Орчин үеийн технологийн дэвшилтэт ертөнцөджигнэмэг, мөн цахиур хавтан гэж нэрлэдэг, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Эдгээр нь микропроцессор, санах ой, мэдрэгч гэх мэт төрөл бүрийн электрон эд ангиудыг үйлдвэрлэх үндэс суурь болдог бөгөөд вафель бүр нь тоо томшгүй олон электрон эд ангиудыг агуулдаг. Тэгэхээр бид яагаад нэг хайрцагт 25 ширхэг вафель хардаг вэ? Үүний цаана үнэндээ шинжлэх ухааны үндэслэл, аж үйлдвэрийн үйлдвэрлэлийн эдийн засаг байгаа.
Хайрцагт 25 ширхэг өргүүр байдгийн учрыг дэлгэж байна
Нэгдүгээрт, вафельний хэмжээг ойлгох хэрэгтэй. Стандарт өрмөнцөрийн хэмжээ нь ихэвчлэн 12 инч ба 15 инч байдаг бөгөөд энэ нь янз бүрийн үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж, процесст дасан зохицох явдал юм.12 инчийн вафельЭдгээр нь илүү олон чипийг багтаах боломжтой бөгөөд үйлдвэрлэлийн өртөг, үр ашгийн хувьд харьцангуй тэнцвэртэй байдаг тул одоогоор хамгийн түгээмэл төрөл юм.
"25 ширхэг" гэсэн тоо санамсаргүй биш юм. Энэ нь зүсэх арга, вафель савлах үр ашигт суурилдаг. Өргөст хальс бүрийг үйлдвэрлэсний дараа олон бие даасан чипс үүсгэхийн тулд зүсэх шаардлагатай. Ерөнхийдөө, А12 инчийн вафельхэдэн зуун эсвэл бүр хэдэн мянган чипсийг огтолж чадна. Гэсэн хэдий ч удирдлага, тээвэрлэлтийг хөнгөвчлөх үүднээс эдгээр чипсийг ихэвчлэн тодорхой хэмжээгээр савладаг бөгөөд 25 ширхэг нь хэт том биш, хэт том биш, тээвэрлэлтийн явцад хангалттай тогтвортой байдлыг хангаж чаддаг тул нийтлэг тоо хэмжээний сонголт юм.
Үүнээс гадна 25 ширхэгийн тоо хэмжээ нь үйлдвэрлэлийн шугамыг автоматжуулах, оновчтой болгоход тустай. Багц үйлдвэрлэх нь нэг ширхэгийн боловсруулалтын зардлыг бууруулж, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлэх боломжтой. Үүний зэрэгцээ, хадгалах, тээвэрлэхэд зориулж 25 ширхэг хавтанцар хайрцаг нь ажиллахад хялбар бөгөөд эвдрэх эрсдэлийг бууруулдаг.
Технологийн дэвшлийг дагаад зарим өндөр зэрэглэлийн бүтээгдэхүүнүүд үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд 100 эсвэл 200 ширхэг гэх мэт илүү олон тооны багцыг хэрэглэж болохыг тэмдэглэх нь зүйтэй. Гэсэн хэдий ч ихэнх хэрэглээний зэрэглэлийн болон дунд зэрэглэлийн бүтээгдэхүүний хувьд 25 ширхэг вафель хайрцаг нь нийтлэг стандарт тохиргоо хэвээр байна.
Дүгнэж хэлэхэд, нэг хайрцган хавтан нь ихэвчлэн 25 ширхэгийг агуулдаг бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үр ашиг, зардлын хяналт, логистикийн тав тухтай байдлын хоорондох тэнцвэр юм. Технологи тасралтгүй хөгжихийн хэрээр энэ тоог тохируулж болох ч үйлдвэрлэлийн процессыг оновчтой болгох, эдийн засгийн үр ашгийг дээшлүүлэх үндсэн логик нь өөрчлөгдөөгүй хэвээр байна.
12 инчийн вафель фабууд нь FOUP болон FOSB, 8 инч ба түүнээс доош (8 инчийг оруулаад) кассет, SMIF POD, 12 инчийн хавтанцар хавтанг ашигладаг.вафель зөөгчхамтдаа FOUP гэж нэрлэдэг ба 8 инчвафель зөөгчнийлээд Кассет гэж нэрлэдэг. Ердийн үед хоосон FOUP нь ойролцоогоор 4.2 кг жинтэй, 25 ширхэг өргүүрээр дүүргэсэн FOUP нь ойролцоогоор 7.3 кг жинтэй байдаг.
