Химийн уурын хуримтлал (ЗСӨ) цахиурын гадаргуу дээр хатуу хальсыг буулгах үйл явцыг хэлнэваферхийн хольцын химийн урвалаар . Янз бүрийн урвалын нөхцлийн дагуу (даралт, прекурсор) үүнийг янз бүрийн тоног төхөөрөмжийн загварт хувааж болно.
Эдгээр хоёр төхөөрөмжийг ямар процессуудад ашигладаг вэ?
PECVD(Plasma Enhanced) тоног төхөөрөмж нь OX, Nitride, металл хаалга, аморф нүүрстөрөгч гэх мэт хамгийн олон тооны, хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг төхөөрөмж юм; LPCVD (Бага хүч) нь ихэвчлэн нитрид, поли, TEOS-д ашиглагддаг.
Ямар зарчим баримталдаг вэ?
PECVD- плазмын энерги болон ЗСӨ-ийг төгс хослуулсан процесс. PECVD технологи нь процессын камерын катод (жишээ нь, дээжийн тавиур) дээр бага даралтын дор гэрэлтэх туяа үүсгэхийн тулд бага температурт плазмыг ашигладаг. Энэхүү гялалзсан ялгадас эсвэл бусад халаалтын төхөөрөмж нь дээжийн температурыг урьдчилан тогтоосон түвшинд хүртэл өсгөж, дараа нь процессын хяналттай хийн хэмжээг нэвтрүүлэх боломжтой. Энэ хий нь хэд хэдэн химийн болон плазмын урвалд ордог бөгөөд эцэст нь дээжийн гадаргуу дээр хатуу хальс үүсгэдэг.
LPCVD - Бага даралтын химийн уурын хуримтлал (LPCVD) нь реактор дахь урвалын хийн ажлын даралтыг ойролцоогоор 133 Па буюу түүнээс бага болгон бууруулах зориулалттай.
Тус бүрийн онцлог нь юу вэ?
PECVD - Цусны сийвэнгийн энерги болон ЗСБ-ыг төгс хослуулсан процесс: 1) Бага температурт ажиллах (тоног төхөөрөмжид өндөр температурт гэмтэл учруулахгүй байх); 2) Киноны хурдацтай өсөлт; 3) Материалын талаар сонгогддоггүй, OX, Nitride, металл хаалга, аморф нүүрстөрөгч бүгд ургаж болно; 4) Ионы параметр, хийн урсгалын хурд, температур, хальсны зузаан зэргээр дамжуулан жорыг тохируулах боломжтой газар дээр нь хяналтын систем байдаг.
LPCVD - LPCVD-ээр хадгалсан нимгэн хальс нь илүү сайн шат дамжлагатай, бүтэц, бүтэц сайн хяналттай, өндөр тунадасны хурд, гаралттай байх болно. Нэмж дурдахад LPCVD нь зөөвөрлөгч хий шаарддаггүй тул тоосонцорыг бохирдуулах эх үүсвэрийг эрс багасгадаг бөгөөд өндөр нэмүү өртөг шингэсэн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрүүдэд нимгэн хальсан тунадасжилтад өргөн хэрэглэгддэг.
Дэлхийн өнцөг булан бүрээс ирсэн үйлчлүүлэгчдийг бидэнтэй уулзаж ярилцахыг урьж байна!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Шуудангийн цаг: 2024 оны 7-р сарын 24-ний хооронд