Бал чулуу материалын шаардлагуудын хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн шаардлага нь ялангуяа өндөр байдаг, бал чулуу нь нарийн ширхэгийн хэмжээ нь өндөр нарийвчлал, өндөр температурт тэсвэртэй, өндөр бат бэх, бага хэмжээний алдагдал болон бусад давуу талтай, тухайлбал: аглосон бал чулуун бүтээгдэхүүн хөгц.Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрт ашигладаг бал чулуун тоног төхөөрөмж (халаагч ба тэдгээрийн гангарсан хэвийг оролцуулан) нь олон удаа халаах, хөргөх процессыг тэсвэрлэх шаардлагатай байдаг тул графит төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгахын тулд ихэвчлэн ашигласан графит материал нь тогтвортой ажиллах шаардлагатай байдаг. болон халуунд тэсвэртэй нөлөөллийн функц.
01 Хагас дамжуулагч талст өсөлтөд зориулсан графит хэрэгслүүд
Хагас дамжуулагч талстыг ургуулахад ашигладаг бүх процесс нь өндөр температур, идэмхий орчинд ажилладаг. Кристал өсөлтийн зуухны халуун бүс нь ихэвчлэн халаагч, тигель, тусгаарлагч цилиндр, чиглүүлэгч цилиндр, электрод, тигель эзэмшигч, электродын самар гэх мэт халуунд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй өндөр цэвэршилттэй бал чулуун эд ангиудаар тоноглогдсон байдаг.
Бид болор үйлдвэрлэх төхөөрөмжийн бүх графит эд ангиудыг дангаар нь болон иж бүрдэлээр нь нийлүүлэх эсвэл хэрэглэгчийн шаардлагад нийцүүлэн янз бүрийн хэмжээтэй графит эд ангиудыг үйлдвэрлэх боломжтой. Бүтээгдэхүүний хэмжээг газар дээр нь хэмжиж болох бөгөөд эцсийн бүтээгдэхүүний үнсний агууламж бага байж болно5ppm-ээс их.
02 Хагас дамжуулагч эпитаксид зориулсан графит хэрэгслүүд
Эпитаксиаль процесс нь нэг талст субстрат дээрх субстраттай ижил торны зохион байгуулалттай нэг талст материалын давхаргын өсөлтийг хэлнэ. Эпитаксиаль процесст өрөм нь бал чулуун диск дээр ачаалагддаг. Бал чулуун дискний гүйцэтгэл, чанар нь өрөмний эпитаксиаль давхаргын чанарт чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Эпитаксиаль үйлдвэрлэлийн салбарт хэт өндөр цэвэршилттэй бал чулуу, SIC бүрээстэй өндөр цэвэршилттэй бал чулууны суурь шаардлагатай.
Манай компанийн хагас дамжуулагч эпитаксийн графит суурь нь өргөн хүрээний хэрэглээтэй, салбарт өргөн хэрэглэгддэг ихэнх тоног төхөөрөмжид тохирохуйц өндөр цэвэршилттэй, жигд бүрээстэй, ашиглалтын хугацаа маш сайн, химийн өндөр эсэргүүцэл, дулааны тогтвортой байдал зэрэгтэй.
03 Ион суулгахад зориулсан графит дагалдах хэрэгсэл
Ион суулгац гэдэг нь бор, фосфор, хүнцлийн плазмын цацрагийг тодорхой энерги болгон хурдасгаж, дараа нь вафель материалын гадаргуугийн давхаргад шахаж, гадаргуугийн давхаргын материалын шинж чанарыг өөрчлөх үйл явцыг хэлнэ. Ион суулгах төхөөрөмжийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь маш сайн халуунд тэсвэртэй, дулаан дамжуулалттай, ионы цацрагаас үүсэх зэврэлт багатай, хольц багатай өндөр цэвэр материалаар хийгдсэн байна. Өндөр цэвэршилттэй бал чулуу нь хэрэглээний шаардлагад нийцсэн бөгөөд ион суулгах төхөөрөмжийн нислэгийн хоолой, төрөл бүрийн ангархай, электрод, электродын бүрээс, дамжуулах хоолой, цацрагийн төгсгөл зэрэгт ашиглаж болно.
Бид янз бүрийн ион суулгацын машинуудад бал чулуунаас хамгаалах бүрхэвчээр хангаад зогсохгүй өндөр цэвэршилттэй бал чулуу электродууд болон янз бүрийн үзүүлэлтүүдийн зэврэлтэнд тэсвэртэй ионы эх үүсвэрээр хангаж чадна. Холбогдох загварууд: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM болон бусад тоног төхөөрөмж. Үүнээс гадна бид тохирох керамик, вольфрам, молибден, хөнгөн цагаан бүтээгдэхүүн, бүрсэн эд ангиудыг хангаж чадна.
04 Графит тусгаарлагч материал болон бусад
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид ашигладаг дулаан тусгаарлах материалд графит хатуу эсгий, зөөлөн эсгий, бал чулуун тугалган цаас, бал чулуун цаас, бал чулуу олс орно.
Манай бүх түүхий эд нь импортын бал чулуу бөгөөд хэрэглэгчийн хэрэгцээнд тохируулан зүсэж эсвэл бүхэлд нь борлуулж болно.
Нүүрстөрөгч-нүүрстөрөгчийн тавиурыг нарны монокристалл цахиур ба поликристалл цахиур эсийг үйлдвэрлэх процесст хальсан бүрхүүлд зөөгч болгон ашигладаг. Ажлын зарчим нь: цахиурын чипийг CFC тавиур руу хийж, хальсан бүрхүүлийг боловсруулахын тулд зуухны хоолой руу илгээнэ.
