ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കിയത്അർദ്ധചാലക സിലിക്കൺ വേഫറിനുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ഹീറ്റർ
സാങ്കേതിക സ്പെസിഫിക്കേഷൻ | VET-M3 |
ബൾക്ക് ഡെൻസിറ്റി (g/cm3) | ≥1.85 |
ആഷ് ഉള്ളടക്കം (PPM) | ≤500 |
തീര കാഠിന്യം | ≥45 |
പ്രത്യേക പ്രതിരോധം (μ.Ω.m) | ≤12 |
വഴക്കമുള്ള ശക്തി (എംപിഎ) | ≥40 |
കംപ്രസ്സീവ് സ്ട്രെങ്ത് (എംപിഎ) | ≥70 |
പരമാവധി. ധാന്യത്തിൻ്റെ വലിപ്പം (μm) | ≤43 |
താപ വികാസത്തിൻ്റെ ഗുണകം Mm/°C | ≤4.4*10-6
|