അർദ്ധചാലക വേഫർ മലിനീകരണത്തിൻ്റെയും വൃത്തിയാക്കലിൻ്റെയും ഉറവിടങ്ങൾ

അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ പങ്കെടുക്കാൻ ചില ജൈവ, അജൈവ പദാർത്ഥങ്ങൾ ആവശ്യമാണ്. കൂടാതെ, പ്രക്രിയ എല്ലായ്പ്പോഴും മനുഷ്യപങ്കാളിത്തമുള്ള ഒരു വൃത്തിയുള്ള മുറിയിൽ നടക്കുന്നതിനാൽ, അർദ്ധചാലകമാണ്വേഫറുകൾവിവിധ മാലിന്യങ്ങളാൽ അനിവാര്യമായും മലിനീകരിക്കപ്പെടുന്നു.

മലിനീകരണത്തിൻ്റെ ഉറവിടവും സ്വഭാവവും അനുസരിച്ച്, അവയെ ഏകദേശം നാല് വിഭാഗങ്ങളായി തിരിക്കാം: കണികകൾ, ജൈവവസ്തുക്കൾ, ലോഹ അയോണുകൾ, ഓക്സൈഡുകൾ.

 

1. കണികകൾ:

കണികകൾ പ്രധാനമായും ചില പോളിമറുകൾ, ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റുകൾ, എച്ചിംഗ് മാലിന്യങ്ങൾ എന്നിവയാണ്.

അത്തരം മലിനീകരണം സാധാരണയായി വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ആഗിരണം ചെയ്യുന്നതിനായി ഇൻ്റർമോളികുലാർ ശക്തികളെ ആശ്രയിക്കുന്നു, ഇത് ജ്യാമിതീയ രൂപങ്ങളുടെയും ഉപകരണ ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയയുടെ വൈദ്യുത പാരാമീറ്ററുകളുടെയും രൂപീകരണത്തെ ബാധിക്കുന്നു.

അത്തരം മലിനീകരണം പ്രധാനമായും നീക്കം ചെയ്യപ്പെടുന്നത് അവയുടെ ഉപരിതലവുമായുള്ള സമ്പർക്ക പ്രദേശം ക്രമേണ കുറച്ചുകൊണ്ടാണ്വേഫർഭൗതിക അല്ലെങ്കിൽ രാസ രീതികളിലൂടെ.

 

2. ജൈവവസ്തുക്കൾ:

മനുഷ്യ ചർമ്മ എണ്ണ, ബാക്ടീരിയ, മെഷീൻ ഓയിൽ, വാക്വം ഗ്രീസ്, ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ്, ക്ലീനിംഗ് ലായകങ്ങൾ മുതലായവ പോലുള്ള ജൈവ മാലിന്യങ്ങളുടെ ഉറവിടങ്ങൾ താരതമ്യേന വിശാലമാണ്.

അത്തരം മാലിന്യങ്ങൾ സാധാരണയായി വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ക്ലീനിംഗ് ലിക്വിഡ് എത്തുന്നത് തടയാൻ വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ഒരു ഓർഗാനിക് ഫിലിം ഉണ്ടാക്കുന്നു, ഇത് വേഫർ ഉപരിതലത്തിൻ്റെ അപൂർണ്ണമായ വൃത്തിയാക്കലിന് കാരണമാകുന്നു.

പ്രധാനമായും സൾഫ്യൂറിക് ആസിഡ്, ഹൈഡ്രജൻ പെറോക്സൈഡ് തുടങ്ങിയ കെമിക്കൽ രീതികൾ ഉപയോഗിച്ചാണ് ശുചീകരണ പ്രക്രിയയുടെ ആദ്യ ഘട്ടത്തിൽ ഇത്തരം മാലിന്യങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നത്.

 

3. ലോഹ അയോണുകൾ:

സാധാരണ ലോഹ മാലിന്യങ്ങളിൽ ഇരുമ്പ്, ചെമ്പ്, അലുമിനിയം, ക്രോമിയം, കാസ്റ്റ് ഇരുമ്പ്, ടൈറ്റാനിയം, സോഡിയം, പൊട്ടാസ്യം, ലിഥിയം മുതലായവ ഉൾപ്പെടുന്നു. പ്രധാന സ്രോതസ്സുകൾ വിവിധ പാത്രങ്ങൾ, പൈപ്പുകൾ, കെമിക്കൽ റിയാഗൻ്റുകൾ, പ്രോസസ്സിംഗ് സമയത്ത് ലോഹ പരസ്പര ബന്ധങ്ങൾ ഉണ്ടാകുമ്പോൾ ഉണ്ടാകുന്ന ലോഹ മലിനീകരണം എന്നിവയാണ്.

