нарийн нунтаглах, өнгөлөх гэсэн гурван үе шаттай.

Өрөөсний үйлдвэрээс гарч байгаа вафель нь савлагаанд шаардагдах зузаан хүртэл сийрэгжүүлэхийн тулд буцаан нунтагладаг. Өргөст хальсыг нунтаглах үед хэлхээний талбайг хамгаалахын тулд урд талдаа (Идэвхтэй талбай) тууз наах шаардлагатай бөгөөд арын тал нь нэгэн зэрэг нунтаглана. Нунтагласны дараа туузыг авч, зузааныг хэмжинэ.
Цахиур хавтан бэлтгэхэд амжилттай хэрэглэгдэж байгаа нунтаглах процесст эргэлдэх ширээний нунтаглах,цахиур хавтанэргүүлэх нунтаглах, хоёр талт нунтаглах гэх мэт. Нэг болор цахиур хавтанцарын гадаргуугийн чанарт тавигдах шаардлагуудыг цаашид сайжруулахын хэрээр TAIKO нунтаглах, химийн механик нунтаглах, өнгөлөх нунтаглах, гаригийн диск нунтаглах зэрэг нунтаглалтын шинэ технологийг байнга санал болгож байна.

Эргэдэг ширээний нунтаглах:

Эргэдэг ширээний нунтаглах (эргэдэг ширээний нунтаглах) нь цахиур хавтан бэлтгэх, нурууг сийрэгжүүлэхэд ашигладаг эрт нунтаглах процесс юм. Үүний зарчмыг 1-р зурагт үзүүлэв. Цахиур хавтан нь эргэлдэх ширээний сорох аяган дээр бэхлэгдсэн бөгөөд эргэлдэх ширээний тусламжтайгаар синхроноор эргэлддэг. Цахиурын хавтан нь тэнхлэгээ тойрон эргэдэггүй; нунтаглах дугуй нь өндөр хурдтайгаар эргэлдэж байх үед тэнхлэгийн дагуу тэжээгддэг бөгөөд нунтаглах хүрдний диаметр нь цахиурын хавтангийн диаметрээс их байдаг. Эргэдэг ширээний нунтаглалтын хоёр төрөл байдаг: нүүрэн дээр шумбах нунтаглах ба нүүрний шүргэгч нунтаглах. Нүүрний шахуургатай нунтаглах үед нунтаглах дугуйны өргөн нь цахиурын хавтангийн диаметрээс их байх ба нунтаглах хүрдний гол нь тэнхлэгийн чиглэлийн дагуу илүүдлийг боловсруулах хүртэл тасралтгүй тэжээгдэж, дараа нь эргэлдэх ширээний хөтчийн дор цахиурын хавтанг эргүүлнэ; нүүрний шүргэгч нунтаглалтын үед нунтаглах хүрд нь тэнхлэгийнхээ дагуу тэжээгддэг бөгөөд эргэлдэх дискний хөтчийн дор цахиур хавтан тасралтгүй эргэлдэж, сэлгэн тэжээл (reciprocation) эсвэл creep feeding (creepfeed) замаар нунтаглах ажлыг дуусгадаг.

Зураг 1, эргэдэг ширээний нунтаглах (нүүрний шүргэгч) зарчмын бүдүүвч диаграмм

Нунтаглах аргатай харьцуулахад эргэдэг ширээний нунтаглах нь өндөр зайлуулах хурд, гадаргуугийн гэмтэл бага, автоматжуулалт хялбар байдаг. Гэхдээ зүсэх байрлал өөрчлөгдөхөд нунтаглах процесс дахь бодит нунтаглалтын талбай (идэвхтэй нунтаглах) B ба зүсэлтийн өнцөг θ (нунтаглах дугуйны гаднах тойрог ба цахиур хавтангийн гадна тойргийн хоорондох өнцөг) өөрчлөгддөг. нунтаглах хүрд нь тогтворгүй нунтаглах хүчийг бий болгож, гадаргуугийн хамгийн тохиромжтой нарийвчлалыг (TTV-ийн өндөр утга) олж авахад хэцүү болгож, ирмэг зэрэг согогийг амархан үүсгэдэг. нуралт ба ирмэгийн нуралт. Эргэдэг ширээний нунтаглах технологийг голчлон 200 мм-ээс бага хэмжээтэй дан болор цахиур хавтан боловсруулахад ашигладаг. Нэг болор цахиур хавтанцарын хэмжээ ихсэх нь тоног төхөөрөмжийн ажлын тавцангийн гадаргуугийн нарийвчлал, хөдөлгөөний нарийвчлалд илүү өндөр шаардлага тавьж байгаа тул эргэлдэх ширээний нунтаглах нь 300 мм-ээс дээш хэмжээтэй нэг талст цахиур хавтанг нунтаглахад тохиромжгүй юм.
Нунтаглалтын үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд арилжааны онгоцны тангенциал нунтаглах төхөөрөмж нь ихэвчлэн олон нунтаглах дугуйны бүтцийг ашигладаг. Жишээлбэл, барзгар нунтаглах дугуй, нарийн нунтаглах дугуйны багц тоног төхөөрөмж дээр тоноглогдсон бөгөөд эргэдэг ширээ нь нэг тойрог эргэлдэж, барзгар нунтаглах, нарийн нунтаглах ажлыг ээлжлэн гүйцэтгэнэ. Энэ төрлийн тоног төхөөрөмжид Америкийн GTI компанийн G-500DS багтана (Зураг 2).

