CVD SiC бүрхүүлийн хэрэглээ
TheCVD SiC бүрэхүйл явц нь олон талт байдал, гүйцэтгэлийн давуу талуудаас шалтгаалан хэд хэдэн салбарт өргөн хэрэглэгддэг. Үндсэн хэрэглээний нэг нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл бөгөөд SiC бүрсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь вафель боловсруулах явцад нарийн гадаргууг хамгаалахад тусалдаг. CVD SiC бүрсэн тоног төхөөрөмж, тухайлбал, мэдрэгч, цагираг, хавтан зөөгч зэрэг нь өндөр температурын тогтвортой байдлыг хангаж, үйлдвэрлэлийн чухал үе шатанд бохирдохоос сэргийлдэг.
Сансар судлалын салбарт,CVD SiC бүрэххэт халуун, механик нөлөөлөлд өртсөн бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд хэрэглэнэ. Бүрхүүл нь хүнд нөхцөлд ажилладаг турбины ир, шатаах камерын ашиглалтын хугацааг мэдэгдэхүйц уртасгадаг. Нэмж дурдахад CVD SiC нь тусгал болон дулааны тогтвортой байдлын шинж чанартай тул толин тусгал болон оптик төхөөрөмжүүдийн үйлдвэрлэлд түгээмэл хэрэглэгддэг.
CVD SiC-ийн өөр нэг гол хэрэглээ бол химийн үйлдвэр юм. Энд SiC бүрээс нь дулаан солилцогч, лац, шахуурга зэрэг эд ангиудыг идэмхий бодисоос хамгаалдаг. SiC гадаргуу нь хүчил, суурьт нөлөөлдөггүй тул химийн бат бөх чанар чухал байдаг орчинд тохиромжтой.
CVD SiC бүрхүүлийн шинж чанар
CVD SiC бүрхүүлийн шинж чанарууд нь эдгээр хэрэглээнд өндөр үр дүнтэй болгодог. Үүний гол шинж чанаруудын нэг нь хатуулаг бөгөөд Мохсын хатуулгийн хэмжүүрээр алмазтай ойролцоо байр суурь эзэлдэг. Энэхүү хэт хатуулаг нь CVD SiC бүрээсийг элэгдэл, элэгдэлд тэсвэртэй болгодог тул үрэлт ихтэй орчинд тохиромжтой.
Нэмж дурдахад SiC нь маш сайн дулаан дамжуулалттай бөгөөд бүрсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь өндөр температурт ч бүрэн бүтэн байдлыг хадгалах боломжийг олгодог. Энэ нь хагас дамжуулагч болон сансар огторгуйн хэрэглээнд онцгой чухал бөгөөд материал нь бүтцийн бат бөх чанарыг хадгалахын зэрэгцээ хэт халууныг тэсвэрлэх ёстой.
CVD SiC бүрхүүлийн химийн идэвхгүй байдал нь бас нэг чухал давуу тал юм. Энэ нь түрэмгий бодисуудтай исэлдэлт, зэврэлт, химийн урвалд тэсвэртэй тул химийн боловсруулалтын тоног төхөөрөмжид хамгийн тохиромжтой бүрээс болдог. Түүнчлэн, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент нь бүрсэн гадаргуу нь дулааны эргэлтийн нөхцөлд ч хэлбэр, үйл ажиллагаагаа хадгалах боломжийг олгодог.
Дүгнэлт
Дүгнэж хэлэхэд CVD SiC бүрээс нь хэт халуун, механик стресс, химийн зэврэлтийг тэсвэрлэх чадвартай материал шаарддаг үйлдвэрүүдэд удаан эдэлгээтэй, өндөр гүйцэтгэлтэй шийдлийг өгдөг. Түүний хэрэглээ нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлээс эхлээд сансар огторгуй, химийн боловсруулалт хүртэлх өргөн хүрээтэй бөгөөд хатуулаг, дулааны тогтвортой байдал, химийн эсэргүүцэл зэрэг SiC-ийн шинж чанарууд нь үйл ажиллагааны амжилтад чухал үүрэгтэй. Аж үйлдвэрүүд гүйцэтгэл, найдвартай байдлын хил хязгаарыг давсаар байгаа тул CVD SiC бүрээс нь эд ангиудын эдэлгээ, урт наслалтыг нэмэгдүүлэх гол технологи хэвээр байх болно.
Vet-china зэрэг төрөлжсөн үйлдвэрлэгчдийн туршлагаас ашигласнаар компаниуд орчин үеийн үйлдвэрлэлийн процессын хатуу шаардлагад нийцсэн өндөр чанарын CVD SiC бүрээсийг авах боломжтой.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 12-р сарын 18