ലോഹ അയോൺ കോംപ്ലക്സുകളുടെ രൂപീകരണത്തിലൂടെ രാസ രീതികളാൽ ഇത്തരത്തിലുള്ള അശുദ്ധി പലപ്പോഴും നീക്കം ചെയ്യപ്പെടുന്നു.

 

4. ഓക്സൈഡ്:

അർദ്ധചാലകമാകുമ്പോൾവേഫറുകൾഓക്സിജനും വെള്ളവും അടങ്ങിയ അന്തരീക്ഷത്തിലേക്ക് തുറന്നുകാട്ടപ്പെടുന്നു, ഉപരിതലത്തിൽ ഒരു സ്വാഭാവിക ഓക്സൈഡ് പാളി രൂപം കൊള്ളും. ഈ ഓക്സൈഡ് ഫിലിം അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിലെ പല പ്രക്രിയകളെയും തടസ്സപ്പെടുത്തുകയും ചില ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളുകയും ചെയ്യും. ചില വ്യവസ്ഥകളിൽ, അവ വൈദ്യുത വൈകല്യങ്ങൾ ഉണ്ടാക്കും.

ഈ ഓക്സൈഡ് ഫിലിം നീക്കം ചെയ്യുന്നത് പലപ്പോഴും നേർപ്പിച്ച ഹൈഡ്രോഫ്ലൂറിക് ആസിഡിൽ കുതിർക്കുന്നതിലൂടെയാണ്.

 

പൊതുവായ ശുചീകരണ ക്രമം

അർദ്ധചാലകത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുന്ന മാലിന്യങ്ങൾവേഫറുകൾമൂന്ന് തരങ്ങളായി തിരിക്കാം: തന്മാത്ര, അയോണിക്, ആറ്റോമിക്.

അവയിൽ, തന്മാത്രാ മാലിന്യങ്ങളും വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലവും തമ്മിലുള്ള അഡ്‌സോർപ്ഷൻ ഫോഴ്‌സ് ദുർബലമാണ്, കൂടാതെ ഇത്തരത്തിലുള്ള അശുദ്ധ കണികകൾ നീക്കംചെയ്യുന്നത് താരതമ്യേന എളുപ്പമാണ്. അവ കൂടുതലും ഹൈഡ്രോഫോബിക് സ്വഭാവസവിശേഷതകളുള്ള എണ്ണമയമുള്ള മാലിന്യങ്ങളാണ്, ഇത് അയോണിക്, ആറ്റോമിക് മാലിന്യങ്ങൾ മറയ്ക്കാൻ സഹായിക്കും, ഇത് അർദ്ധചാലക വേഫറുകളുടെ ഉപരിതലത്തെ മലിനമാക്കുന്നു, ഇത് ഈ രണ്ട് തരം മാലിന്യങ്ങൾ നീക്കംചെയ്യുന്നതിന് അനുയോജ്യമല്ല. അതിനാൽ, അർദ്ധചാലക വേഫറുകൾ രാസപരമായി വൃത്തിയാക്കുമ്പോൾ, തന്മാത്രാ മാലിന്യങ്ങൾ ആദ്യം നീക്കം ചെയ്യണം.

അതിനാൽ, അർദ്ധചാലകത്തിൻ്റെ പൊതു നടപടിക്രമംവേഫർവൃത്തിയാക്കൽ പ്രക്രിയ ഇതാണ്:

ഡി-മോളിക്യുലറൈസേഷൻ-ഡീയോണൈസേഷൻ-ഡി-ആറ്റോമൈസേഷൻ-ഡീയോണൈസ്ഡ് വാട്ടർ റിൻസിംഗ്.

കൂടാതെ, വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിലെ സ്വാഭാവിക ഓക്സൈഡ് പാളി നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനായി, നേർപ്പിച്ച അമിനോ ആസിഡ് കുതിർക്കൽ ഘട്ടം ചേർക്കേണ്ടതുണ്ട്. അതിനാൽ, വൃത്തിയാക്കൽ എന്ന ആശയം ആദ്യം ഉപരിതലത്തിൽ ജൈവ മലിനീകരണം നീക്കം ചെയ്യുക എന്നതാണ്; തുടർന്ന് ഓക്സൈഡ് പാളി പിരിച്ചുവിടുക; അവസാനം കണികകളും ലോഹ മലിനീകരണവും നീക്കം ചെയ്യുക, ഒരേ സമയം ഉപരിതലത്തെ നിഷ്ക്രിയമാക്കുക.

