ബ്രേക്ക്‌ത്രൂ സിക് ഗ്രോത്ത് കീ കോർ മെറ്റീരിയൽ

സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ക്രിസ്റ്റൽ വളരുമ്പോൾ, ക്രിസ്റ്റലിൻ്റെ അച്ചുതണ്ടിൻ്റെ കേന്ദ്രവും അരികും തമ്മിലുള്ള വളർച്ചാ ഇൻ്റർഫേസിൻ്റെ “പരിസ്ഥിതി” വ്യത്യസ്തമാണ്, അതിനാൽ അരികിലെ ക്രിസ്റ്റൽ സമ്മർദ്ദം വർദ്ധിക്കുകയും ക്രിസ്റ്റൽ എഡ്ജ് കാരണം “സമഗ്രമായ വൈകല്യങ്ങൾ” സൃഷ്ടിക്കാൻ എളുപ്പമാണ്. ഗ്രാഫൈറ്റ് സ്റ്റോപ്പ് റിംഗ് "കാർബൺ" ൻ്റെ സ്വാധീനത്തിൽ, എഡ്ജ് പ്രശ്നം എങ്ങനെ പരിഹരിക്കാം അല്ലെങ്കിൽ കേന്ദ്രത്തിൻ്റെ ഫലപ്രദമായ വിസ്തീർണ്ണം വർദ്ധിപ്പിക്കുക (95% ൽ കൂടുതൽ) ഒരു പ്രധാന സാങ്കേതിക വിഷയം.

"മൈക്രോട്യൂബ്യൂളുകൾ", "ഇൻക്ലൂഷൻസ്" തുടങ്ങിയ മാക്രോ വൈകല്യങ്ങൾ ക്രമേണ വ്യവസായത്താൽ നിയന്ത്രിക്കപ്പെടുന്നു, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പരലുകൾ "വേഗത്തിലും നീളത്തിലും കട്ടിയുള്ളതിലും വളരുന്നതിനും" വെല്ലുവിളിക്കുന്നു, "സമഗ്രമായ വൈകല്യങ്ങൾ" അസാധാരണമായി പ്രാധാന്യമർഹിക്കുന്നു. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പരലുകളുടെ വ്യാസവും കനവും വർദ്ധിക്കുന്നത്, "സമഗ്രമായ വൈകല്യങ്ങൾ" ആയിരിക്കും വ്യാസം ചതുരവും കനവും കൊണ്ട് ഗുണിച്ചു.

ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് ടാസി കോട്ടിംഗിൻ്റെ ഉപയോഗം എഡ്ജ് പ്രശ്നം പരിഹരിക്കുന്നതിനും ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയുടെ ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനുമാണ്, ഇത് "വേഗതയിൽ വളരുന്നതും കട്ടിയുള്ളതും വളരുന്നതും വളരുന്നതും" എന്നതിൻ്റെ പ്രധാന സാങ്കേതിക ദിശകളിൽ ഒന്നാണ്. വ്യാവസായിക സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വികസനം പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുന്നതിനും പ്രധാന വസ്തുക്കളുടെ "ഇറക്കുമതി" ആശ്രിതത്വം പരിഹരിക്കുന്നതിനുമായി, ഹെങ്‌പു, ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ (സിവിഡി) പരിഹരിച്ച് അന്താരാഷ്ട്ര നൂതന തലത്തിലെത്തി.

ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് ടാസി കോട്ടിംഗ്, യാഥാർത്ഥ്യത്തിൻ്റെ വീക്ഷണകോണിൽ നിന്ന് ബുദ്ധിമുട്ടുള്ള കാര്യമല്ല, സിൻ്ററിംഗ്, സിവിഡി, മറ്റ് രീതികൾ എന്നിവ നേടുന്നത് എളുപ്പമാണ്. സിൻ്ററിംഗ് രീതി, ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിൽ സിൻ്റർ ചെയ്ത ഗ്രാഫൈറ്റ് അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ പൊതിഞ്ഞ, സജീവ ചേരുവകളും (പൊതുവെ ലോഹം) ബോണ്ടിംഗ് ഏജൻ്റും (സാധാരണയായി നീളമുള്ള ചെയിൻ പോളിമർ) ചേർത്ത് ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് പൊടി അല്ലെങ്കിൽ മുൻഗാമിയുടെ ഉപയോഗം. CVD രീതി ഉപയോഗിച്ച്, TaCl5+H2+CH4 ഗ്രാഫൈറ്റ് മാട്രിക്സിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ 900-1500℃-ൽ നിക്ഷേപിച്ചു.

എന്നിരുന്നാലും, ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ്റെ ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയൻ്റേഷൻ, യൂണിഫോം ഫിലിം കനം, കോട്ടിംഗും ഗ്രാഫൈറ്റ് മാട്രിക്സും തമ്മിലുള്ള സ്ട്രെസ് റിലീസ്, ഉപരിതല വിള്ളലുകൾ മുതലായവ പോലുള്ള അടിസ്ഥാന പാരാമീറ്ററുകൾ വളരെ വെല്ലുവിളി നിറഞ്ഞതാണ്. പ്രത്യേകിച്ച് സിക് ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചാ പരിതസ്ഥിതിയിൽ, സുസ്ഥിരമായ സേവന ജീവിതമാണ് പ്രധാന പാരാമീറ്റർ, ഏറ്റവും ബുദ്ധിമുട്ടാണ്.