Цахиурын гадаргуу дээр цахиурын давхар исэл үүсэхийг исэлдэлт гэж нэрлэдэг бөгөөд тогтвортой, хүчтэй наалддаг цахиурын давхар ислийг бий болгосноор цахиурын нэгдсэн хэлхээний хавтгай технологи бий болсон. Цахиурын давхар ислийг цахиурын гадаргуу дээр шууд ургуулах олон арга байдаг ч энэ нь ихэвчлэн дулааны исэлдэлтээр хийгддэг бөгөөд энэ нь цахиурыг өндөр температурт исэлдүүлэх орчинд (хүчилтөрөгч, ус) үзүүлэх явдал юм. Дулааны исэлдэлтийн аргууд нь цахиурын давхар ислийн хальс бэлтгэх явцад хальсны зузаан, цахиур/цахиурын давхар ислийн интерфейсийн шинж чанарыг хянах боломжтой. Цахиурын давхар ислийг ургуулах бусад аргууд бол плазмын аноджуулалт ба нойтон аноджуулалт юм, гэхдээ эдгээр аргуудын аль нь ч VLSI процесст өргөн хэрэглэгддэггүй.
Цахиур нь тогтвортой цахиурын давхар исэл үүсгэх хандлагатай байдаг. Хэрэв шинэхэн задалсан цахиур нь исэлдүүлэгч орчинд (хүчилтөрөгч, ус гэх мэт) өртвөл өрөөний температурт ч гэсэн маш нимгэн ислийн давхарга (<20Å) үүсгэнэ. Цахиур нь өндөр температурт исэлдүүлэгч орчинд өртөх үед илүү зузаан ислийн давхарга илүү хурдан үүснэ. Цахиураас цахиурын давхар исэл үүсэх үндсэн механизмыг сайн ойлгосон. Deal and Grove нар 300Å-ээс их зузаантай ислийн хальсны өсөлтийн динамикийг үнэн зөв дүрсэлсэн математик загварыг боловсруулсан. Тэд исэлдэлтийг дараах байдлаар явуулдаг, өөрөөр хэлбэл исэлдүүлэгч (усны молекулууд ба хүчилтөрөгчийн молекулууд) одоо байгаа исэлдүүлэгч давхаргаар дамжин Si/SiO2 интерфейс рүү тархаж, исэлдүүлэгч нь цахиуртай урвалд орж цахиурын давхар исэл үүсгэдэг гэж тэд санал болгосон. Цахиурын давхар ислийг үүсгэх үндсэн урвалыг дараах байдлаар тайлбарлав.
Исэлдэлтийн урвал нь Si/SiO2 интерфэйс дээр явагддаг тул оксидын давхарга ургах үед цахиур тасралтгүй зарцуулагдаж, интерфэйс нь аажмаар цахиур руу нэвтэрдэг. Цахиур ба цахиурын давхар ислийн харгалзах нягт ба молекулын жингийн дагуу эцсийн ислийн давхаргын зузаанд зарцуулсан цахиур 44% байна. Ийм байдлаар ислийн давхарга 10,000Å өсвөл 4400Å цахиур зарцуулагдана. Энэ хамаарал нь дээр үүссэн шатуудын өндрийг тооцоолоход чухал ач холбогдолтойцахиур хавтан. Энэ үе шатууд нь цахиурын хавтан дээрх өөр өөр газар дахь исэлдэлтийн янз бүрийн хурдны үр дүн юм.
Бид мөн өндөр цэвэршилттэй бал чулуу, цахиурын карбидын бүтээгдэхүүнийг нийлүүлдэг бөгөөд тэдгээр нь исэлдүүлэх, тархах, задлах зэрэг өрөм боловсруулахад өргөн хэрэглэгддэг.
Дэлхийн өнцөг булан бүрээс ирсэн үйлчлүүлэгчдийг бидэнтэй уулзаж ярилцахыг урьж байна!
https://www.vet-china.com/
Шуудангийн цаг: 2024 оны 11-р сарын 13-ны хооронд