Фотолитографийн машины нарийн хэсгүүдэд илүүд үздэг материал
Хагас дамжуулагч талбарт,цахиурын карбидын керамикматериалыг голчлон нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлийн гол тоног төхөөрөмж, тухайлбал цахиур карбидын ажлын ширээ, чиглүүлэгч төмөр зам,цацруулагч, керамик сорох тэнхлэг, литографийн машинд зориулсан гар, нунтаглах диск, бэхэлгээ гэх мэт.
Цахиурын карбидын керамик эд ангихагас дамжуулагч ба оптик төхөөрөмжид
● Цахиурын карбидын керамик нунтаглах диск. Хэрэв нунтаглах диск нь цутгамал төмөр эсвэл нүүрстөрөгчийн гангаар хийгдсэн бол түүний ашиглалтын хугацаа богино, дулааны тэлэлтийн коэффициент их байна. Цахиур хавтанг боловсруулах явцад, ялангуяа өндөр хурдтай нунтаглах эсвэл өнгөлөх үед нунтаглах дискний элэгдэл, дулааны хэв гажилт нь цахиурын хавтангийн тэгш байдал, параллель байдлыг хангахад хүндрэл учруулдаг. Цахиур карбидын керамикаар хийсэн нунтаглах диск нь өндөр хатуулагтай, элэгдэл багатай, дулааны тэлэлтийн коэффициент нь үндсэндээ цахиурын хавтантай ижил байдаг тул өндөр хурдтайгаар нунтаглаж, өнгөлж болно.
● Цахиурын карбидын керамик бэхэлгээ. Нэмж дурдахад, цахиур хавтан үйлдвэрлэхэд өндөр температурт дулааны боловсруулалт хийх шаардлагатай байдаг бөгөөд ихэвчлэн цахиурын карбидын бэхэлгээг ашиглан тээвэрлэдэг. Тэд халуунд тэсвэртэй, үл эвдэх чадвартай. Гадаргуу дээр алмаз шиг нүүрстөрөгч (DLC) болон бусад бүрээсийг түрхэж, гүйцэтгэлийг сайжруулж, вафельний эвдрэлийг хөнгөвчлөх, бохирдол тархахаас сэргийлж болно.
● Цахиурын карбидын ажлын ширээ. Литографийн машин дахь ажлын ширээг жишээ болгон авч үзвэл, ажлын ширээ нь өндөр хурдтай, том цохилттой, зургаан градусын эрх чөлөөний нано түвшний хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнийг шаарддаг өртөлтийн хөдөлгөөнийг дуусгах үүрэгтэй. Жишээлбэл, 100 нм-ийн нарийвчлалтай, 33 нм-ийн давхаргын нарийвчлалтай, 10 нм шугамын өргөнтэй литографийн машинд 10 нм хүрэхийн тулд ажлын ширээний байршлын нарийвчлал шаардлагатай, маск-цахиур ялтсын нэгэн зэрэг алхам хийх, скан хийх хурд нь 150 нм/с байна. болон 120нм/с тус тус, маск сканнердах хурд нь 500 нм/с-д ойрхон бөгөөд ажлын ширээ нь маш өндөр хөдөлгөөний нарийвчлал, тогтвортой байдлыг хангах шаардлагатай.
Ажлын ширээ ба бичил хөдөлгөөнт хүснэгтийн бүдүүвч диаграм (хэсэгчилсэн хэсэг)
● Цахиур карбидын керамик дөрвөлжин толь. Литографийн машин зэрэг үндсэн нэгдсэн хэлхээний төхөөрөмжийн гол бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь нарийн төвөгтэй хэлбэр, нарийн төвөгтэй хэмжээсүүд, хөндий хөнгөн бүтэцтэй тул цахиурын карбидын керамик эд ангиудыг бэлтгэхэд хүндрэлтэй байдаг. Одоогийн байдлаар Нидерландын ASML, Японы NIKON, CANON зэрэг олон улсын нэгдсэн хэлхээний тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид литографийн машины үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг болох дөрвөлжин толь бэлтгэхийн тулд бичил талст шил, кордиерит зэрэг их хэмжээний материалыг ашиглаж, цахиурын карбидыг ашиглаж байна. энгийн хэлбэр бүхий бусад өндөр гүйцэтгэлтэй бүтцийн эд ангиудыг бэлтгэх керамик . Гэсэн хэдий ч Хятадын Барилгын материалын судалгааны хүрээлэнгийн мэргэжилтнүүд литографийн машинд зориулж том хэмжээтэй, нарийн төвөгтэй хэлбэртэй, маш хөнгөн жинтэй, бүрэн хаалттай цахиур карбидын керамик дөрвөлжин толь болон бусад бүтцийн болон үйл ажиллагааны оптик эд ангиудыг бэлтгэхийн тулд хувийн бэлтгэлийн технологийг ашигласан.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 10-р сарын 10