SiC бүрээсийг химийн уурын хуримтлал (CVD), прекурсор хувиргах, плазмаар цацах гэх мэт аргаар бэлтгэж болно. ХИМИЙН уурын хуримтлалаар бэлтгэсэн бүрээс нь жигд, авсаархан, дизайн сайтай. Метил трихлосиланы хэрэглээ. (CHzSiCl3, MTS) цахиурын эх үүсвэр болгон, SiC бүрэх бэлтгэл...
Дэлгэрэнгүй уншина уу