സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗ് ഹീറ്റർ

വെറ്റ്-ചൈനസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക്കോട്ടിംഗ് എന്നത് വളരെ കഠിനവും ധരിക്കുന്ന പ്രതിരോധശേഷിയുള്ളതുമായ ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള സംരക്ഷണ കോട്ടിംഗാണ്സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC)മികച്ച രാസ നാശന പ്രതിരോധവും ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരതയും നൽകുന്ന മെറ്റീരിയൽ. അർദ്ധചാലക ഉൽപാദനത്തിൽ ഈ സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ നിർണായകമാണ്സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗ്അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രധാന ഘടകങ്ങളിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

വെറ്റ്-ചൈനയുടെ പ്രത്യേക പങ്ക്സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക്അർദ്ധചാലക ഉൽപാദനത്തിൽ പൂശുന്നത് ഇപ്രകാരമാണ്:

ഉപകരണങ്ങളുടെ ഈട് വർദ്ധിപ്പിക്കുക:സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗ് ഉയർന്ന കാഠിന്യവും വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവുമുള്ള അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് മികച്ച ഉപരിതല സംരക്ഷണം നൽകുന്നു. കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (സിവിഡി), പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് എന്നിവ പോലുള്ള ഉയർന്ന താപനിലയും അത്യധികം നശിപ്പിക്കുന്നതുമായ പ്രക്രിയ പരിതസ്ഥിതികളിൽ, കെമിക്കൽ മണ്ണൊലിപ്പ് അല്ലെങ്കിൽ ശാരീരിക വസ്ത്രങ്ങൾ മൂലം ഉപകരണങ്ങളുടെ ഉപരിതലത്തിന് കേടുപാടുകൾ സംഭവിക്കുന്നത് ഫലപ്രദമായി തടയാൻ കോട്ടിംഗിന് കഴിയും, അതുവഴി സേവന ആയുസ്സ് ഗണ്യമായി വർദ്ധിപ്പിക്കും. ഇടയ്ക്കിടെ മാറ്റിസ്ഥാപിക്കലും അറ്റകുറ്റപ്പണികളും കാരണം ഉപകരണങ്ങളും പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയവും കുറയ്ക്കുന്നു.

പ്രക്രിയയുടെ പരിശുദ്ധി മെച്ചപ്പെടുത്തുക:അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ, ചെറിയ മലിനീകരണം ഉൽപ്പന്ന വൈകല്യങ്ങൾക്ക് കാരണമായേക്കാം. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗിൻ്റെ രാസ നിഷ്ക്രിയത്വം അത്യന്തം സാഹചര്യങ്ങളിൽ സ്ഥിരത നിലനിർത്താൻ അനുവദിക്കുന്നു, കണികകളോ മാലിന്യങ്ങളോ പുറത്തുവിടുന്നതിൽ നിന്ന് മെറ്റീരിയൽ തടയുന്നു, അതുവഴി പ്രക്രിയയുടെ പാരിസ്ഥിതിക പരിശുദ്ധി ഉറപ്പാക്കുന്നു. PECVD, അയോൺ ഇംപ്ലാൻ്റേഷൻ എന്നിവ പോലുള്ള ഉയർന്ന കൃത്യതയും ഉയർന്ന ശുചിത്വവും ആവശ്യമുള്ള നിർമ്മാണ ഘട്ടങ്ങൾക്ക് ഇത് വളരെ പ്രധാനമാണ്.

താപ മാനേജ്മെൻ്റ് ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുക:റാപ്പിഡ് തെർമൽ പ്രോസസ്സിംഗ് (ആർടിപി), ഓക്‌സിഡേഷൻ പ്രക്രിയകൾ എന്നിവ പോലുള്ള ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അർദ്ധചാലക പ്രോസസ്സിംഗിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗിൻ്റെ ഉയർന്ന താപ ചാലകത ഉപകരണങ്ങൾക്കുള്ളിലെ ഏകീകൃത താപനില വിതരണം സാധ്യമാക്കുന്നു. താപനിലയിലെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ മൂലമുണ്ടാകുന്ന താപ സമ്മർദ്ദവും മെറ്റീരിയൽ രൂപഭേദവും കുറയ്ക്കാൻ ഇത് സഹായിക്കുന്നു, അതുവഴി ഉൽപ്പന്ന നിർമ്മാണ കൃത്യതയും സ്ഥിരതയും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.

സങ്കീർണ്ണമായ പ്രക്രിയ പരിതസ്ഥിതികളെ പിന്തുണയ്ക്കുക:ഐസിപി എച്ചിംഗ്, പിഎസ്എസ് എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയകൾ പോലുള്ള സങ്കീർണ്ണമായ അന്തരീക്ഷ നിയന്ത്രണം ആവശ്യമായ പ്രക്രിയകളിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗിൻ്റെ സ്ഥിരതയും ഓക്‌സിഡേഷൻ പ്രതിരോധവും ഉപകരണങ്ങൾ ദീർഘകാല പ്രവർത്തനത്തിൽ സ്ഥിരതയുള്ള പ്രകടനം നിലനിർത്തുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഇത് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ അപചയത്തിൻ്റെ സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു. പാരിസ്ഥിതിക മാറ്റങ്ങളിലേക്ക്.