Графит завьграфит завь гэгддэг графит нь хагас дамжуулагч керамик үйлдвэрлэлийн нарийн төвөгтэй үйл явцад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Эдгээр тусгай хөлөг онгоцууд нь өндөр температурт боловсруулалт хийх үед хагас дамжуулагч хавтанцар найдвартай тээвэрлэгч болж, нарийн, хяналттай боловсруулалтыг баталгаажуулдаг. Өвөрмөц шинж чанар, олон талын хэрэглээтэй,Графит завьхагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн зайлшгүй хэрэгсэл болсон. Үүний үндсэн шинж чанаруудыг авч үзьеГрафит завьхагас дамжуулагч керамик үйлдвэрлэлд зайлшгүй шаардлагатай эд ангиуд.
1. Өндөр температурт тэсвэрлэх чадвар:
Графит завьхалуунд тэсвэртэй гэдгээрээ алдартай өндөр чанартай бал чулуун материалаар урласан. Энэхүү шинж чанар нь Графит завь нь химийн уурын хуримтлал (CVD) болон цахиурын карбидын бүрэх зэрэг хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэх явцад тохиолдох эрс тэс температурыг тэсвэрлэх боломжийг олгодог. Хүчтэй дулааны нөхцөлд бүтцийн бүрэн бүтэн байдал, хэмжээсийн тогтвортой байдлыг хадгалах чадвар нь тогтвортой, найдвартай хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийг хангахад чухал ач холбогдолтой.
2. Химийн идэвхгүй байдал:
Графит, ашигласан үндсэн материалГрафит завь, гайхалтай химийн идэвхгүй байдлыг харуулж, зэврэлт болон химийн урвалд тэсвэртэй болгодог. Энэ шинж чанар нь химийн хатуу бодис, реактив хийг ихэвчлэн ашигладаг хагас дамжуулагч керамик үйлдвэрлэлд онцгой давуу талтай юм. Графит завь нь хагас дамжуулагч хавтангийн хамгаалалтын орчинг бүрдүүлж, бохирдлоос сэргийлж, эцсийн бүтээгдэхүүний цэвэр байдлыг хангадаг.
3. Хэмжээний нарийн хяналт:
Графит завьЯнз бүрийн хэмжээ, хэлбэрийн хагас дамжуулагч хавтангуудыг байрлуулахын тулд нарийн нарийвчлалтайгаар бүтээгдсэн. Тэдний тохируулж болох загварууд нь нарийн хэмжээсийг хянах боломжийг олгодог бөгөөд вафельд бүрэн нийцэж, харьцах, боловсруулах явцад эвдрэх эрсдлийг бууруулдаг. Энэхүү нарийвчлалын түвшин нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст бүрэх жигд зузаан, тунадасжилтын нарийвчлалд хүрэхэд зайлшгүй шаардлагатай.
4. Хэрэглээний олон талт байдал:
Графит завьХагас дамжуулагч үйлдвэрлэх төрөл бүрийн процессууд, тухайлбал эпитакси, тархалт, зөөлрүүлэх, нимгэн хальсан хуримтлал зэрэгт өргөн хэрэглэгддэг. Дулааны боловсруулалтын явцад цахиур ялтсуудыг дэмжих эсвэл эпитаксиаль давхаргын өсөлтийг хөнгөвчлөх эсэхээс үл хамааран Графит завь нь олон төрлийн хэрэглээ, найдвартай байдлыг санал болгодог. Тэдний өндөр температур, идэмхий орчинд удаан хугацаагаар тэсвэрлэх чадвар нь тэдгээрийг хагас дамжуулагч керамик үйлдвэрлэлд зайлшгүй шаардлагатай хэрэгсэл болгодог.
5. Цахиурын карбидын бүрэх нийцтэй байдал:
Графит завь нь дэвшилтэт хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болох цахиурын карбидын (SiC) бүрээсийг ашиглахад маш тохиромжтой. Бал чулуу нь цахиурын карбидтай нийцтэй байх нь хагас дамжуулагч субстрат дээр SiC давхаргыг үр ашигтай, жигд байрлуулах боломжийг олгодог бөгөөд төхөөрөмжийн ажиллагаа, найдвартай байдлыг сайжруулдаг. Графит завь нь хуримтлуулах процессыг хөнгөвчлөх, жигд бүрхэвчийг хангах, бүрэх зузааныг нарийн хянахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Дүгнэж хэлэхэд, графит завь нь хагас дамжуулагч керамик үйлдвэрлэлд чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болж, өндөр температурт тэсвэрлэх чадвар, химийн идэвхгүй байдал, хэмжээсийн нарийн хяналт, цахиурын карбидын бүрээстэй нийцэх өвөрмөц хослолыг санал болгодог. Тэдгээрийн олон талт байдал, найдвартай байдал нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх процесст зайлшгүй шаардлагатай хэрэгсэл болж, өндөр чанартай, өндөр хүчин чадалтай хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг үйлдвэрлэх боломжийг олгодог. Хагас дамжуулагчийн технологи үргэлжлэн хөгжихийн хэрээр графит завь нь хагас дамжуулагчийн салбарт инноваци, ахиц дэвшил гаргахад зайлшгүй шаардлагатай хөрөнгө хэвээр байх болно.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 4-р сарын 22