Эпитаксиаль Эпи Графит баррель Сусцептор

Эпитаксиаль Эпи Графит баррель Сусцептор

Эпитаксиаль Эпи Графит баррель СусцепторХагас дамжуулагч субстратыг хуримтлуулах эсвэл эпитакси хийх зэрэг үйлдвэрлэлийн процессын үед халаах, хадгалахад ашигладаг тусгайлан зохион бүтээсэн тулгуур ба халаах төхөөрөмж юм.

Түүний бүтэц нь ихэвчлэн цилиндр эсвэл бага зэрэг баррель хэлбэртэй, гадаргуу нь олон халаас эсвэл өргүүрийг байрлуулах тавцантай, халаалтын аргаас хамааран цул эсвэл хөндий хэлбэртэй байж болно.

Эпитаксиаль баррель мэдрэгчийн үндсэн үүрэг:

-Субстратын дэмжлэг: олон хагас дамжуулагч өргүүрийг найдвартай барих;
-Дулааны эх үүсвэр: өсөлтөд шаардлагатай өндөр температурыг халаах замаар хангадаг;
-Температурын жигд байдал: субстратын жигд халаалтыг хангана;
-Эргэлт: температур, хийн тархалтын жигд байдлыг сайжруулахын тулд өсөлтийн явцад ихэвчлэн эргэдэг.

Epi графит баррель мэдрэгчийн ажиллах зарчим:
- Эпитаксиаль реакторт баррель мэдрэгчийг шаардлагатай температурт халаана (цахиурын эпитаксийн хувьд ихэвчлэн 1000℃-1200℃);
-Баррель мэдрэгч нь температурын жигд тархалт, хийн урсгалыг хангахын тулд эргэдэг;
-Урвалын хий нь өндөр температурт задарч, субстратын гадаргуу дээр эпитаксиаль давхарга үүсгэдэг.

Хэрэглээ:
-Цахиурын эпитаксиаль өсөлтөд голчлон ашигладаг
- GaAs, InP гэх мэт бусад хагас дамжуулагч материалын эпитаксид мөн хэрэглэнэ.

VET Energy нь химийн тогтвортой байдлыг сайжруулахын тулд CVD-SiC бүрээстэй өндөр цэвэршилттэй бал чулууг ашигладаг.

VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor-ийн давуу талууд:

- Өндөр температурын тогтвортой байдал;
- Сайн дулааны жигд байдал;
-Олон субстратыг нэгэн зэрэг боловсруулж, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлэх боломжтой;
-Химийн хувьд идэвхгүй, өндөр цэвэршилттэй өсөлтийн орчинг хадгална.