Цахиурын карбидын талст ургах үед болорын тэнхлэгийн төв ба ирмэгийн хоорондох өсөлтийн интерфэйсийн "орчин" өөр байдаг тул ирмэг дээрх болор стресс нэмэгдэж, болор ирмэг нь "иж бүрэн согог" үүсгэхэд хялбар байдаг. Бал чулуун бөгжний "нүүрстөрөгч"-ийн нөлөөлөл, захын асуудлыг хэрхэн шийдвэрлэх эсвэл төвийн үр дүнтэй талбайг (95% -иас дээш) нэмэгдүүлэх нь техникийн чухал сэдэв юм.
"Бичил гуурсан хоолой" болон "оролт" зэрэг макро согогуудыг салбар аажмаар хянадаг тул цахиурын карбидын талстыг "хурдан, урт, зузаан ургаж, ургахад" сорьдог тул захын "иж бүрэн согог" нь хэвийн бус байдлаар илэрдэг. Цахиурын карбидын талстуудын диаметр, зузаан нэмэгдэхэд ирмэгийн "иж бүрэн согог" нь диаметрийн квадрат ба зузаанаар үржүүлнэ.
Тантал карбидын TaC бүрээсийг ашиглах нь ирмэгийн асуудлыг шийдэж, талст өсөлтийн чанарыг сайжруулахад чиглэгддэг бөгөөд энэ нь "хурдан ургах, өтгөн ургах, ургах" техникийн үндсэн чиглэлүүдийн нэг юм. Аж үйлдвэрийн технологийн хөгжлийг дэмжих, гол материалын "импортын" хамаарлыг шийдвэрлэхийн тулд Хэнпу тантал карбидын бүрэх технологийг (CVD) ололт амжилтаар шийдэж, олон улсын дэвшилтэт түвшинд хүрсэн.
Тантал карбидын TaC бүрэх нь хэрэгжилтийн хэтийн төлөвөөс харахад тийм ч хэцүү биш бөгөөд синтеринг, CVD болон бусад аргуудыг ашиглахад хялбар байдаг. Синтерлэх арга, тантал карбидын нунтаг эсвэл прекурсорыг ашиглах, идэвхтэй найрлага (ерөнхийдөө металл) болон холбогч бодис (ерөнхийдөө урт гинжин полимер) нэмж, өндөр температурт нунтагласан бал чулууны субстратын гадаргуу дээр бүрсэн. CVD аргаар TaCl5+H2+CH4 графит матрицын гадаргуу дээр 900-1500℃ температурт хуримтлагдсан.
Гэсэн хэдий ч тантал карбидын хуримтлалын талст чиглэл, жигд хальсны зузаан, бүрэх ба бал чулуун матрицын хоорондох хүчдэлийн ялгаралт, гадаргуугийн хагарал гэх мэт үндсэн үзүүлэлтүүд нь маш хэцүү байдаг. Ялангуяа sic болор өсөлтийн орчинд тогтвортой үйлчилгээний хугацаа нь үндсэн параметр бөгөөд хамгийн хэцүү байдаг.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 7-р сарын 21