ICP Etch тээвэрлэгч

Богино тайлбар:

Гарал үүслийн газар:Хятад

Кристал бүтэц:FCCβ үе шат

Нягт:3.21 г/см;

Хатуулаг:2500 Викерс;

Үр тарианы хэмжээ:2 ~ 10 микрон;

Химийн цэвэр байдал:99.99995%;

Дулааны багтаамж:640J·кг-1·К-1;

Сублимацын температур:2700 ℃;

Шүдний хүч чадал:415 МПа (RT 4 оноо);

Залуугийн модуль:430 Gpa (4pt нугалах, 1300℃);

Дулааны тэлэлт (CTE):4.5 10-6К-1;

Дулаан дамжуулалт:300（Вт/МК）;

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

Бүтээгдэхүүний тодорхойлолт

Манай компани нь бал чулуу, керамик болон бусад материалын гадаргуу дээр CVD аргаар SiC бүрэх үйл явцын үйлчилгээг үзүүлдэг бөгөөд ингэснээр нүүрстөрөгч, цахиур агуулсан тусгай хий нь өндөр температурт урвалд орж, бүрсэн материалын гадаргуу дээр өндөр цэвэршилттэй SiC молекул, молекулыг гаргаж авах, SIC хамгаалалтын давхарга үүсгэдэг.

Гол онцлогууд:

1. Өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцэл:

1600 С хүртэл өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцэл маш сайн хэвээр байна.

2. Өндөр цэвэршилт: өндөр температурт хлоржуулах нөхцөлд химийн уурын хуримтлалаар хийгдсэн.

3. Элэгдлийн эсэргүүцэл: өндөр хатуулаг, нягт гадаргуу, нарийн ширхэгтэй тоосонцор.

4. Зэврэлтэнд тэсвэртэй: хүчил, шүлт, давс, органик урвалж.

CVD-SIC бүрхүүлийн үндсэн үзүүлэлтүүд

SiC-CVD шинж чанарууд
Кристал бүтэц	FCC β үе шат
Нягт	г/см³	3.21
Хатуу байдал	Викерсийн хатуулаг	2500
Үр тарианы хэмжээ	мкм	2~10
Химийн цэвэр байдал	%	99.99995
Дулааны багтаамж	J·kg-1 ·K-1	640
Сублимацийн температур	℃	2700
Уян эрхтний хүч	МПа (RT 4 оноо)	415
Young's modulus	Gpa (4pt нугалах, 1300℃)	430
Дулааны тэлэлт (CTE)	10-6К-1	4.5
Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр	(Вт/мК)	300