Зураг 2, АНУ-ын GTI компанийн G-500DS эргэдэг ширээний нунтаглах төхөөрөмж

Цахиур ялтсын эргүүлэх нунтаглах:

Том хэмжээтэй цахиур хавтан бэлтгэх, арын сийрэгжүүлэх боловсруулалтын хэрэгцээг хангах, TTV-ийн сайн чанарын гадаргуугийн нарийвчлалыг олж авахын тулд. 1988 онд Японы эрдэмтэн Мацуй цахиур ялтсыг эргүүлэх нунтаглах (тэжээлийн дотор нунтаглах) аргыг санал болгосон. Үүний зарчмыг 3-р зурагт үзүүлэв. Ажлын ширээн дээр шингэсэн дан болор цахиур хавтан ба аяга хэлбэртэй алмаазан нунтаглах дугуй нь тус тусын тэнхлэгээ тойрон эргэлдэж, нунтаглах хүрд нь тэнхлэгийн дагуу нэгэн зэрэг тасралтгүй тэжээгддэг. Тэдгээрийн дотроос нунтаглах дугуйны голч нь боловсруулсан цахиурын диаметрээс их байх ба түүний тойрог нь цахиурын хавтангийн төвөөр дамжин өнгөрдөг. Нунтаглах хүчийг бууруулж, нунтаглах дулааныг багасгахын тулд вакуум сорох аягыг ихэвчлэн гүдгэр эсвэл хотгор хэлбэртэй болгож, эсвэл нунтаглах хүрдний тэнхлэг болон сорох аяганы голын тэнхлэгийн хоорондох өнцгийг тохируулдаг. нунтаглах хүрд болон цахиур хавтан.

Зураг 3, Цахиур ялтсын эргэлдэх нунтаглах зарчмын бүдүүвч диаграм

Эргэдэг ширээний нунтаглалттай харьцуулахад цахиурын эргэлдэх нунтаглах нь дараах давуу талуудтай: ① Нэг удаагийн нунтаглах нь 300 мм-ээс дээш хэмжээтэй том хэмжээтэй цахиурын хавтанг боловсруулах боломжтой; ② Бодит нунтаглах талбай B ба зүсэх өнцөг θ тогтмол, нунтаглах хүч харьцангуй тогтвортой байна; ③ Нунтаглагч хүрдний тэнхлэг ба цахиур хавтан тэнхлэгийн хоорондох хазайлтын өнцгийг тохируулснаар нэг талст цахиур хавтанцарын гадаргуугийн хэлбэрийг идэвхтэй хянаж, гадаргуугийн хэлбэрийг илүү нарийвчлалтай олж авах боломжтой. Нэмж дурдахад, цахиур ялтсын эргэлдэх нунтаглалтын нунтаглах талбай болон зүсэлтийн өнцөг θ нь мөн том хэмжээтэй нунтаглах, онлайнаар зузаан болон гадаргуугийн чанарыг илрүүлэх, хянах хялбар, авсаархан тоног төхөөрөмжийн бүтэц, олон станцын нэгдсэн нунтаглах хялбар, нунтаглалтын өндөр үр ашигтай зэрэг давуу талуудтай.
Үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлж, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн шугамын хэрэгцээг хангахын тулд цахиур ялтсан эргэлдэх нунтаглалтын зарчимд суурилсан арилжааны нунтаглах төхөөрөмж нь нэг ачиж буулгах үед барзгар нунтаглах, нарийн нунтаглах ажлыг дуусгах боломжтой олон булны олон станцын бүтцийг ашигладаг. . Энэ нь бусад туслах байгууламжуудтай хослуулан "хатаах/хатаах" болон "хуурцагнаас хуурцаг" гэсэн дан болор цахиур ялтсуудыг бүрэн автоматаар нунтаглах боломжтой.