 

സാധാരണ ക്ലീനിംഗ് രീതികൾ

അർദ്ധചാലക വേഫറുകൾ വൃത്തിയാക്കാൻ പലപ്പോഴും രാസ രീതികൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗ് എന്നത് വിവിധ കെമിക്കൽ റിയാക്ടറുകളും ഓർഗാനിക് ലായകങ്ങളും ഉപയോഗിച്ച് വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിലെ മാലിന്യങ്ങളും എണ്ണ കറകളും പ്രതികരിക്കുന്നതിനോ അലിയിക്കുന്നതിനോ ഉള്ള പ്രക്രിയയെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു, തുടർന്ന് വലിയ അളവിൽ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ചൂടുള്ളതും തണുത്തതുമായ ഡീയോണൈസ്ഡ് വെള്ളം ഉപയോഗിച്ച് കഴുകുക. ഒരു ശുദ്ധമായ ഉപരിതലം.

കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗിനെ വെറ്റ് കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗ്, ഡ്രൈ കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗ് എന്നിങ്ങനെ വിഭജിക്കാം, അവയിൽ വെറ്റ് കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗ് ഇപ്പോഴും പ്രബലമാണ്.

 

വെറ്റ് കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗ്

 

1. വെറ്റ് കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗ്:

വെറ്റ് കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗിൽ പ്രധാനമായും ലായനി ഇമ്മർഷൻ, മെക്കാനിക്കൽ സ്‌ക്രബ്ബിംഗ്, അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ്, മെഗാസോണിക് ക്ലീനിംഗ്, റോട്ടറി സ്‌പ്രേയിംഗ് മുതലായവ ഉൾപ്പെടുന്നു.

 

2. പരിഹാരം ഇമ്മേഴ്‌ഷൻ:

ഒരു രാസ ലായനിയിൽ വേഫർ മുക്കി ഉപരിതല മലിനീകരണം നീക്കം ചെയ്യുന്ന ഒരു രീതിയാണ് സൊല്യൂഷൻ ഇമ്മർഷൻ. വെറ്റ് കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗിൽ ഏറ്റവും സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന രീതിയാണിത്. വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ വിവിധ തരത്തിലുള്ള മലിനീകരണം നീക്കം ചെയ്യാൻ വ്യത്യസ്ത പരിഹാരങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കാം.

സാധാരണയായി, ഈ രീതിക്ക് വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിലെ മാലിന്യങ്ങൾ പൂർണ്ണമായും നീക്കം ചെയ്യാൻ കഴിയില്ല, അതിനാൽ മുക്കുമ്പോൾ ചൂടാക്കൽ, അൾട്രാസൗണ്ട്, ഇളക്കുക തുടങ്ങിയ ശാരീരിക നടപടികൾ പലപ്പോഴും ഉപയോഗിക്കാറുണ്ട്.

 

3. മെക്കാനിക്കൽ സ്‌ക്രബ്ബിംഗ്:

മെക്കാനിക്കൽ സ്‌ക്രബ്ബിംഗ് പലപ്പോഴും വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിലെ കണികകളോ ജൈവ അവശിഷ്ടങ്ങളോ നീക്കംചെയ്യാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇത് സാധാരണയായി രണ്ട് രീതികളായി തിരിക്കാം:ഒരു വൈപ്പർ ഉപയോഗിച്ച് മാനുവൽ സ്‌ക്രബ്ബിംഗും സ്‌ക്രബ്ബിംഗും.

മാനുവൽ സ്‌ക്രബ്ബിംഗ്ഏറ്റവും ലളിതമായ സ്‌ക്രബ്ബിംഗ് രീതിയാണ്. അൺഹൈഡ്രസ് എത്തനോൾ അല്ലെങ്കിൽ മറ്റ് ഓർഗാനിക് ലായകങ്ങളിൽ മുക്കിയ ഒരു പന്ത് പിടിക്കാൻ ഒരു സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബ്രഷ് ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ മെഴുക് ഫിലിം, പൊടി, അവശേഷിക്കുന്ന പശ അല്ലെങ്കിൽ മറ്റ് ഖരകണങ്ങൾ എന്നിവ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനായി വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലം അതേ ദിശയിൽ പതുക്കെ തടവുക. ഈ രീതി പോറലുകൾക്കും ഗുരുതരമായ മലിനീകരണത്തിനും കാരണമാകുന്നത് എളുപ്പമാണ്.

