സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്സിലിക്കണും കാർബണും അടങ്ങിയ ഒരു ഹാർഡ് സംയുക്തമാണ്, കൂടാതെ പ്രകൃതിയിൽ വളരെ അപൂർവമായ ധാതുവായ മോയ്സാനൈറ്റായി കാണപ്പെടുന്നു. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കണങ്ങളെ സിൻ്ററിംഗ് വഴി പരസ്പരം ബന്ധിപ്പിച്ച് വളരെ കഠിനമായ സെറാമിക്സ് രൂപപ്പെടുത്താൻ കഴിയും, ഇത് ഉയർന്ന ഈട് ആവശ്യമുള്ള പ്രയോഗങ്ങളിൽ, പ്രത്യേകിച്ച് അർദ്ധചാലക ഘോഷയാത്രയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
SiC യുടെ ഭൗതിക ഘടന
എന്താണ് SiC കോട്ടിംഗ്?
ഉയർന്ന നാശവും താപ പ്രതിരോധവും മികച്ച താപ ചാലകതയും ഉള്ള ഇടതൂർന്നതും ധരിക്കുന്ന പ്രതിരോധശേഷിയുള്ളതുമായ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗാണ് SiC കോട്ടിംഗ്. ഈ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള SiC കോട്ടിംഗ് പ്രാഥമികമായി ഉപയോഗിക്കുന്നത് അർദ്ധചാലകങ്ങളിലും ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായങ്ങളിലുമാണ്, വേഫർ കാരിയറുകൾ, ബേസുകൾ, ചൂടാക്കൽ ഘടകങ്ങൾ എന്നിവ നശിപ്പിക്കുന്ന, പ്രതിപ്രവർത്തന പരിതസ്ഥിതികളിൽ നിന്ന് സംരക്ഷിക്കാൻ. ഉയർന്ന വാക്വം, റിയാക്ടീവ്, ഓക്സിജൻ പരിതസ്ഥിതികളിൽ വാക്വം ഫർണസുകൾക്കും സാമ്പിൾ ചൂടാക്കലിനും SiC കോട്ടിംഗ് അനുയോജ്യമാണ്.
ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള SiC കോട്ടിംഗ് ഉപരിതലം
എന്താണ് SiC കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയ?
സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെ നേർത്ത പാളി ഉപയോഗിച്ച് അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുന്നുCVD (രാസ നീരാവി നിക്ഷേപം). സാധാരണയായി 1200-1300 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് താപനിലയിലാണ് നിക്ഷേപം നടത്തുന്നത്, കൂടാതെ താപ സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കുന്നതിന് സബ്സ്ട്രേറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ താപ വികാസ സ്വഭാവം SiC കോട്ടിംഗുമായി പൊരുത്തപ്പെടണം.
CVD SIC കോട്ടിംഗ് ഫിലിം ക്രിസ്റ്റൽ സ്ട്രക്ചർ
SiC കോട്ടിംഗിൻ്റെ ഭൗതിക സവിശേഷതകൾ പ്രധാനമായും അതിൻ്റെ ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം, കാഠിന്യം, നാശന പ്രതിരോധം, താപ ചാലകത എന്നിവയിൽ പ്രതിഫലിക്കുന്നു.
സാധാരണ ഫിസിക്കൽ പാരാമീറ്ററുകൾ സാധാരണയായി ഇനിപ്പറയുന്നവയാണ്:
കാഠിന്യം: SiC കോട്ടിംഗിന് സാധാരണയായി 2000-2500 HV ശ്രേണിയിൽ ഒരു വിക്കർ കാഠിന്യം ഉണ്ട്, ഇത് വ്യാവസായിക ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ അവർക്ക് വളരെ ഉയർന്ന വസ്ത്രവും ആഘാത പ്രതിരോധവും നൽകുന്നു.
സാന്ദ്രത: SiC കോട്ടിംഗുകൾക്ക് സാധാരണയായി 3.1-3.2 g/cm³ സാന്ദ്രതയുണ്ട്. ഉയർന്ന സാന്ദ്രത കോട്ടിംഗിൻ്റെ മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിക്കും ഈടുനിൽക്കുന്നതിനും കാരണമാകുന്നു.