QYResearch судалгааны багийн судалгаа, статистик мэдээллээс үзэхэд, 2022 онд дэлхийн өрөвсөн хайрцгийн зах зээлийн борлуулалт 4.8 тэрбум юаньд хүрч, 2029 онд 7.7 тэрбум юаньд хүрч, жилийн нийлмэл өсөлтийн хурд (CAGR) 7.9%-д хүрэх төлөвтэй байна. Бүтээгдэхүүний төрлөөр хагас дамжуулагч FOUP нь нийт зах зээлийн хамгийн том хувийг буюу 73 орчим хувийг эзэлдэг. Бүтээгдэхүүний хэрэглээний хувьд хамгийн том хэрэглээ нь 12 инчийн вафель, дараа нь 8 инчийн хавтан юм.
Үнэн хэрэгтээ, вафель үйлдвэрлэх үйлдвэрүүдэд өрмөнцөр шилжүүлэх FOUP гэх мэт олон төрлийн ялтсууд байдаг; Цахиурын хавтан үйлдвэрлэх болон ялтсыг үйлдвэрлэх үйлдвэр хооронд тээвэрлэх FOSB; CASSETTE тээвэрлэгчийг процесс хоорондын тээвэрлэлт, процесстой хамт ашиглах боломжтой.
НЭЭЛТТЭЙ ХАСсет
НЭЭЛТТЭЙ ХАССЕТЫГ ихэвчлэн вафель үйлдвэрлэлд процесс хоорондын тээвэрлэлт, цэвэрлэх процесст ашигладаг. FOSB, FOUP болон бусад тээвэрлэгчдийн нэгэн адил энэ нь ерөнхийдөө температурт тэсвэртэй, маш сайн механик шинж чанартай, хэмжээсийн тогтвортой байдал, бат бөх, статикийн эсрэг, хий ялгаруулах чадвар багатай, хур тунадас багатай, дахин боловсруулах боломжтой материалыг ашигладаг. Янз бүрийн процесст зориулж сонгосон хавтангийн хэмжээ, процессын зангилаа, материал нь өөр өөр байдаг. Ерөнхий материал нь PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP гэх мэт бүтээгдэхүүнүүд нь ерөнхийдөө 25 ширхэг багтаамжтай.
OPEN CASSETTE-г холбогдохтой хамт ашиглаж болноВафель кассетӨргөст цаасны бохирдлыг бууруулах зорилгоор процесс хооронд тээвэрлэх, хадгалах зориулалттай бүтээгдэхүүн.
OPEN CASSETTE-ийг өөрчилсөн Wafer Pod (OHT) бүтээгдэхүүнүүдтэй хамтад нь ашигладаг бөгөөд үүнийг автомат дамжуулалт, автомат хандалт, өрөвч үйлдвэрлэх болон чип үйлдвэрлэх процессуудын хооронд илүү битүүмжилсэн хадгалахад ашиглах боломжтой.
Мэдээж OPEN CASSETTE-г шууд ХУУДАС бүтээгдэхүүн болгож болно. Бүтээгдэхүүний Wafer Shipping Boxes нь доорх зурагт үзүүлсэн шиг ийм бүтэцтэй байдаг. Энэ нь вафель үйлдвэрлэх үйлдвэрээс чип үйлдвэрлэх үйлдвэр хүртэл өрмөнцөр тээвэрлэх хэрэгцээг хангаж чадна. КАССЕТТ болон түүнээс гаргаж авсан бусад бүтээгдэхүүн нь вафель үйлдвэр, чипний үйлдвэрүүд дэх янз бүрийн процессуудын хооронд дамжуулах, хадгалах, үйлдвэр хоорондын тээвэрлэлтийн хэрэгцээг үндсэндээ хангаж чадна.
Урд талын нээлтэй вафер тээвэрлэлтийн хайрцаг FOSB
Урд талын нээлтэй вафель тээвэрлэлтийн хайрцаг FOSB нь ихэвчлэн 12 инчийн өрмөнцөрийг өргүүрийн үйлдвэр болон чип үйлдвэрлэх үйлдвэрүүдийн хооронд тээвэрлэхэд ашиглагддаг. Өрөөний том хэмжээтэй, цэвэр байдалд тавигдах шаардлага өндөр байдаг тул; тусгай байрлалын хэсгүүд ба цочролд тэсвэртэй дизайн нь ялтсын шилжилтийн үрэлтийн улмаас үүссэн хольцыг багасгахад ашиглагддаг; түүхий эд нь хий ялгаруулах чадвар багатай материалаар хийгдсэн бөгөөд энэ нь ялтсуудыг бохирдуулах эрсдэлийг бууруулдаг. FOSB нь бусад тээврийн хэрэгслийн хайрцагтай харьцуулахад илүү сайн агаар нэвтрүүлдэггүй. Нэмж дурдахад, арын төгсгөлийн сав баглаа боодлын шугамын үйлдвэрт FOSB-ийг янз бүрийн процессуудын хооронд вафель хадгалах, шилжүүлэхэд ашиглаж болно.