Хоёр талт нунтаглах:

Цахиур хавтанцарын эргэлдэх нунтаглах нь цахиурын дээд ба доод гадаргууг боловсруулах үед ажлын хэсгийг эргүүлж, үе шаттайгаар хийх шаардлагатай бөгөөд энэ нь үр ашгийг хязгаарладаг. Үүний зэрэгцээ, цахиур хавтангийн эргэлдэх нунтаглах нь гадаргууг хуулбарлах (хуулбарлах) болон нунтаглах тэмдэг (нунтаглах тэмдэг)тэй байдаг бөгөөд утсыг огтолсны дараа дан болор цахиурын хавтан дээрх долгион, нарийссан зэрэг согогийг үр дүнтэй арилгах боломжгүй юм. (олон хөрөө), 4-р зурагт үзүүлснээр дээрх согогийг арилгахын тулд хоёр талт нунтаглалтын технологи (давхар нунтаглах) 1990-ээд онд гарч ирсэн бөгөөд түүний зарчмыг Зураг 5-д үзүүлэв. Хоёр талдаа тэгш хэмтэй тархсан хавчаарууд нь дан болор цахиур ялтсыг бэхэлгээний цагирагт хавчуулж, булны тусламжтайгаар аажмаар эргэлддэг. Аяга хэлбэртэй хос алмаазан нунтаглах дугуй нь дан болор цахиурын ялтасны хоёр талд харьцангуй байрладаг. Агаар агуулсан цахилгаан булны тусламжтайгаар тэдгээр нь эсрэг чиглэлд эргэлдэж, тэнхлэгийн дагуу тэжээгддэг бөгөөд нэг талст цахиурын ялтсыг хоёр талт нунтаглахад хүрдэг. Зургаас харахад хоёр талт нунтаглах нь утсыг огтолсны дараа дан болор цахиурын хавтан дээрх долгион ба нарийсалтыг үр дүнтэй арилгаж чадна. Нунтаглах дугуйны тэнхлэгийн зохион байгуулалтын чиглэлийн дагуу хоёр талт нунтаглах нь хэвтээ ба босоо байж болно. Тэдгээрийн дотроос хэвтээ хоёр талт нунтаглах нь цахиур ялтсын хэв гажилтыг нунтаглах чанарт үзүүлэх нөлөөллийг үр дүнтэй бууруулж, нэг талст цахиурын хоёр тал дээр нунтаглах процессын нөхцөлийг хангахад хялбар байдаг. вафель нь адилхан бөгөөд зүлгүүрийн тоосонцор болон нунтаглах чипс нь дан болор цахиурын хавтан дээр үлдэх нь тийм ч хялбар биш юм. Энэ нь нунтаглах харьцангуй тохиромжтой арга юм.

Зураг 4, "Алдаа хуулбарлах" болон цахиур хавтан эргүүлэх нунтаглалтын элэгдлийн тэмдгийн согог

Зураг 5, хоёр талт нунтаглалтын зарчмын бүдүүвч диаграмм

1-р хүснэгтэд дээрх гурван төрлийн нэг талст цахиур ялтсын нунтаглалтын болон хоёр талт нунтаглалтын харьцуулалтыг үзүүлэв. Хоёр талт нунтаглах аргыг голчлон 200 мм-ээс доош хэмжээтэй цахиурын хавтан боловсруулахад ашигладаг бөгөөд ялтсын гарц өндөр байдаг. Тогтмол зүлгүүрийн нунтаглах дугуйг ашигладаг тул нэг талст цахиур хавтанг нунтаглах нь хоёр талт нунтаглахаас хамаагүй өндөр гадаргуугийн чанарыг олж авах боломжтой. Иймээс цахиур ялтсын эргэлдэх нунтаглах болон хоёр талт нунтаглах нь 300 мм-ийн цахиур хавтангийн боловсруулалтын чанарын шаардлагыг хангаж чадах бөгөөд одоогийн байдлаар тэгшлэх боловсруулах хамгийн чухал арга юм. Цахиурт өрөмийг тэгшлэх боловсруулах аргыг сонгохдоо нэг талст цахиур хавтанцарын диаметрийн хэмжээ, гадаргуугийн чанар, өнгөлгөөний хавтан боловсруулах технологийн шаардлагыг цогцоор нь авч үзэх шаардлагатай. Өргөст ялтсын арын сийрэгжилт нь зөвхөн нэг талт боловсруулалтын аргыг сонгох боломжтой, тухайлбал, цахиурын хавтанцарыг эргүүлэх нунтаглах арга.

Цахиурын хавтанцар нунтаглахдаа нунтаглах аргыг сонгохоос гадна эерэг даралт, нунтаглах хүрдний ширхэгийн хэмжээ, нунтаглах хүрд холбогч, нунтаглах хүрдний хурд, цахиурын ялтасны хурд, нунтаглах шингэний зуурамтгай чанар, нунтаглах хүрдний ширхэгийн хэмжээ зэрэг боломжийн процессын параметрүүдийг сонгох шаардлагатай. урсгалын хурд гэх мэт, боломжийн процессын замыг тодорхойлох. Ихэвчлэн барзгар нунтаглах, хагас боловсруулсан нунтаглах, өнгөлгөөний нунтаглах, очгүй нунтаглах, удаан суурьтай нунтаглах үйл явц нь өндөр боловсруулалтын үр ашигтай, гадаргуу өндөр тэгш, гадаргуугийн гэмтэл багатай дан болор цахиур ялтсуудыг олж авахад ашиглагддаг.