താപ ചാലകത: SiC കോട്ടിംഗുകൾക്ക് ഉയർന്ന താപ ചാലകതയുണ്ട്, സാധാരണയായി 120-200 W/mK (20°C) പരിധിയിലാണ്. ഇത് ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിൽ നല്ല താപ ചാലകത നൽകുകയും അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ ചൂട് ചികിത്സ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ഇത് പ്രത്യേകിച്ച് അനുയോജ്യമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
ദ്രവണാങ്കം: സിലിക്കൺ കാർബൈഡിന് ഏകദേശം 2730 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് ദ്രവണാങ്കമുണ്ട്, അത്യുഷ്ടമായ താപനിലയിൽ മികച്ച താപ സ്ഥിരതയുമുണ്ട്.
താപ വികാസത്തിൻ്റെ ഗുണകം: SiC കോട്ടിംഗുകൾക്ക് താഴ്ന്ന ലീനിയർ കോഫിഫിഷ്യൻ്റ് ഓഫ് തെർമൽ എക്സ്പാൻഷൻ (CTE) ഉണ്ട്, സാധാരണയായി 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃ ൽ) പരിധിയിലായിരിക്കും. വലിയ താപനില വ്യത്യാസങ്ങളിൽ അതിൻ്റെ ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത മികച്ചതാണെന്നാണ് ഇതിനർത്ഥം.
നാശ പ്രതിരോധംശക്തമായ ആസിഡ്, ആൽക്കലി, ഓക്സിഡൈസിംഗ് പരിതസ്ഥിതികളിൽ, പ്രത്യേകിച്ച് ശക്തമായ ആസിഡുകൾ (HF അല്ലെങ്കിൽ HCl പോലുള്ളവ) ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, അവയുടെ നാശ പ്രതിരോധം പരമ്പരാഗത ലോഹ വസ്തുക്കളേക്കാൾ വളരെ കൂടുതലാണ്.
ഇനിപ്പറയുന്ന മെറ്റീരിയലുകളിൽ SiC കോട്ടിംഗുകൾ പ്രയോഗിക്കാൻ കഴിയും:
ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് ഗ്രാഫൈറ്റ് (കുറഞ്ഞ CTE)
ടങ്സ്റ്റൺ
മോളിബ്ഡിനം
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്
സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ്
കാർബൺ-കാർബൺ സംയുക്തങ്ങൾ (CFC)
SiC പൂശിയ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ഇനിപ്പറയുന്ന മേഖലകളിൽ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു:
LED ചിപ്പ് ഉത്പാദനം
പോളിസിലിക്കൺ ഉത്പാദനം
അർദ്ധചാലകംക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ച
സിലിക്കൺ ഒപ്പംSiC എപ്പിറ്റാക്സി
വേഫർ ചൂട് ചികിത്സയും കൊത്തുപണിയും
എന്തുകൊണ്ടാണ് VET എനർജി തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നത്?
VET എനർജി ചൈനയിലെ SiC കോട്ടിംഗ് ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെ മുൻനിര നിർമ്മാതാവും നവീകരണക്കാരനും നേതാവുമാണ്, പ്രധാന SiC കോട്ടിംഗ് ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുന്നുSiC കോട്ടിംഗുള്ള വേഫർ കാരിയർ, SiC പൂശിഎപ്പിറ്റാക്സിയൽ സസെപ്റ്റർ, SiC പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് മോതിരം, SiC കോട്ടിംഗുള്ള അർദ്ധ ചന്ദ്ര ഭാഗങ്ങൾ, SiC പൂശിയ കാർബൺ-കാർബൺ സംയുക്തം, SiC പൂശിയ വേഫർ ബോട്ട്, SiC പൂശിയ ഹീറ്റർ, തുടങ്ങിയവ. VET എനർജി അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിന് ആത്യന്തിക സാങ്കേതികവിദ്യയും ഉൽപ്പന്ന പരിഹാരങ്ങളും നൽകുന്നതിന് പ്രതിജ്ഞാബദ്ധമാണ്, കൂടാതെ കസ്റ്റമൈസേഷൻ സേവനങ്ങളെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു. ചൈനയിൽ നിങ്ങളുടെ ദീർഘകാല പങ്കാളിയാകാൻ ഞങ്ങൾ ആത്മാർത്ഥമായി ആഗ്രഹിക്കുന്നു.
നിങ്ങൾക്ക് എന്തെങ്കിലും അന്വേഷണങ്ങൾ ഉണ്ടെങ്കിൽ അല്ലെങ്കിൽ കൂടുതൽ വിശദാംശങ്ങൾ ആവശ്യമുണ്ടെങ്കിൽ, ദയവായി ഞങ്ങളുമായി ബന്ധപ്പെടാൻ മടിക്കരുത്.
Whatsapp&Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
പോസ്റ്റ് സമയം: ഒക്ടോബർ-18-2024