മൃദുവായ കമ്പിളി ബ്രഷ് അല്ലെങ്കിൽ മിക്സഡ് ബ്രഷ് ഉപയോഗിച്ച് വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലം തടവാൻ വൈപ്പർ മെക്കാനിക്കൽ റൊട്ടേഷൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഈ രീതി വേഫറിലെ പോറലുകൾ വളരെയധികം കുറയ്ക്കുന്നു. ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിലുള്ള വൈപ്പർ മെക്കാനിക്കൽ ഘർഷണത്തിൻ്റെ അഭാവം മൂലം വേഫറിൽ മാന്തികുഴിയുണ്ടാക്കില്ല, മാത്രമല്ല ഗ്രോവിലെ മലിനീകരണം നീക്കം ചെയ്യാനും കഴിയും.

 

4. അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ്:

അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു ക്ലീനിംഗ് രീതിയാണ് അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ്. നല്ല ക്ലീനിംഗ് ഇഫക്റ്റ്, ലളിതമായ പ്രവർത്തനം, കൂടാതെ സങ്കീർണ്ണമായ ഉപകരണങ്ങളും പാത്രങ്ങളും വൃത്തിയാക്കാനും കഴിയും.

ഈ ക്ലീനിംഗ് രീതി ശക്തമായ അൾട്രാസോണിക് തരംഗങ്ങളുടെ പ്രവർത്തനത്തിന് കീഴിലാണ് (സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന അൾട്രാസോണിക് ആവൃത്തി 20s40kHz ആണ്), കൂടാതെ ദ്രാവക മാധ്യമത്തിനുള്ളിൽ വിരളവും ഇടതൂർന്നതുമായ ഭാഗങ്ങൾ സൃഷ്ടിക്കപ്പെടും. വിരളമായ ഭാഗം ഏതാണ്ട് വാക്വം കാവിറ്റി ബബിൾ ഉണ്ടാക്കും. കാവിറ്റി ബബിൾ അപ്രത്യക്ഷമാകുമ്പോൾ, അതിനടുത്തായി ശക്തമായ ഒരു പ്രാദേശിക മർദ്ദം സൃഷ്ടിക്കപ്പെടും, തന്മാത്രകളിലെ രാസബന്ധനങ്ങളെ തകർത്ത് വേഫർ ഉപരിതലത്തിലെ മാലിന്യങ്ങൾ അലിയിക്കും. ലയിക്കാത്തതോ ലയിക്കാത്തതോ ആയ ഫ്ലക്സ് അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യാൻ അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ് ഏറ്റവും ഫലപ്രദമാണ്.

 

5. മെഗാസോണിക് ക്ലീനിംഗ്:

മെഗാസോണിക് ക്ലീനിംഗ് അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗിൻ്റെ ഗുണങ്ങൾ മാത്രമല്ല, അതിൻ്റെ പോരായ്മകളെ മറികടക്കുന്നു.

ഉയർന്ന ഊർജ്ജ (850kHz) ഫ്രീക്വൻസി വൈബ്രേഷൻ ഇഫക്റ്റും കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗ് ഏജൻ്റുമാരുടെ രാസപ്രവർത്തനവും സംയോജിപ്പിച്ച് വേഫറുകൾ വൃത്തിയാക്കുന്ന ഒരു രീതിയാണ് മെഗാസോണിക് ക്ലീനിംഗ്. ക്ലീനിംഗ് സമയത്ത്, ലായനി തന്മാത്രകൾ മെഗാസോണിക് തരംഗത്താൽ ത്വരിതപ്പെടുത്തുന്നു (പരമാവധി തൽക്ഷണ വേഗത 30cmVs വരെ എത്താം), കൂടാതെ അതിവേഗ ദ്രാവക തരംഗം തുടർച്ചയായി വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തെ ബാധിക്കുന്നു, അങ്ങനെ മലിനീകരണവും സൂക്ഷ്മകണങ്ങളും ഉപരിതലത്തിൽ ഘടിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു. വേഫർ നിർബന്ധിതമായി നീക്കം ചെയ്യുകയും ക്ലീനിംഗ് ലായനിയിൽ പ്രവേശിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ക്ലീനിംഗ് ലായനിയിൽ അസിഡിക് സർഫക്റ്റൻ്റുകൾ ചേർക്കുന്നത്, ഒരു വശത്ത്, സർഫക്റ്റൻ്റുകളുടെ അഡോർപ്ഷൻ വഴി പോളിഷിംഗ് ഉപരിതലത്തിൽ കണികകളും ജൈവവസ്തുക്കളും നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ലക്ഷ്യം കൈവരിക്കാൻ കഴിയും; മറുവശത്ത്, സർഫക്റ്റൻ്റുകളുടെയും അസിഡിറ്റി പരിതസ്ഥിതിയുടെയും സംയോജനത്തിലൂടെ, പോളിഷിംഗ് ഷീറ്റിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ലോഹ മലിനീകരണം നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ലക്ഷ്യം കൈവരിക്കാൻ കഴിയും. ഈ രീതിക്ക് ഒരേസമയം മെക്കാനിക്കൽ വൈപ്പിംഗ്, കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗ് എന്നിവയുടെ പങ്ക് വഹിക്കാൻ കഴിയും.

