Цахиур карбидын талст өсөлтийн үйл явц ба тоног төхөөрөмжийн технологи

1. SiC болор өсөлтийн технологийн маршрут

PVT (сублимацийн арга),

HTCVD (өндөр температурт CVD),

LPE(шингэн фазын арга)

гурван нийтлэг байдагSiC болорөсөлтийн арга;

Салбарт хамгийн алдартай арга бол PVT арга бөгөөд SiC дан талстуудын 95% -иас илүү нь PVT аргаар ургадаг;

ҮйлдвэржсэнSiC болорөсөлтийн зуух нь салбарын үндсэн PVT технологийн замыг ашигладаг.

2. SiC талст өсөлтийн процесс

Нунтаг нийлэгжүүлэлт-үрийн болор боловсруулалт-болор ургалт-эмбүүг задлах-ваферболовсруулах.

3. Өсөх PVT аргаSiC талстууд

SiC түүхий эдийг бал чулуун тигелийн ёроолд, SiC үрийн талстыг бал чулуун тигелийн дээд талд байрлуулна. Тусгаарлагчийг тохируулснаар SiC түүхий эд дэх температур өндөр, үрийн болор дахь температур бага байна. SiC-ийн түүхий эд нь өндөр температурт сублимацияж, хийн фазын бодис болж задардаг ба тэдгээр нь бага температуртай үрийн талст руу зөөгдөн талстжиж SiC талстыг үүсгэдэг. Өсөлтийн үндсэн үйл явц нь түүхий эдийг задлах, сублимацлах, масс дамжуулах, үрийн талстууд дээр талсжих гэсэн гурван процессыг агуулдаг.

Түүхий эдийг задлах, сублимаци хийх:

SiC(S)= Si(g)+C(S)

2SiC(S)= Si(g)+ SiC2(г)

2SiC(S)=C(S)+SiC2(г)

Масс дамжуулах явцад Si уур нь бал чулууны тигелийн ханатай цаашид урвалд орж SiC2 ба Si2C үүсгэдэг.

Si(g)+2C(S) =SiC2(g)

2Si(g) +C(S)=Si2C(g)

Үрийн болор гадаргуу дээр цахиурын карбидын талстыг үүсгэхийн тулд гурван хийн фаз нь дараах хоёр томъёогоор дамждаг.

SiC2_(ж)+Si2C_(ж)=3SiC_(ууд)

Si_(ж)+SiC2_(ж)=2SiC_(S)

4. PVT арга SiC болор өсөлтийн тоног төхөөрөмжийн технологийн маршрутыг ургуулах

Одоогийн байдлаар индукцийн халаалт нь PVT аргын SiC болор өсөлтийн зуухны нийтлэг технологийн зам юм;

Ороомог гадаад индукцийн халаалт ба бал чулуу эсэргүүцэх халаалт нь хөгжлийн чиглэл юмSiC болорөсөлтийн зуухнууд.

5. 8 инчийн SiC индукцийн халаалтын өсөлтийн зуух

(1) халаахбал чулуу тигель халаалтын элементсоронзон орны индукцаар; халаалтын хүч, ороомгийн байрлал, тусгаарлагчийн бүтцийг тохируулах замаар температурын талбайг зохицуулах;

(2) Бал чулууг эсэргүүцэх халаалт ба дулааны цацрагийн дамжуулалтаар бал чулууг халаах; бал чулуу халаагчийн гүйдэл, халаагчийн бүтэц, бүсийн гүйдлийн хяналтыг тохируулах замаар температурын талбарыг хянах;