TaC бүрээстэй графит

I. Процессын параметрийн хайгуул

1. TaCl5-C3H6-H2-Ar систем

2. Туналтын температур:

Термодинамикийн томьёоны дагуу температур 1273К-аас их байх үед урвалын Гиббсийн чөлөөт энерги маш бага бөгөөд урвал харьцангуй бүрэн гүйцэд явагдана гэж тооцоолсон. Урвалын тогтмол KP нь 1273К-д маш том бөгөөд температурын дагуу хурдацтай нэмэгдэж, өсөлтийн хурд нь 1773К-д аажмаар удааширдаг.

Бүрхүүлийн гадаргуугийн морфологид үзүүлэх нөлөө: Температур нь тохиромжгүй (хэт өндөр эсвэл хэт бага) үед гадаргуу нь нүүрстөрөгчийн чөлөөт хэлбэр эсвэл сул нүх сүвийг харуулдаг.

(1) Өндөр температурт идэвхтэй урвалын атомууд эсвэл бүлгүүдийн хөдөлгөөний хурд хэт хурдан байдаг бөгөөд энэ нь материалын хуримтлалын явцад жигд бус тархалтад хүргэдэг бөгөөд баян ба ядуу хэсгүүд жигд шилжиж чадахгүй тул нүх сүв үүсдэг.

(2) Алкануудын пиролизийн урвалын хурд ба танталын пентахлоридын бууралтын урвалын хурд хоёрын хооронд ялгаа бий. Пиролизийн нүүрстөрөгч нь хэт их бөгөөд цаг хугацааны хувьд танталтай нийлэх боломжгүй тул гадаргууг нүүрстөрөгчөөр ороосон байна.

Температур нь тохирох үед гадаргуугийнTaC бүрэхнягт байна.

TaCтоосонцор хайлж, бие биенээ нэгтгэж, болор хэлбэр нь бүрэн, мөхлөгийн хил жигд шилждэг.

3. Устөрөгчийн харьцаа:

Үүнээс гадна бүрхүүлийн чанарт нөлөөлдөг олон хүчин зүйл байдаг.

- Субстратын гадаргуугийн чанар

-Хийн ордын орд

-Урвалж буй хийн холилтын жигд байдлын зэрэг

II. Ердийн согогуудтантал карбидын бүрээс

1. Бүрээсний хагарал, хальслах

Шугаман дулааны тэлэлтийн коэффициент шугаман CTE:

2. Гэмтлийн шинжилгээ:

(1) Шалтгаан:

(2) Тэмдэглэл тогтоох арга

① Үлдэгдэл омгийг хэмжихийн тулд рентген туяаны дифракцийн технологийг ашиглана.

② Үлдэгдэл стрессийг ойролцоогоор тооцоолохын тулд Ху Кэгийн хуулийг ашиглана уу.

(3) Холбогдох томьёо

3. Бүрээс болон субстратын механик нийцтэй байдлыг сайжруулна

(1) Гадаргуу дээрх өсөлтийн бүрхүүл

Дулааны урвалын хуримтлал ба тархалтын технологи TRD

Хайлсан давсны үйл явц

Үйлдвэрлэлийн процессыг хялбарчлах

Урвалын температурыг бууруулна уу

Харьцангуй бага өртөгтэй

Байгаль орчинд илүү ээлтэй

Аж үйлдвэрийн томоохон үйлдвэрлэл явуулахад тохиромжтой

(2) Шилжилтийн нийлмэл бүрээс

Хамтран байршуулах үйл явц

ЗСӨүйл явц

Олон бүрэлдэхүүн хэсэгтэй бүрэх

Бүрэлдэхүүн хэсэг бүрийн давуу талыг хослуулсан

Бүрхүүлийн найрлага, пропорцийг уян хатан тохируулна

4. Дулааны урвалын хуримтлал ба тархалтын технологи TRD

(1) Урвалын механизм

TRD технологийг мөн борын хүчил-танталын пентоксид-натрийн фтор-борын исэл-борын карбидын системийг ашигладаг шигтгэх процесс гэж нэрлэдэг.тантал карбидын бүрээс.

① Хайлсан борын хүчил нь танталын пентоксидыг уусгана;

② Танталын пентоксид нь танталын идэвхтэй атом болгон бууруулж, бал чулууны гадаргуу дээр тархдаг;

③ Идэвхтэй тантал атомууд бал чулууны гадаргуу дээр шингэж, нүүрстөрөгчийн атомуудтай урвалд ордог.тантал карбидын бүрээс.

(2) Урвалын түлхүүр

Карбидын бүрээсийн төрөл нь карбидыг үүсгэдэг элементийн исэлдэлтийн чөлөөт энерги нь борын ислийнхээс өндөр байх шаардлагыг хангасан байх ёстой.

Карбидын Гиббсийн чөлөөт энерги хангалттай бага (өөрөөр бол бор эсвэл борид үүсч болно).

Танталын пентоксид нь төвийг сахисан исэл юм. Өндөр температурт хайлсан борын хувьд энэ нь хүчтэй шүлтлэг исэл натрийн исэлтэй урвалд орж натрийн танталат үүсгэдэг бөгөөд ингэснээр анхны урвалын температурыг бууруулдаг.