FOSB нь ерөнхийдөө 25 ширхэгээр хийгдсэн байдаг. Автомат материалтай харьцах систем (AMHS) -ээр дамжуулан автоматаар хадгалах, татаж авахаас гадна гараар удирдах боломжтой.
Урд нээлтийн нэгдсэн Pod
Front Opening Unified Pod (FOUP) нь голчлон фабын үйлдвэрт вафель хамгаалах, тээвэрлэх, хадгалахад ашиглагддаг. Энэ нь 12 инчийн вафель үйлдвэрт автоматжуулсан тээвэрлэлтийн системд чухал ач холбогдолтой тээвэрлэгч сав юм. Үүний хамгийн чухал үүрэг бол үйлдвэрлэлийн машин бүрийн хооронд дамжуулах явцад 25 ширхэг ялтс бүрийг гадаад орчинд тоос шороонд бохирдуулахгүйн тулд үүгээр хамгаалж, улмаар ургацад нөлөөлдөг. FOUP бүр нь янз бүрийн холбох хавтан, зүү, нүхтэй тул FOUP нь ачаалах порт дээр байрладаг бөгөөд AMHS-ээр ажилладаг. Энэ нь хий ялгаруулах чадвар багатай, чийг шингээх чадвар багатай материалыг ашигладаг бөгөөд энэ нь органик нэгдлүүдийн ялгаралтыг эрс багасгаж, вафель бохирдлоос сэргийлдэг; Үүний зэрэгцээ маш сайн битүүмжлэх, инфляцийн функц нь вафельд чийгшил багатай орчинг бүрдүүлж чадна. Нэмж дурдахад FOUP-ийг улаан, улбар шар, хар, тунгалаг гэх мэт өөр өөр өнгөөр боловсруулж, үйл явцын шаардлагыг хангаж, өөр өөр процесс, процессыг ялгах боломжтой; Ерөнхийдөө FOUP-ийг Fab үйлдвэрийн үйлдвэрлэлийн шугам, машины ялгааны дагуу үйлчлүүлэгчид өөрчилдөг.
Нэмж дурдахад POUP-ийг SLOT FOUP, 297mm FOUP гэх мэт чипний арын савлагаа дахь TSV, FAN OUT зэрэг янз бүрийн процессын дагуу сав баглаа боодлын үйлдвэрлэгчдэд зориулж тусгай бүтээгдэхүүн болгон өөрчилж болно. FOUP-ийг дахин боловсруулж ашиглах боломжтой бөгөөд ашиглалтын хугацаа нь 2-4 жилийн хооронд. FOUP үйлдвэрлэгчид дахин ашиглалтад оруулах бохирдсон бүтээгдэхүүнийг хангахын тулд бүтээгдэхүүн цэвэрлэх үйлчилгээ үзүүлэх боломжтой.
Холбоо барихгүй хэвтээ вафель тээвэрлэгчид
Доорх зурагт үзүүлсэн шиг контактгүй хэвтээ вафель ачигчийг ихэвчлэн бэлэн хавтанцар тээвэрлэхэд ашигладаг. Entegris-ийн зөөвөрлөх хайрцаг нь өрөмийг хадгалах, тээвэрлэх явцад хүрэлцэхгүй байхын тулд тулгуур цагираг ашигладаг бөгөөд хольц бохирдох, элэгдэлд орох, мөргөлдөх, зураас, хий тайлах гэх мэт сайн битүүмжлэлтэй байдаг. Бүтээгдэхүүн нь ихэвчлэн Нимгэн 3D, линз эсвэл овойлттой хавтан ба түүний хэрэглээний талбарт 3D, 2.5D, MEMS, LED болон эрчим хүчний хагас дамжуулагч орно. Бүтээгдэхүүн нь 25 ширхэг (өөр өөр зузаантай) ялтсын багтаамжтай, 26 ширхэг тулгуур цагирагаар тоноглогдсон бөгөөд 150мм, 200мм, 300мм хэмжээтэй өргүүрийн хэмжээ багтана.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 7-р сарын 30-ны хооронд