ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളിൽ മെറ്റൽ ഇൻ്റർകണക്ടുകൾ നിർമ്മിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്രോസസ് ടെക്നോളജിയാണ് ഡ്യുവൽ-ഡമാസ്സീൻ. ഇത് ഡമാസ്കസ് പ്രക്രിയയുടെ കൂടുതൽ വികാസമാണ്. ഒരേ പ്രക്രിയ ഘട്ടത്തിൽ ഒരേ സമയം ദ്വാരങ്ങളിലൂടെയും ചാലിലൂടെയും രൂപപ്പെടുകയും അവയെ ലോഹത്തിൽ നിറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നതിലൂടെ, ലോഹ പരസ്പര ബന്ധങ്ങളുടെ സംയോജിത നിർമ്മാണം സാക്ഷാത്കരിക്കപ്പെടുന്നു.
എന്തുകൊണ്ടാണ് അതിനെ ഡമാസ്കസ് എന്ന് വിളിക്കുന്നത്?
ഡമാസ്കസ് നഗരം സിറിയയുടെ തലസ്ഥാനമാണ്, ഡമാസ്കസ് വാളുകൾ അവയുടെ മൂർച്ചയ്ക്കും അതിമനോഹരമായ ഘടനയ്ക്കും പ്രശസ്തമാണ്. ഒരു തരത്തിലുള്ള ഇൻലേ പ്രക്രിയ ആവശ്യമാണ്: ആദ്യം, ആവശ്യമായ പാറ്റേൺ ഡമാസ്കസ് സ്റ്റീലിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ കൊത്തിവച്ചിരിക്കുന്നു, കൂടാതെ മുൻകൂട്ടി തയ്യാറാക്കിയ വസ്തുക്കൾ കൊത്തിയെടുത്ത ഗ്രോവുകളിൽ ദൃഡമായി പൊതിഞ്ഞിരിക്കുന്നു. ഇൻലേ പൂർത്തിയാക്കിയ ശേഷം, ഉപരിതലം അല്പം അസമമായേക്കാം. മൊത്തത്തിലുള്ള സുഗമത ഉറപ്പാക്കാൻ കരകൗശല വിദഗ്ധൻ അത് ശ്രദ്ധാപൂർവ്വം മിനുക്കും. ഈ പ്രക്രിയ ചിപ്പിൻ്റെ ഇരട്ട ഡമാസ്കസ് പ്രക്രിയയുടെ പ്രോട്ടോടൈപ്പാണ്. ആദ്യം, വൈദ്യുത പാളിയിൽ ആവേശങ്ങൾ അല്ലെങ്കിൽ ദ്വാരങ്ങൾ കൊത്തിവച്ചിരിക്കുന്നു, തുടർന്ന് അവയിൽ ലോഹം നിറയ്ക്കുന്നു. പൂരിപ്പിച്ച ശേഷം, അധിക ലോഹം cmp വഴി നീക്കം ചെയ്യപ്പെടും.
ഡ്യുവൽ ഡമാസ്സീൻ പ്രക്രിയയുടെ പ്രധാന ഘട്ടങ്ങളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
▪ വൈദ്യുത പാളിയുടെ നിക്ഷേപം:
അർദ്ധചാലകത്തിൽ സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡ് (SiO2) പോലെയുള്ള വൈദ്യുത പദാർത്ഥത്തിൻ്റെ ഒരു പാളി നിക്ഷേപിക്കുകവേഫർ.
▪ പാറ്റേൺ നിർവചിക്കാൻ ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി:
വൈദ്യുത പാളിയിലെ വിയാസുകളുടെയും ട്രെഞ്ചുകളുടെയും പാറ്റേൺ നിർവചിക്കാൻ ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി ഉപയോഗിക്കുക.
▪കൊത്തുപണി:
ഉണങ്ങിയതോ നനഞ്ഞതോ ആയ കൊത്തുപണി പ്രക്രിയയിലൂടെ വിയാസുകളുടെയും ട്രെഞ്ചുകളുടെയും പാറ്റേൺ ഡൈഇലക്‌ട്രിക് ലെയറിലേക്ക് മാറ്റുക.
▪ ലോഹത്തിൻ്റെ നിക്ഷേപം:
ചെമ്പ് (Cu) അല്ലെങ്കിൽ അലുമിനിയം (Al) പോലെയുള്ള ലോഹങ്ങൾ, വിയാസുകളിലും കിടങ്ങുകളിലും ലോഹ പരസ്പരബന്ധം ഉണ്ടാക്കുക.
▪ കെമിക്കൽ മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷിംഗ്:
അധിക ലോഹം നീക്കം ചെയ്യാനും ഉപരിതലം പരത്താനും ലോഹ പ്രതലത്തിൻ്റെ കെമിക്കൽ മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷിംഗ്.
പരമ്പരാഗത മെറ്റൽ ഇൻ്റർകണക്ട് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, ഡ്യുവൽ ഡമാസ്സീൻ പ്രക്രിയയ്ക്ക് ഇനിപ്പറയുന്ന ഗുണങ്ങളുണ്ട്:
▪ലളിതമായ പ്രക്രിയ ഘട്ടങ്ങൾ:ഒരേ പ്രക്രിയ ഘട്ടത്തിൽ ഒരേസമയം വിയാസും ട്രെഞ്ചുകളും രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിലൂടെ, പ്രക്രിയ ഘട്ടങ്ങളും നിർമ്മാണ സമയവും കുറയുന്നു.
▪മെച്ചപ്പെട്ട നിർമ്മാണ കാര്യക്ഷമത:പ്രോസസ്സ് ഘട്ടങ്ങളുടെ കുറവ് കാരണം, ഡ്യുവൽ ഡമാസ്കീൻ പ്രക്രിയയ്ക്ക് നിർമ്മാണ കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്താനും ഉൽപ്പാദനച്ചെലവ് കുറയ്ക്കാനും കഴിയും.
▪മെറ്റൽ ഇൻ്റർകണക്റ്റുകളുടെ പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുക:ഇരട്ട ഡമാസ്സീൻ പ്രക്രിയയ്ക്ക് ഇടുങ്ങിയ മെറ്റൽ ഇൻ്റർകണക്ടുകൾ കൈവരിക്കാൻ കഴിയും, അതുവഴി സർക്യൂട്ടുകളുടെ സംയോജനവും പ്രവർത്തനവും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.
▪പാരാസിറ്റിക് കപ്പാസിറ്റൻസും പ്രതിരോധവും കുറയ്ക്കുക:ലോ-കെ ഡൈഇലക്‌ട്രിക് മെറ്റീരിയലുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നതിലൂടെയും മെറ്റൽ ഇൻ്റർകണക്റ്റുകളുടെ ഘടന ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിലൂടെയും പരാന്നഭോജി കപ്പാസിറ്റൻസും പ്രതിരോധവും കുറയ്ക്കാനും സർക്യൂട്ടുകളുടെ വേഗതയും വൈദ്യുതി ഉപഭോഗ പ്രകടനവും മെച്ചപ്പെടുത്താനും കഴിയും.
പോസ്റ്റ് സമയം: നവംബർ-25-2024