Цахиурын карбидын бүрээс,SiC бүрэх гэж нэрлэдэг бөгөөд энэ нь химийн уурын хуримтлал (CVD), физикийн уурын хуримтлал (PVD) эсвэл дулааны шүрших зэрэг аргаар гадаргуу дээр цахиурын карбидын давхаргыг хэрэглэх үйл явцыг хэлнэ. Энэхүү цахиурын карбидын керамик бүрээс нь элэгдэлд тэсвэртэй, дулааны тогтвортой байдал, зэврэлтээс хамгаалж янз бүрийн субстратын гадаргуугийн шинж чанарыг сайжруулдаг. SiC нь өндөр хайлах цэг (ойролцоогоор 2700 ℃), хэт хатуулаг (Mohs шкала 9), зэврэлт, исэлдэлтийн маш сайн эсэргүүцэл, онцгой салангид гүйцэтгэл зэрэг физик, химийн шинж чанараараа алдартай.
Аж үйлдвэрийн хэрэглээнд цахиурын карбидын бүрэх гол ашиг тус
Эдгээр шинж чанаруудын улмаас цахиурын карбидын бүрээс нь сансар огторгуй, зэвсгийн тоног төхөөрөмж, хагас дамжуулагч боловсруулах зэрэг салбарт өргөн хэрэглэгддэг. Хэт их орчинд, ялангуяа 1800-2000 ℃ температурт SiC бүрэх нь гайхалтай дулааны тогтвортой байдал, урвуу эсэргүүцэх чадварыг харуулдаг тул өндөр температурт хэрэглэхэд тохиромжтой. Гэсэн хэдий ч цахиурын карбид дангаараа олон төрлийн хэрэглээнд шаардлагатай бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хангадаггүй тул бүрэх аргыг бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн бат бөх чанарыг алдагдуулахгүйгээр өвөрмөц шинж чанарыг нь ашиглахад ашигладаг. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд цахиурын карбид бүрсэн элементүүд нь MOCVD процесст ашигладаг тоног төхөөрөмжийн найдвартай хамгаалалт, гүйцэтгэлийн тогтвортой байдлыг хангадаг.
Цахиурын карбидын бүрээсийг бэлтгэх нийтлэг аргууд
Ⅰ● Химийн уурын хуримтлал (CVD) цахиурын карбидын бүрээс
Энэ аргын хувьд метилрихлоросилан (MTS) нь урьдал бодисоор үйлчилдэг урвалын камерт субстратуудыг байрлуулах замаар SiC бүрээсийг үүсгэдэг. Хяналттай нөхцөлд (ихэвчлэн 950-1300 ° C ба сөрөг даралт) MTS задралд орж, цахиурын карбид гадаргуу дээр тогтдог. Энэхүү CVD SiC бүрэх процесс нь хагас дамжуулагч болон сансар огторгуйн салбарт өндөр нарийвчлалтай хэрэглэхэд тохиромжтой, маш сайн наалддаг нягт, жигд бүрхүүлийг баталгаажуулдаг.
Ⅱ● Өмнөх бодисыг хувиргах арга (Полимер нэвчилт ба пиролиз – PIP)
Цахиурын карбидыг шүрших өөр нэг үр дүнтэй арга бол урьдчилан боловсруулсан дээжийг керамик прекурсорын уусмалд дүрэхийг хамарсан прекурсорыг хувиргах арга юм. Савыг соруулж, бүрээсийг дарсны дараа дээжийг халааж, хөргөх үед цахиурын карбидын бүрээс үүсэхэд хүргэдэг. Энэ аргыг жигд бүрэх зузаан, элэгдэлд тэсвэртэй байх шаардлагатай эд ангиудын хувьд илүүд үздэг.
Цахиурын карбидын бүрээсийн физик шинж чанар
Цахиурын карбидын бүрээс нь үйлдвэрлэлийн хэрэгцээ шаардлагад нийцсэн шинж чанартай байдаг. Эдгээр шинж чанарууд нь:
Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр: 120-270 Вт/м·К
Дулааны тэлэлтийн коэффициент: 4.3 × 10^(-6)/K (20~800℃)
Цахилгаан эсэргүүцэл: 10^5– 10^6Ω·см
Хатуулаг: Mohs масштаб 9
Цахиурын карбидын бүрээсийн хэрэглээ
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд MOCVD болон бусад өндөр температурын процесст зориулсан цахиурын карбидын бүрээс нь өндөр температурт тэсвэртэй, тогтвортой байдлыг хангаснаар реактор, мэдрэгч зэрэг чухал төхөөрөмжийг хамгаалдаг. Сансрын болон батлан хамгаалах салбарт цахиурын карбидын керамик бүрээсийг өндөр хурдны нөлөөлөл, идэмхий орчинд тэсвэрлэх ёстой эд ангиудад хэрэглэдэг. Цаашилбал, цахиурын карбидын будаг эсвэл бүрээсийг ариутгах журмын дагуу удаан эдэлгээ шаарддаг эмнэлгийн хэрэгсэлд ашиглаж болно.
Яагаад цахиурын карбидын бүрээсийг сонгох хэрэгтэй вэ?
Бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах баталгаатай, цахиурын карбидын бүрээс нь хосгүй бат бөх, температурын тогтвортой байдлыг хангаж, урт хугацааны хэрэглээнд хэмнэлттэй болгодог. Цахиурын карбидаар бүрсэн гадаргууг сонгосноор үйлдвэрүүд засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулж, тоног төхөөрөмжийн найдвартай байдлыг сайжруулж, үйл ажиллагааны үр ашгийг дээшлүүлдэг.
Яагаад VET ENERGY-г сонгох ёстой вэ?
VET ENERGY нь Хятад дахь цахиурын карбидын бүрэх бүтээгдэхүүний мэргэжлийн үйлдвэрлэгч, үйлдвэр юм. SiC бүрэх гол бүтээгдэхүүнд цахиурын карбидын керамик бүрэх халаагуур орно.CVD Silicon Carbide Coating MOCVD Susceptor, CVD SiC бүрээстэй MOCVD графит зөөгч, SiC бүрсэн графит суурь зөөгч, Хагас дамжуулагчийн цахиурын карбид бүрсэн графит субстрат,SiC бүрэх/бүрсэн графит субстрат/хагас дамжуулагчийн тавиур, CVD SiC бүрсэн нүүрстөрөгч-нүүрстөрөгчийн нийлмэл CFC завины хөгц. VET ENERGY нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт технологи, бүтээгдэхүүний шийдлүүдийг хангах зорилготой. Бид таны Хятад дахь урт хугацааны түнш болно гэдэгт чин сэтгэлээсээ найдаж байна.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 9-р сарын 02-ны өдөр