SiC моно болор нь 1:1-ийн стехиометрийн харьцаатай Si ба C гэсэн хоёр элементээс бүрдэх IV-IV бүлгийн нийлмэл хагас дамжуулагч материал юм.Түүний хатуулаг нь алмазын дараа ордог.
SiC-ийг бэлтгэх цахиурын ислийг нүүрстөрөгчийг бууруулах арга нь үндсэндээ дараах химийн урвалын томъёонд суурилдаг.
Цахиурын ислийг нүүрстөрөгчийг бууруулах урвалын процесс нь харьцангуй нарийн төвөгтэй бөгөөд урвалын температур нь эцсийн бүтээгдэхүүнд шууд нөлөөлдөг.
Цахиурын карбидыг бэлтгэх явцад түүхий эдийг эхлээд эсэргүүцлийн зууханд хийнэ.Эсэргүүцлийн зуух нь хоёр төгсгөлийн төгсгөлийн хананаас бүрдэх ба голд нь бал чулуу электрод байрладаг бөгөөд зуухны гол нь хоёр электродыг холбодог.Зуухны голын захад эхлээд урвалд оролцож буй түүхий эдийг байрлуулж, дараа нь дулааныг хадгалахад ашигладаг материалыг захын хэсэгт байрлуулна.Хайлуулж эхлэх үед эсэргүүцлийн зууханд эрчим хүч орж, температур нь 2600-2700 хэм хүртэл нэмэгддэг.Цахилгаан дулааны энерги нь зуухны гол гадаргуугаар дамжин цэнэг рүү шилжиж, аажмаар халаахад хүргэдэг.Цэнэгийн температур 1450 хэмээс хэтрэх үед цахиурын карбид болон нүүрстөрөгчийн дутуу ислийн хий үүсэх химийн урвал явагдана.Хайлуулах үйл явц үргэлжлэхийн хэрээр цэнэг дэх өндөр температурын талбай аажмаар өргөжиж, үүссэн цахиурын карбидын хэмжээ мөн нэмэгдэх болно.Цахиурын карбид нь зууханд тасралтгүй үүсдэг бөгөөд ууршилт, хөдөлгөөнөөр талстууд аажмаар ургаж, эцэст нь цилиндр хэлбэртэй талстууд руу цуглардаг.
Цельсийн 2600 хэмээс хэтэрсэн өндөр температурын улмаас болорын дотоод хананы нэг хэсэг задарч эхэлдэг.Задралаас үүссэн цахиурын элемент нь цэнэг дэх нүүрстөрөгчийн элементтэй дахин нэгдэж шинэ цахиурын карбид үүсгэдэг.
Цахиурын карбидын (SiC) химийн урвал дуусч, зуух хөргөсний дараа дараагийн алхамыг эхлүүлж болно.Нэгдүгээрт, зуухны ханыг буулгаж, дараа нь зууханд байгаа түүхий эдийг сонгож, давхаргаар нь ангилдаг.Сонгосон түүхий эдийг буталж бидний хүссэн мөхлөгт материалыг гаргаж авдаг.Дараа нь түүхий эд дэх хольцыг усаар угаах эсвэл хүчил, шүлтийн уусмалаар цэвэрлэх, соронзон тусгаарлах болон бусад аргаар зайлуулдаг.Цэвэрлэсэн түүхий эдийг хатааж, дараа нь дахин шүүж, эцэст нь цэвэр цахиурын карбидын нунтаг гаргаж авах боломжтой.Шаардлагатай бол эдгээр нунтагуудыг хэлбэржүүлэх, нарийн нунтаглах зэрэг бодит хэрэглээний дагуу боловсруулж, илүү нарийн цахиурын карбидын нунтаг гаргаж авах боломжтой.
Тодорхой алхамууд нь дараах байдалтай байна.
(1) Түүхий эд
Ногоон цахиурын карбидын бичил нунтаг бүдүүн ногоон цахиурын карбидыг бутлах замаар гаргаж авдаг.Цахиурын карбидын химийн найрлага нь 99% -иас их, чөлөөт нүүрстөрөгч, төмрийн исэл 0.2% -иас бага байх ёстой.
(2) Эвдэрсэн
Цахиур карбидын элсийг нарийн нунтаг болгон бутлахын тулд Хятадад одоогоор хоёр аргыг хэрэглэж байгаагийн нэг нь завсарлагатай нойтон бөмбөлөгт тээрэм, нөгөө нь агаарын урсгалтай нунтаг тээрэм ашиглан бутлах.
(3) Соронзон тусгаарлалт
Цахиурын карбидын нунтагыг нарийн нунтаг болгон бутлахад ямар ч аргыг хэрэглэдэг байсан ч ихэвчлэн нойтон соронзон ялгах, механик соронзон ялгах аргыг ашигладаг.Учир нь нойтон соронзон салгахад тоосжилт үүсэхгүй, соронзон материалууд нь бүрэн тусгаарлагддаг, соронзон салгасны дараах бүтээгдэхүүнд төмөр бага агуулагддаг, соронзон материалаар авч явдаг цахиур карбидын нунтаг мөн бага байдаг.
(4) Ус тусгаарлах
Ус ялгах аргын үндсэн зарчим нь янз бүрийн диаметртэй цахиурын карбидын хэсгүүдийн тунгаах хурдыг ашиглан бөөмийн хэмжээгээр ангилах явдал юм.
(5) Хэт авианы скрининг
Хэт авианы технологийг хөгжүүлснээр энэ нь микро нунтаг технологийн хэт авианы скрининг хийхэд өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд энэ нь хүчтэй шингээлт, хялбар бөөгнөрөл, өндөр статик цахилгаан, өндөр нарийн ширхэгтэй, өндөр нягтрал, гэрлийн хувийн жин зэрэг скринингийн асуудлыг үндсэндээ шийдэж чаддаг. .
(6) Чанарын хяналт
Бичил нунтаг чанарын үзлэгт химийн найрлага, ширхэгийн хэмжээ болон бусад зүйлс орно.Хяналтын арга, чанарын стандартыг "Цахиурын карбидын техникийн нөхцөл"-өөс үзнэ үү.
(7) Нунтаглах тоос үйлдвэрлэл
Бичил нунтагыг бүлэглэж, скрининг хийсний дараа материалын толгойг нунтаглах нунтаг бэлтгэхэд ашиглаж болно.Нунтаглах нунтаг үйлдвэрлэл нь хог хаягдлыг бууруулж, бүтээгдэхүүний хэлхээг уртасгах боломжтой.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 5-р сарын 13-ны хооронд