SiC വേഫർ ബോട്ട്/ടവർ

ഉൽപ്പന്ന വിശദാംശങ്ങൾ

ഉൽപ്പന്നംDവിവരണം

ഉയർന്ന താപനില വ്യാപന പ്രക്രിയയിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫർ ബോട്ട് ഒരു വേഫർ ഹോൾഡറായി വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

പ്രയോജനങ്ങൾ:

ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം:1800 ഡിഗ്രിയിൽ സാധാരണ ഉപയോഗം

ഉയർന്ന താപ ചാലകത:ഗ്രാഫൈറ്റ് മെറ്റീരിയലിന് തുല്യമാണ്

ഉയർന്ന കാഠിന്യം:വജ്രം, ബോറോൺ നൈട്രൈഡ് കഴിഞ്ഞാൽ കാഠിന്യം

നാശ പ്രതിരോധം:ശക്തമായ ആസിഡിനും ക്ഷാരത്തിനും നാശമില്ല, ടങ്സ്റ്റൺ കാർബൈഡിനേക്കാളും അലുമിനയേക്കാളും നാശ പ്രതിരോധം നല്ലതാണ്

നേരിയ ഭാരം:കുറഞ്ഞ സാന്ദ്രത, അലൂമിനിയത്തോട് അടുത്ത്

രൂപഭേദം ഇല്ല: താപ വികാസത്തിൻ്റെ കുറഞ്ഞ ഗുണകം

തെർമൽ ഷോക്ക് പ്രതിരോധം:ഇതിന് മൂർച്ചയുള്ള താപനില മാറ്റങ്ങളെ നേരിടാനും തെർമൽ ഷോക്കിനെ പ്രതിരോധിക്കാനും സ്ഥിരതയുള്ള പ്രകടനമുണ്ട്

SiC യുടെ ഭൗതിക ഗുണങ്ങൾ

സ്വത്ത്	മൂല്യം	രീതി
സാന്ദ്രത	3.21 g/cc	സിങ്ക്-ഫ്ലോട്ടും അളവും
പ്രത്യേക ചൂട്	0.66 J/g °K	പൾസ്ഡ് ലേസർ ഫ്ലാഷ്
ഫ്ലെക്സറൽ ശക്തി	450 MPa560 MPa	4 പോയിൻ്റ് ബെൻഡ്, RT4 പോയിൻ്റ് ബെൻഡ്, 1300°
ഫ്രാക്ചർ കാഠിന്യം	2.94 MPa m1/2	മൈക്രോഇൻഡൻ്റേഷൻ
കാഠിന്യം	2800	വിക്കേഴ്സ്, 500 ഗ്രാം ലോഡ്
ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ് യങ്ങിൻ്റെ മോഡുലസ്	450 GPa430 GPa	4 pt ബെൻഡ്, RT4 pt ബെൻഡ്, 1300 °C
ധാന്യത്തിൻ്റെ വലിപ്പം	2 - 10 µm	SEM

SiC യുടെ താപ ഗുണങ്ങൾ

താപ ചാലകത	250 W/m °K	ലേസർ ഫ്ലാഷ് രീതി, RT
തെർമൽ എക്സ്പാൻഷൻ (CTE)	4.5 x 10-6 °K	മുറിയിലെ താപനില 950 °C, സിലിക്ക ഡിലാറ്റോമീറ്റർ