നിലവിൽ, മെഗാസോണിക് ക്ലീനിംഗ് രീതി പോളിഷിംഗ് ഷീറ്റുകൾ വൃത്തിയാക്കുന്നതിനുള്ള ഫലപ്രദമായ മാർഗ്ഗമായി മാറിയിരിക്കുന്നു.

 

6. റോട്ടറി സ്പ്രേ രീതി:

റോട്ടറി സ്പ്രേ രീതി എന്നത് മെക്കാനിക്കൽ രീതികൾ ഉപയോഗിച്ച് വേഫറിനെ ഉയർന്ന വേഗതയിൽ തിരിക്കുന്നതിനും ഭ്രമണ പ്രക്രിയയിൽ വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ തുടർച്ചയായി ദ്രാവകം (ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഡീയോണൈസ്ഡ് വെള്ളം അല്ലെങ്കിൽ മറ്റ് ക്ലീനിംഗ് ലിക്വിഡ്) സ്പ്രേ ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു. വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലം.

ഈ രീതി സ്‌പ്രേ ചെയ്ത ദ്രാവകത്തിൽ ലയിക്കുന്നതിന് വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിലെ മലിനീകരണം ഉപയോഗിക്കുന്നു (അല്ലെങ്കിൽ പിരിച്ചുവിടാൻ രാസപരമായി പ്രതികരിക്കുന്നു), കൂടാതെ മാലിന്യങ്ങൾ അടങ്ങിയ ദ്രാവകത്തെ വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് വേർപെടുത്താൻ ഹൈ-സ്പീഡ് റൊട്ടേഷൻ്റെ അപകേന്ദ്ര പ്രഭാവം ഉപയോഗിക്കുന്നു. സമയത്ത്.

റോട്ടറി സ്പ്രേ രീതിക്ക് കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗ്, ഫ്ലൂയിഡ് മെക്കാനിക്സ് ക്ലീനിംഗ്, ഉയർന്ന മർദ്ദം സ്‌ക്രബ്ബിംഗ് എന്നിവയുടെ ഗുണങ്ങളുണ്ട്. അതേ സമയം, ഈ രീതിയും ഉണക്കൽ പ്രക്രിയയുമായി സംയോജിപ്പിക്കാം. ഡീയോണൈസ്ഡ് വാട്ടർ സ്പ്രേ ക്ലീനിംഗ് ഒരു കാലയളവിൽ ശേഷം, വെള്ളം സ്പ്രേ നിർത്തി ഒരു സ്പ്രേ ഗ്യാസ് ഉപയോഗിക്കുന്നു. അതേ സമയം, വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലം വേഗത്തിൽ നിർജ്ജലീകരണം ചെയ്യുന്നതിനായി അപകേന്ദ്രബലം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് ഭ്രമണ വേഗത വർദ്ധിപ്പിക്കാൻ കഴിയും.

 

7.ഡ്രൈ കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗ്

ഡ്രൈ ക്ലീനിംഗ് എന്നത് പരിഹാരങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കാത്ത ക്ലീനിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു.

നിലവിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഡ്രൈ ക്ലീനിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകളിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു: പ്ലാസ്മ ക്ലീനിംഗ് ടെക്നോളജി, ഗ്യാസ് ഫേസ് ക്ലീനിംഗ് ടെക്നോളജി, ബീം ക്ലീനിംഗ് ടെക്നോളജി മുതലായവ.

ഡ്രൈ ക്ലീനിംഗിൻ്റെ ഗുണങ്ങൾ ലളിതമായ പ്രക്രിയയാണ്, പരിസ്ഥിതി മലിനീകരണം ഇല്ല, പക്ഷേ ചെലവ് കൂടുതലാണ്, ഉപയോഗത്തിൻ്റെ വ്യാപ്തി തൽക്കാലം വലുതല്ല.

