Хуурай сийлбэр хийх үед хажуугийн хана яагаад бөхийдөг вэ?

Ионы бөмбөгдөлтийн жигд бус байдал

ХуурайсийлбэрЭнэ нь ихэвчлэн физик болон химийн нөлөөллийг хослуулсан процесс бөгөөд ионы бөмбөгдөлт нь физикийн сийлбэр хийх чухал арга юм. үеэрсийлбэрлэх үйл явц, ионуудын ослын өнцөг болон энергийн хуваарилалт жигд бус байж болно.

Хажуугийн хананы өөр өөр байрлалд ионы тусгалын өнцөг өөр өөр байвал хажуугийн хананд ионы сийлбэр үзүүлэх нөлөө бас өөр байх болно. Ионы ослын өнцөг ихтэй газруудад ионуудын хажуугийн хананд сийлбэр үзүүлэх нөлөө илүү хүчтэй байдаг тул энэ хэсгийн хажуугийн ханыг илүү их сийлбэрлэж, хажуугийн ханыг нугалахад хүргэдэг. Нэмж дурдахад ионы энергийн жигд бус хуваарилалт нь ижил төстэй үр нөлөөг бий болгоно. Илүү их энергитэй ионууд материалыг илүү үр дүнтэй арилгаж, улмаар үл нийцэл үүсгэдэгсийлбэрЯнз бүрийн байрлал дахь хажуугийн хананы зэрэг, энэ нь эргээд хажуугийн ханыг нугалахад хүргэдэг.

Фоторезистийн нөлөө

Photoresist нь сийлбэр хийх шаардлагагүй хэсгийг хамгаалж, хуурай сийлбэр хийхэд маск үүрэг гүйцэтгэдэг. Гэсэн хэдий ч фоторезист нь сийлбэр хийх явцад плазмын бөмбөгдөлт, химийн урвалд өртдөг бөгөөд түүний гүйцэтгэл өөрчлөгдөж болно.

Хэрэв фоторезистийн зузаан жигд бус, сийлбэр хийх явцад хэрэглээний хэмжээ таарахгүй, эсвэл өөр өөр байршилд фоторезист болон субстрат хоорондын наалдац өөр өөр байвал сийлбэр хийх явцад хажуугийн ханыг жигд бус хамгаалахад хүргэж болно. Жишээлбэл, нимгэн фоторезист эсвэл сул наалдсан хэсгүүд нь үндсэн материалыг хялбархан нааж, эдгээр газруудад хажуугийн ханыг нугалахад хүргэдэг.

Субстратын материалын шинж чанарын ялгаа

Сийлсэн субстратын материал нь өөрөө өөр өөр шинж чанартай байж болно, тухайлбал өөр өөр бүс нутагт өөр өөр талст чиглэл, допингийн концентраци зэрэг. Эдгээр ялгаа нь сийлбэрийн хурд болон сийлбэрийн сонгомол чанарт нөлөөлнө.
Жишээлбэл, талст цахиурт цахиурын атомуудын янз бүрийн талст чиглэлийн байршил өөр бөгөөд тэдгээрийн урвалд орох чадвар, сийлбэрийн хийтэй сийлбэрлэх хурд нь бас өөр байх болно. Сийлбэр хийх явцад материалын шинж чанарын ялгаатай байдлаас шалтгаалсан сийлбэрийн янз бүрийн хурд нь өөр өөр байршилд хажуугийн ханын сийлбэрийн гүнийг зөрүүтэй болгож, улмаар хажуугийн ханыг гулзайлгахад хүргэдэг.

Тоног төхөөрөмжтэй холбоотой хүчин зүйлүүд

Сийлбэрийн үр дүнд сийлбэр хийх төхөөрөмжийн гүйцэтгэл, байдал нь мөн чухал нөлөө үзүүлдэг. Жишээлбэл, урвалын камер дахь плазмын жигд бус тархалт, электродын жигд бус элэгдэл зэрэг асуудлууд нь сийлбэр хийх явцад ионы нягтрал, эрчим хүч зэрэг параметрүүдийг жигд бус хуваарилахад хүргэдэг.

Түүнчлэн, тоног төхөөрөмжийн температурын жигд бус зохицуулалт, хийн урсгалын бага зэрэг хэлбэлзэл нь сийлбэрийн жигд байдалд нөлөөлж, хажуугийн ханыг нугалахад хүргэдэг.