Цахиур карбид (SiC) нь маш сайн дулаан дамжуулалт, химийн тогтвортой байдал, өндөр температурт тэсвэртэй, өргөн хэрэглээний боломж бүхий керамик материал юм.Цахиурын карбидын гүйцэтгэл, хэрэглээний хүрээг цаашид сайжруулахын тулд химийн уурын хуримтлал (CVD) технологи нь цахиурын карбидын бүрээс бэлтгэх чухал арга болжээ.
Цахиурын карбидын CVD бүрээс нь янз бүрийн субстрат дээр жигд, нягт хамгаалалтын давхарга үүсгэж чаддаг бөгөөд олон төрлийн дээд зэргийн шинж чанартай байдаг.Нэгдүгээрт, цахиурын карбидын бүрээс нь маш өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй бөгөөд элэгдэл, зураасыг үр дүнтэй эсэргүүцэж, субстратыг элэгдэл, зэврэлтээс хамгаалж чаддаг.Хоёрдугаарт, цахиурын карбидын бүрээс нь маш сайн өндөр температурт тэсвэртэй бөгөөд өндөр температурт механик хүч чадал, химийн тогтвортой байдлыг хадгалж чаддаг.Энэ нь цахиур карбидын CVD бүрээсийг сансар огторгуй, эрчим хүч, химийн болон бусад салбарт, тухайлбал, шаталтын камерын дотоод ханыг бүрэх, өндөр температурт хийн мэдрэгч, өндөр температурт электрон төхөөрөмжүүдэд өргөнөөр ашигладаг.
Үүнээс гадна цахиурын карбидын бүрээс нь маш сайн дулаан дамжуулалт, цахилгаан тусгаарлагч шинж чанартай байдаг.Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр нь материалын дулаан дамжуулах чадварыг илэрхийлдэг бөгөөд цахиурын карбидын CVD бүрхүүлийн өндөр дулаан дамжуулалт нь тэдгээрийг радиатор, дулааны хоолой зэрэг дулааны менежментийн хэрэглээнд тохиромжтой болгодог.Цахилгаан тусгаарлагч гэдэг нь тухайн материалын гүйдлийн дулаалгын гүйцэтгэлийг хэлдэг бөгөөд цахиурын карбидын бүрээс нь сайн цахилгаан тусгаарлагчтай тул өндөр хүчдэлийн тусгаарлагч давхарга, электрон савлагаа зэрэг электрон төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг.
Цахиурын карбидын CVD бүрээсийг бэлтгэх үед нийтлэг урьдал хийд цахиурын эх үүсвэр, метан, силан зэрэг нүүрстөрөгчийн эх үүсвэрүүд орно.Эдгээр хий нь CVD урвалаар субстратын гадаргуу дээр цахиурын карбидын нимгэн давхарга үүсгэдэг.Температур, агаарын даралт, хийн урсгал зэрэг урвалын нөхцлийг тохируулснаар бүрхүүлийн зузаан, морфологи, шинж чанарыг хянах боломжтой.
Дүгнэж хэлэхэд, цахиурын карбидын CVD бүрээс нь өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй, өндөр температурт тэсвэртэй, дулаан дамжуулалт, цахилгаан тусгаарлагч зэрэг олон давуу талуудтай.Эдгээр шинж чанарууд нь цахиурын карбидын бүрээсийг сансар огторгуй, эрчим хүч, химийн болон электроник зэрэг олон салбарт өргөн хүрээний хэрэглээтэй болгодог.CVD технологийг тасралтгүй хөгжүүлж, сайжруулснаар цахиурын карбидын бүрээсний гүйцэтгэл улам сайжирч, илүү олон салбарт илүү олон хэрэглээг хангах боломжийг олгоно.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 12-р сарын 18