അർദ്ധചാലക CVD ഉപകരണങ്ങളിൽ PECVD-യും LPCVD-യും തമ്മിലുള്ള വ്യത്യാസം എന്താണ്?

രാസ നീരാവി നിക്ഷേപം (സി.വി.ഡി) ഒരു സിലിക്കണിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ഒരു സോളിഡ് ഫിലിം നിക്ഷേപിക്കുന്ന പ്രക്രിയയെ സൂചിപ്പിക്കുന്നുവേഫർഒരു വാതക മിശ്രിതത്തിൻ്റെ രാസപ്രവർത്തനത്തിലൂടെ. വ്യത്യസ്ത പ്രതികരണ വ്യവസ്ഥകൾ അനുസരിച്ച് (മർദ്ദം, മുൻഗാമി), ഇത് വിവിധ ഉപകരണ മോഡലുകളായി തിരിക്കാം.

ഈ രണ്ട് ഉപകരണങ്ങളും ഏത് പ്രക്രിയകൾക്കാണ് ഉപയോഗിക്കുന്നത്?

PECVDOX, നൈട്രൈഡ്, മെറ്റൽ ഗേറ്റ്, രൂപരഹിതമായ കാർബൺ മുതലായവയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന (പ്ലാസ്മ എൻഹാൻസ്‌ഡ്) ഉപകരണങ്ങളാണ് ഏറ്റവും കൂടുതലും ഏറ്റവും സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നതും. LPCVD (ലോ പവർ) സാധാരണയായി നൈട്രൈഡ്, പോളി, TEOS എന്നിവയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
എന്താണ് തത്വം?
PECVD - പ്ലാസ്മ ഊർജ്ജവും CVD ഉം തികച്ചും സംയോജിപ്പിക്കുന്ന ഒരു പ്രക്രിയ. കുറഞ്ഞ മർദ്ദത്തിൽ പ്രോസസ് ചേമ്പറിൻ്റെ കാഥോഡിൽ (അതായത്, സാമ്പിൾ ട്രേ) ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് പ്രേരിപ്പിക്കുന്നതിന് PECVD സാങ്കേതികവിദ്യ കുറഞ്ഞ താപനിലയുള്ള പ്ലാസ്മ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഈ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് അല്ലെങ്കിൽ മറ്റ് തപീകരണ ഉപകരണത്തിന് സാമ്പിളിൻ്റെ താപനില മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ച നിലയിലേക്ക് ഉയർത്താൻ കഴിയും, തുടർന്ന് ഒരു നിയന്ത്രിത പ്രോസസ് ഗ്യാസ് അവതരിപ്പിക്കാൻ കഴിയും. ഈ വാതകം രാസ, പ്ലാസ്മ പ്രതിപ്രവർത്തനങ്ങളുടെ ഒരു പരമ്പരയ്ക്ക് വിധേയമാകുന്നു, ഒടുവിൽ സാമ്പിളിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ഒരു സോളിഡ് ഫിലിം ഉണ്ടാക്കുന്നു.

LPCVD - ലോ-പ്രഷർ കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (LPCVD) റിയാക്ടറിലെ പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകത്തിൻ്റെ പ്രവർത്തന സമ്മർദ്ദം ഏകദേശം 133Pa അല്ലെങ്കിൽ അതിൽ കുറവായി കുറയ്ക്കാൻ രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിട്ടുള്ളതാണ്.

ഓരോന്നിൻ്റെയും സവിശേഷതകൾ എന്തൊക്കെയാണ്?

PECVD - പ്ലാസ്മ ഊർജ്ജവും CVD ഉം തികച്ചും സംയോജിപ്പിക്കുന്ന ഒരു പ്രക്രിയ: 1) താഴ്ന്ന താപനില പ്രവർത്തനം (ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ഉയർന്ന താപനില കേടുപാടുകൾ ഒഴിവാക്കൽ); 2) ഫാസ്റ്റ് ഫിലിം വളർച്ച; 3) സാമഗ്രികളെക്കുറിച്ച് ശ്രദ്ധാലുവല്ല, OX, നൈട്രൈഡ്, മെറ്റൽ ഗേറ്റ്, രൂപരഹിതമായ കാർബൺ എന്നിവയെല്ലാം വളരും; 4) അയോൺ പാരാമീറ്ററുകൾ, ഗ്യാസ് ഫ്ലോ റേറ്റ്, താപനില, ഫിലിം കനം എന്നിവയിലൂടെ പാചകക്കുറിപ്പ് ക്രമീകരിക്കാൻ കഴിയുന്ന ഒരു ഇൻ-സിറ്റു മോണിറ്ററിംഗ് സിസ്റ്റം ഉണ്ട്.
LPCVD - LPCVD നിക്ഷേപിക്കുന്ന നേർത്ത ഫിലിമുകൾക്ക് മികച്ച സ്റ്റെപ്പ് കവറേജ്, നല്ല ഘടനയും ഘടനയും നിയന്ത്രണം, ഉയർന്ന ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്ക്, ഔട്ട്പുട്ട് എന്നിവ ഉണ്ടായിരിക്കും. കൂടാതെ, എൽപിസിവിഡിക്ക് കാരിയർ വാതകം ആവശ്യമില്ല, അതിനാൽ ഇത് കണികാ മലിനീകരണത്തിൻ്റെ ഉറവിടം വളരെയധികം കുറയ്ക്കുകയും ഉയർന്ന മൂല്യവർദ്ധിത അർദ്ധചാലക വ്യവസായങ്ങളിൽ നേർത്ത ഫിലിം നിക്ഷേപത്തിനായി വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.