Нэг болор зуух нь ашигладаг төхөөрөмж юмбал чулуу халаагчполикристалл цахиурын материалыг идэвхгүй хий (аргон) орчинд хайлуулах ба Чочральскийн аргыг ашиглан мултралгүй дан талстыг ургуулав. Энэ нь үндсэндээ дараах системүүдээс бүрдэнэ.
Механик дамжуулах систем
Механик дамжуулах систем нь болор болон талстуудын хөдөлгөөнийг удирдах үүрэгтэй дан болор зуухны үндсэн үйлдлийн систем юм.тигель, үүнд үрийн талстыг өргөх, эргүүлэх, өргөх, эргүүлэх зэрэг орнотигель. Энэ нь талст болон тигелийн байрлал, хурд, эргэлтийн өнцөг гэх мэт параметрүүдийг нарийн тохируулж, талст өсөлтийн явцыг жигд болгодог. Жишээ нь, талст өсөлтийн янз бүрийн үе шатууд, тухайлбал, үр суулгах, хүзүү, мөр, ижил диаметртэй өсөлт ба сүүлт, талст өсөлтийн үйл явцын шаардлагыг хангахын тулд үрийн талст болон тигелийн хөдөлгөөнийг энэ системээр нарийн хянах шаардлагатай.
Халаалтын температурын хяналтын систем
Энэ нь нэг болор зуухны үндсэн системүүдийн нэг бөгөөд дулааныг бий болгож, зуухны температурыг нарийн хянахад ашигладаг. Энэ нь голчлон халаагч, температур мэдрэгч, температур хянагч зэрэг бүрэлдэхүүн хэсгүүдээс бүрдэнэ. Халаагч нь ихэвчлэн өндөр цэвэршилттэй бал чулуу зэрэг материалаар хийгдсэн байдаг. Хувьсах гүйдлийг хувиргаж, гүйдлийг нэмэгдүүлэхийн тулд багасгасны дараа халаагуур нь тигель дэх полисиликон зэрэг поликристал материалыг хайлуулахын тулд дулаан үүсгэдэг. Температур мэдрэгч нь зуухны температурын өөрчлөлтийг бодит цаг хугацаанд хянаж, температурын дохиог температур хянагч руу дамжуулдаг. Температур хянагч нь тогтоосон температурын параметрүүд болон санал хүсэлтийн температурын дохионы дагуу халаалтын хүчийг нарийн хянадаг бөгөөд ингэснээр зуухны температурын тогтвортой байдлыг хангаж, болор ургахад тохиромжтой температурын орчныг бүрдүүлдэг.
Вакуум систем
Вакуум системийн гол үүрэг нь болор ургах явцад зууханд вакуум орчныг бий болгож, хадгалах явдал юм. Зуух дахь хийн даралтыг маш бага түвшинд, ерөнхийдөө 5TOR (torr) -аас бага түвшинд хүргэхийн тулд зууханд байгаа агаар ба хольцын хийг вакуум насос болон бусад төхөөрөмжөөр дамжуулан гаргаж авдаг. Энэ нь цахиурын материалыг өндөр температурт исэлдүүлэхээс сэргийлж, болор өсөлтийн цэвэр байдал, чанарыг хангаж чадна. Үүний зэрэгцээ, вакуум орчин нь болор ургах явцад үүссэн дэгдэмхий хольцыг зайлуулж, болорын чанарыг сайжруулахад тохиромжтой.
Аргон систем
Аргон систем нь нэг болор зууханд зуухны даралтыг хамгаалах, зохицуулах үүрэг гүйцэтгэдэг. Вакуум хийсний дараа өндөр цэвэршилттэй аргон хий (цэвэршилт нь 6 9-ээс дээш байх ёстой) зууханд хийнэ. Нэг талаас, энэ нь гаднах агаарыг зууханд оруулахаас сэргийлж, цахиурын материалыг исэлдүүлэхээс сэргийлж чаддаг; нөгөө талаас аргон хий дүүргэх нь зуухны даралтыг тогтвортой байлгаж, болор ургахад тохиромжтой даралтын орчинг бүрдүүлж чадна. Нэмж дурдахад аргон хийн урсгал нь болор ургах явцад үүссэн дулааныг зайлуулж, тодорхой хөргөлтийн үүрэг гүйцэтгэдэг.
Усан хөргөлтийн систем
Усан хөргөлтийн системийн үүрэг нь нэг болор зуухны янз бүрийн өндөр температурын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг хөргөж, төхөөрөмжийн хэвийн ажиллагаа, ашиглалтын хугацааг хангах явдал юм. Нэг болор зуухыг ажиллуулах явцад халаагч,тигель, электрод болон бусад бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь маш их дулааныг бий болгоно. Хэрэв тэдгээрийг цаг тухайд нь хөргөхгүй бол төхөөрөмж хэт халах, деформаци хийх, бүр эвдрэх болно. Усан хөргөлтийн систем нь төхөөрөмжийн температурыг аюулгүй хязгаарт байлгахын тулд хөргөх усыг эргэлдүүлэн эдгээр бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн дулааныг авдаг. Үүний зэрэгцээ усны хөргөлтийн систем нь температурын хяналтын нарийвчлалыг сайжруулахын тулд зуухны температурыг тохируулахад тусалдаг.
Цахилгаан хяналтын систем
Цахилгаан хяналтын систем нь бүхэл бүтэн төхөөрөмжийн ажиллагааг хянах, хянах үүрэгтэй нэг болор зуухны "тархи" юм. Температур мэдрэгч, даралт мэдрэгч, байрлал мэдрэгч гэх мэт янз бүрийн мэдрэгчээс дохио хүлээн авч, эдгээр дохион дээр тулгуурлан механик дамжуулах систем, халаалтын температурын хяналтын систем, вакуум систем, аргон систем, ус хөргөх системийг зохицуулж, удирдаж болно. Жишээлбэл, болор ургах явцад цахилгаан хяналтын систем нь температур мэдрэгчээр тэжээгддэг температурын дохионы дагуу халаалтын хүчийг автоматаар тохируулах боломжтой; болорын өсөлтийн дагуу үрийн болор ба тигелийн хөдөлгөөний хурд, эргэлтийн өнцгийг хянах боломжтой. Үүний зэрэгцээ цахилгааны хяналтын систем нь эвдрэлийг оношлох, дохиоллын функцтэй бөгөөд тоног төхөөрөмжийн хэвийн бус байдлыг цаг тухайд нь илрүүлж, тоног төхөөрөмжийн аюулгүй ажиллагааг хангадаг.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 9-р сарын 23-ны хооронд