Шүрших зорилтууднэгдсэн хэлхээ, мэдээлэл хадгалах, шингэн болор дэлгэц, лазер санах ой, электрон хяналтын төхөөрөмж гэх мэт электроникийн болон мэдээллийн салбарт голчлон ашиглагддаг. Тэдгээрийг шилэн бүрэх, түүнчлэн элэгдэлд тэсвэртэй салбарт ашиглаж болно. материал, өндөр температурт зэврэлтэнд тэсвэртэй, өндөр чанартай гоёл чимэглэлийн бүтээгдэхүүн болон бусад үйлдвэрүүд.
Шүрших нь нимгэн хальсан материал бэлтгэх гол аргуудын нэг юм.Энэ нь ионы эх үүсвэрээс үүссэн ионуудыг вакуум орчинд хурдасгаж, нэгтгэхийн тулд өндөр хурдны энергийн ионы цацраг үүсгэх, хатуу гадаргууг бөмбөгдөж, ион ба хатуу гадаргуугийн атомуудын хооронд кинетик энерги солилцоход ашигладаг. Хатуу гадаргуу дээрх атомууд нь хатуу биеийг орхиж, субстратын гадаргуу дээр хуримтлагддаг. Бөмбөгдөж буй хатуу бодис нь шүрших замаар нимгэн хальс үүсгэх түүхий эд бөгөөд үүнийг цацах зорилт гэж нэрлэдэг. Төрөл бүрийн цацруулсан нимгэн хальсан материалыг хагас дамжуулагч нэгдсэн хэлхээ, бичлэгийн хэрэгсэл, хавтгай дэлгэц, ажлын хэсгийн гадаргууг бүрэх зэрэгт өргөн ашигладаг.
Хэрэглээний бүх салбар дундаас хагас дамжуулагчийн үйлдвэр нь зорилтот цацруулагч хальсанд чанарын хамгийн хатуу шаардлага тавьдаг. Өндөр цэвэршилттэй металл цацах зорилтуудыг голчлон өрмөнцөр үйлдвэрлэх болон дэвшилтэт савлагааны процесст ашигладаг. Чип үйлдвэрлэлийг жишээ болгон авч үзвэл, цахиурын ялтсаас эхлээд чип хүртэл тархалт (дулааны процесс), фото литографи (фото-литографи), эш татан буулгах (Etch) гэх мэт 7 үндсэн үйлдвэрлэлийн процессыг туулах шаардлагатай байгааг харж болно. Ион суулгац (IonImplant), Нимгэн хальсны өсөлт (диэлектрик хуримтлал), Химийн механик өнгөлгөө (CMP), Металжуулалт (металлжуулалт) Процессууд нэг нэгээр нь тохирч байна. Шүршигчийг "металлжуулалт" хийх явцад ашигладаг. Нимгэн хальс буулгах төхөөрөмжөөр зорилтот хэсгийг өндөр энергитэй тоосонцороор бөмбөгдөж, дараа нь цахиур хавтан дээр дамжуулагч давхарга, хаалт давхарга гэх мэт тодорхой функц бүхий металл давхарга үүсдэг. Хүлээгээрэй. Хагас дамжуулагчийн үйл явц нь бүхэлдээ янз бүр байдаг тул системийн зөв эсэхийг шалгахын тулд зарим тохиолдлууд шаардлагатай байдаг тул үр нөлөөг баталгаажуулахын тулд үйлдвэрлэлийн тодорхой үе шатанд зарим төрлийн дамми материалыг шаарддаг.
Шуудангийн цаг: 2022 оны 1-р сарын 17