 

1. പ്ലാസ്മ ക്ലീനിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ:

ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് നീക്കം ചെയ്യൽ പ്രക്രിയയിൽ പ്ലാസ്മ ക്ലീനിംഗ് പലപ്പോഴും ഉപയോഗിക്കുന്നു. പ്ലാസ്മ പ്രതികരണ സംവിധാനത്തിലേക്ക് ചെറിയ അളവിൽ ഓക്സിജൻ അവതരിപ്പിക്കുന്നു. ശക്തമായ ഒരു വൈദ്യുത മണ്ഡലത്തിൻ്റെ പ്രവർത്തനത്തിൽ, ഓക്സിജൻ പ്ലാസ്മ സൃഷ്ടിക്കുന്നു, ഇത് ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റിനെ പെട്ടെന്ന് ഓക്സിഡൈസ് ചെയ്ത് അസ്ഥിരമായ വാതകാവസ്ഥയിലേക്ക് മാറ്റുകയും വേർതിരിച്ചെടുക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

ഈ ക്ലീനിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയ്ക്ക് എളുപ്പത്തിലുള്ള പ്രവർത്തനം, ഉയർന്ന കാര്യക്ഷമത, വൃത്തിയുള്ള ഉപരിതലം, പോറലുകളില്ല, കൂടാതെ ഡീഗമ്മിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പാക്കുന്നതിന് സഹായകമാണ്. മാത്രമല്ല, ഇത് ആസിഡുകൾ, ക്ഷാരങ്ങൾ, ജൈവ ലായകങ്ങൾ എന്നിവ ഉപയോഗിക്കുന്നില്ല, മാലിന്യ നിർമാർജനം, പരിസ്ഥിതി മലിനീകരണം തുടങ്ങിയ പ്രശ്നങ്ങളൊന്നുമില്ല. അതിനാൽ, ആളുകൾ ഇത് കൂടുതൽ വിലമതിക്കുന്നു. എന്നിരുന്നാലും, ഇതിന് കാർബണും മറ്റ് അസ്ഥിരമല്ലാത്ത ലോഹമോ ലോഹ ഓക്സൈഡിൻ്റെയോ മാലിന്യങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യാൻ കഴിയില്ല.

 

2. ഗ്യാസ് ഫേസ് ക്ലീനിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ:

മാലിന്യങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഉദ്ദേശ്യം കൈവരിക്കുന്നതിന് വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിലെ മലിനമായ പദാർത്ഥവുമായി ഇടപഴകുന്നതിന് ദ്രാവക പ്രക്രിയയിലെ അനുബന്ധ പദാർത്ഥത്തിന് തുല്യമായ വാതക ഘട്ടം ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു ക്ലീനിംഗ് രീതിയാണ് ഗ്യാസ് ഫേസ് ക്ലീനിംഗ്.

ഉദാഹരണത്തിന്, CMOS പ്രക്രിയയിൽ, വേഫർ ക്ലീനിംഗ് ഓക്സൈഡുകൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനായി ഗ്യാസ് ഘട്ടം HF ഉം ജല നീരാവിയും തമ്മിലുള്ള പ്രതിപ്രവർത്തനം ഉപയോഗിക്കുന്നു. സാധാരണയായി, വെള്ളം അടങ്ങിയ HF പ്രക്രിയ ഒരു കണിക നീക്കം ചെയ്യൽ പ്രക്രിയയ്‌ക്കൊപ്പം ഉണ്ടായിരിക്കണം, അതേസമയം ഗ്യാസ് ഘട്ടം HF ക്ലീനിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ ഉപയോഗത്തിന് തുടർന്നുള്ള കണിക നീക്കം ചെയ്യൽ പ്രക്രിയ ആവശ്യമില്ല.

ജലീയ എച്ച്എഫ് പ്രക്രിയയുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട ഗുണങ്ങൾ വളരെ ചെറിയ എച്ച്എഫ് രാസ ഉപഭോഗവും ഉയർന്ന ക്ലീനിംഗ് കാര്യക്ഷമതയുമാണ്.

 

കൂടുതൽ ചർച്ചകൾക്കായി ഞങ്ങളെ സന്ദർശിക്കാൻ ലോകമെമ്പാടുമുള്ള ഏതൊരു ഉപഭോക്താക്കളെയും സ്വാഗതം ചെയ്യുക!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j