CVD цахиурын карбидын бүрээсийг бэлтгэх арга, гүйцэтгэлийн шинж чанарууд юу вэ?

CVD (Химийн уурын хуримтлал) нь цахиурын карбидын бүрээсийг бэлтгэхэд түгээмэл хэрэглэгддэг арга юм.CVD цахиурын карбидын бүрээсолон өвөрмөц гүйцэтгэлийн шинж чанартай байдаг. Энэ нийтлэлд CVD цахиурын карбидын бүрээсийг бэлтгэх арга, түүний гүйцэтгэлийн шинж чанарыг танилцуулах болно.

1. Бэлтгэх аргаCVD цахиурын карбидын бүрээс

CVD арга нь өндөр температурын нөхцөлд хийн прекурсоруудыг хатуу цахиур карбидын бүрээс болгон хувиргадаг. Янз бүрийн хийн прекурсоруудын дагуу үүнийг хийн фазын ЗСӨ, шингэн фазын ЗСӨ гэж хувааж болно.

1. Уурын фазын CVD

Уурын фазын CVD нь цахиурын карбидын хальсны өсөлтийг хангахын тулд хийн урьдал бодис, ихэвчлэн цахиурын органик нэгдлүүдийг ашигладаг. Түгээмэл хэрэглэгддэг цахиурын органик нэгдлүүдэд метилсилан, диметилсилан, моносилан гэх мэт хийн прекурсоруудыг өндөр температурт урвалын камерт тээвэрлэх замаар металл субстрат дээр цахиурын карбидын хальс үүсгэдэг. Урвалын камер дахь өндөр температурын талбайнууд нь ихэвчлэн индукцийн халаалт эсвэл эсэргүүцэлтэй халаалтаар үүсдэг.

2. Шингэн фазын ЗСӨ

Шингэн фазын ЗСӨ-д шингэн урьдал бодис, ихэвчлэн цахиур, силанолын нэгдэл агуулсан органик уусгагчийг ашигладаг бөгөөд үүнийг урвалын камерт халааж, ууршуулж, дараа нь химийн урвалаар субстрат дээр цахиурын карбидын хальс үүсдэг.

2. Гүйцэтгэлийн шинж чанарCVD цахиурын карбидын бүрээс

1. Маш сайн өндөр температурын гүйцэтгэл

CVD цахиурын карбидын бүрээсмаш сайн өндөр температурын тогтвортой байдал, исэлдэлтийн эсэргүүцлийг санал болгодог. Энэ нь өндөр температуртай орчинд ажиллах чадвартай бөгөөд өндөр температурт эрс тэс нөхцөлийг тэсвэрлэх чадвартай.

2. Сайн механик шинж чанартай

CVD цахиурын карбидын бүрээсөндөр хатуулагтай, элэгдэлд тэсвэртэй. Энэ нь металл субстратыг элэгдэл, зэврэлтээс хамгаалж, материалын ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.

3. Маш сайн химийн тогтвортой байдал

CVD цахиурын карбидын бүрээсхүчил, шүлт, давс зэрэг нийтлэг химийн бодисуудад маш тэсвэртэй. Энэ нь химийн дайралт, субстратын зэврэлтийг эсэргүүцдэг.

4. Үрэлтийн бага коэффициент

CVD цахиурын карбидын бүрээсүрэлтийн коэффициент бага, өөрөө тослох сайн шинж чанартай. Энэ нь үрэлт, элэгдлийг багасгаж, материалын ашиглалтын үр ашгийг сайжруулдаг.

5. Сайн дулаан дамжуулалт

CVD цахиурын карбидын бүрээс нь сайн дулаан дамжилтын шинж чанартай байдаг. Энэ нь дулааныг хурдан дамжуулж, металл суурийн дулаан ялгаруулах үр ашгийг сайжруулдаг.

6. Маш сайн цахилгаан тусгаарлагч шинж чанартай

CVD цахиурын карбидын бүрээс нь сайн цахилгаан тусгаарлагч шинж чанартай бөгөөд гүйдэл алдагдахаас сэргийлдэг. Энэ нь электрон төхөөрөмжийн дулаалгын хамгаалалтад өргөн хэрэглэгддэг.

7. Тохируулах зузаан, найрлага

ЗСӨ-ийн үйл явцын нөхцөл ба прекурсорын концентрацийг хянах замаар цахиурын карбидын хальсны зузаан, найрлагыг тохируулах боломжтой. Энэ нь олон төрлийн хэрэглээнд зориулсан олон сонголт, уян хатан байдлыг хангадаг.

Товчхондоо, CVD цахиурын карбидын бүрээс нь маш сайн өндөр температурын үзүүлэлттэй, маш сайн механик шинж чанартай, сайн химийн тогтвортой байдал, үрэлтийн бага коэффициент, сайн дулаан дамжуулалт, цахилгаан тусгаарлагч шинж чанартай байдаг. Эдгээр шинж чанарууд нь CVD цахиурын карбидын бүрээсийг электроник, оптик, сансар огторгуй, химийн үйлдвэр гэх мэт олон салбарт өргөнөөр ашигладаг.