VET ഊർജ്ജംPECVD പ്രോസസ് ഗ്രാഫൈറ്റ് കാരിയർ PECVD (പ്ലാസ്മ മെച്ചപ്പെടുത്തിയ രാസ നീരാവി നിക്ഷേപം) പ്രക്രിയയ്ക്ക് അനുയോജ്യമായ ഒരു ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഉപഭോഗവസ്തുവാണ്. ഈ ഗ്രാഫൈറ്റ് കാരിയർ ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം, നാശ പ്രതിരോധം, ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത, മറ്റ് സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ എന്നിവയുള്ള ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള, ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് മെറ്റീരിയലാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, നേർത്ത ഫിലിമിൻ്റെ ഏകീകൃതതയും പരന്നതയും ഉറപ്പാക്കാൻ PECVD പ്രക്രിയയ്ക്ക് സ്ഥിരതയുള്ള ഒരു കാരിയർ പ്ലാറ്റ്ഫോം നൽകാൻ കഴിയും. നിക്ഷേപം.
PECVD പ്രക്രിയയ്ക്കുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് കാരിയറുകൾക്ക് ഇനിപ്പറയുന്ന സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ ഉണ്ട്:
▪ ഉയർന്ന ശുദ്ധത: വളരെ കുറഞ്ഞ അശുദ്ധി ഉള്ളടക്കം, ഫിലിം മലിനീകരണം ഒഴിവാക്കുകയും ഫിലിം ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
▪ ഉയർന്ന സാന്ദ്രത: ഉയർന്ന സാന്ദ്രത, ഉയർന്ന മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി, ഉയർന്ന താപനിലയും ഉയർന്ന മർദ്ദവും PECVD പരിസ്ഥിതിയെ നേരിടാൻ കഴിയും.
▪ നല്ല ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത: ഉയർന്ന താപനിലയിൽ ചെറിയ അളവിലുള്ള മാറ്റം, പ്രക്രിയ സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കുന്നു.
▪ മികച്ച താപ ചാലകത: വേഫർ അമിതമായി ചൂടാക്കുന്നത് തടയാൻ ചൂട് ഫലപ്രദമായി കൈമാറുക.
▪ ശക്തമായ നാശന പ്രതിരോധം: വിവിധ നശീകരണ വാതകങ്ങളും പ്ലാസ്മയും മൂലമുള്ള മണ്ണൊലിപ്പിനെ പ്രതിരോധിക്കാൻ കഴിയും.
▪ ഇഷ്ടാനുസൃത സേവനം: ഉപഭോക്തൃ ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച് വ്യത്യസ്ത വലുപ്പത്തിലും ആകൃതിയിലും ഉള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് കാരിയറുകൾ ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാവുന്നതാണ്.
SGL-ൽ നിന്നുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് മെറ്റീരിയൽ:
സാധാരണ പരാമീറ്റർ: R6510 | |||
സൂചിക | ടെസ്റ്റ് സ്റ്റാൻഡേർഡ് | മൂല്യം | യൂണിറ്റ് |
ധാന്യത്തിൻ്റെ ശരാശരി വലിപ്പം | ISO 13320 | 10 | μm |
ബൾക്ക് സാന്ദ്രത | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
തുറന്ന പൊറോസിറ്റി | DIN66133 | 10 | % |
ഇടത്തരം സുഷിര വലുപ്പം | DIN66133 | 1.8 | μm |
പ്രവേശനക്ഷമത | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
റോക്ക്വെൽ കാഠിന്യം HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
പ്രത്യേക വൈദ്യുത പ്രതിരോധം | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
ഫ്ലെക്സറൽ ശക്തി | DIN IEC 60413/501 | 60 | എംപിഎ |
കംപ്രസ്സീവ് ശക്തി | DIN 51910 | 130 | എംപിഎ |
യംഗ് മോഡുലസ് | DIN 51915 | 11.5×10³ | എംപിഎ |
താപ വികാസം (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
താപ ചാലകത (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ഉയർന്ന ദക്ഷതയുള്ള സോളാർ സെൽ നിർമ്മാണത്തിനായി ഇത് പ്രത്യേകം രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിട്ടുള്ളതാണ്, G12 വലിയ വലിപ്പത്തിലുള്ള വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിനെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു. ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത കാരിയർ ഡിസൈൻ ത്രൂപുട്ട് ഗണ്യമായി വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു, ഉയർന്ന വിളവ് നിരക്കും കുറഞ്ഞ ഉൽപാദനച്ചെലവും സാധ്യമാക്കുന്നു.
ഇനം | ടൈപ്പ് ചെയ്യുക | നമ്പർ വേഫർ കാരിയർ |
PEVCD ഗ്രെഫൈറ്റ് ബോട്ട് - 156 സീരീസ് | 156-13 ഗ്രെഫൈറ്റ് ബോട്ട് | 144 |
156-19 ഗ്രെഫൈറ്റ് ബോട്ട് | 216 | |
156-21 ഗ്രെഫൈറ്റ് ബോട്ട് | 240 | |
156-23 ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് | 308 | |
PEVCD ഗ്രെഫൈറ്റ് ബോട്ട് - 125 സീരീസ് | 125-15 ഗ്രെഫൈറ്റ് ബോട്ട് | 196 |
125-19 ഗ്രെഫൈറ്റ് ബോട്ട് | 252 | |
125-21 ഗ്രഫൈറ്റ് ബോട്ട് | 280 |