PECVD процесст зориулсан бал чулуу зөөгч

PECVD процесст зориулсан графит зөөгч Онцлох зураг

Богино тайлбар:

МСҮТ-ийн эрчим хүчНарны хавтанд зориулсан PECVD графит завь нь өндөр хүчин чадалтай нарны хавтан үйлдвэрлэхэд зориулагдсан дэвшилтэт бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Плазмын сайжруулсан химийн уурын хуримтлал (PECVD) процесст ашигладаг энэхүү бал чулуун завь нь материалыг оновчтой зөөвөрлөх, нарны эсүүд дээр нимгэн хальсыг жигд байрлуулах боломжийг олгодог. Нарийвчлалтай, удаан эдэлгээтэй байхаар бүтээгдсэн нь өндөр дулаан дамжуулалт, зэврэлтэнд тэсвэртэй, бохирдол багатай байдаг нь үр ашигтай, өндөр чанартай нарны хавтанг үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

МСҮТ-ийн эрчим хүчPECVD процессын бал чулуу зөөгч нь PECVD (плазмын сайжруулсан химийн уурын хуримтлал) процесст тохирсон өндөр чанартай хэрэглээний материал юм. Энэхүү бал чулуу зөөгч нь өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, хэмжээсийн тогтвортой байдал болон бусад шинж чанаруудтай, өндөр цэвэршилттэй, өндөр нягтралтай бал чулуу материалаар хийгдсэн бөгөөд нимгэн хальсны жигд, тэгш байдлыг хангахын тулд PECVD процессын тогтвортой тээвэрлэгч платформоор хангаж чаддаг. хуримтлал.

PECVD процесст зориулсан графит зөөгч нь дараахь шинж чанартай байдаг.

▪ Өндөр цэвэршилт: маш бага хольцтой, хальсыг бохирдуулахаас сэргийлж, хальсны чанарыг хангана.

▪ Өндөр нягтрал: өндөр нягтралтай, өндөр механик бат бөх, өндөр температур, өндөр даралтын PECVD орчныг тэсвэрлэх чадвартай.

▪ Хэмжээний тогтвортой байдал: өндөр температурт жижиг хэмжээсийн өөрчлөлт, процессын тогтвортой байдлыг хангана.

▪ Маш сайн дулаан дамжилтын илтгэлцүүр: вафель хэт халахаас сэргийлж дулааныг үр дүнтэй дамжуулна.

▪ Хүчтэй зэврэлтэнд тэсвэртэй: янз бүрийн идэмхий хий, плазмын нөлөөгөөр элэгдэлд тэсвэртэй.

▪ Захиалгат үйлчилгээ: Төрөл бүрийн хэмжээ, хэлбэрийн бал чулуу зөөгчийг хэрэглэгчийн хэрэгцээнд тохируулан өөрчилж болно.

SGL-ийн графит материал:

Ердийн параметр: R6510
Индекс	Туршилтын стандарт	Үнэ цэнэ	Нэгж
Үр тарианы дундаж хэмжээ	ISO 13320	10	мкм
Бөөн нягтрал	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Нээлттэй сүвэрхэг байдал	DIN66133	10	%
Дунд зэргийн нүх сүвний хэмжээ	DIN66133	1.8	мкм
Ус нэвтрүүлэх чадвар	DIN 51935	0.06	см²/с
Rockwell хатуулаг HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Тодорхой цахилгаан эсэргүүцэл	DIN IEC 60413/402	13	мкм
Гулзайлтын хүч	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Шахалтын бат бэх	DIN 51910	130	МПа
Янгийн модуль	DIN 51915	11.5×10³	МПа
Дулааны тэлэлт (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Энэ нь G12 том хэмжээтэй вафель боловсруулалтыг дэмждэг өндөр үр ашигтай нарны зай үйлдвэрлэхэд зориулагдсан. Оновчтой зөөвөрлөгчийн загвар нь дамжуулах чадварыг ихээхэн нэмэгдүүлж, өндөр ургацын хувь хэмжээ, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулах боломжийг олгодог.

Зүйл	Төрөл	Өргөст цаасны дугаар зөөгч
PEVCD Grephite завь - 156 цуврал	156-13 грефит завь	144
	156-19 Грефит завь	216
	156-21 Грефит завь	240
	156-23 бал чулуун завь	308
PEVCD Grephite завь - 125 цуврал	125-15 грефит завь	196
	125-19 грефит завь	252
	125-21 грфит завь	280