Кој е механизмот на планаризација на CMP?

Dual-Damascene е процесна технологија што се користи за производство на метални меѓусебни врски во интегрираните кола. Тоа е натамошен развој на процесот во Дамаск. Со истовремено формирање низ дупки и жлебови во истиот процесен чекор и нивно полнење со метал, се реализира интегрирано производство на метални меѓусебни врски.

Зошто се вика Дамаск?

Градот Дамаск е главен град на Сирија, а мечевите од Дамаск се познати по нивната острина и извонредна текстура. Потребен е еден вид процес на вградување: прво, потребната шема е врежана на површината на челикот Дамаск, а претходно подготвените материјали се цврсто вметнати во врежаните жлебови. По завршувањето на вградувањето, површината може да биде малку нерамна. Занаетчиот внимателно ќе го полира за да обезбеди севкупна мазност. И овој процес е прототип на двојниот процес на чипот во Дамаск. Прво, жлебовите или дупките се врежани во диелектричниот слој, а потоа во нив се полни метал. По полнењето, вишокот метал ќе се отстрани за cmp.

Главните чекори на двојниот дамаскин процес вклучуваат:

▪ Таложење на диелектричен слој:

Депонирајте слој од диелектричен материјал, како што е силициум диоксид (SiO2), на полупроводникотнафора.

▪ Фотолитографија за дефинирање на шаблонот:

Користете фотолитографија за да ја дефинирате шемата на виси и ровови на диелектричниот слој.

▪Офорт:

Пренесете ја шемата на виси и ровови на диелектричниот слој преку сув или влажен процес на офорт.

▪ Таложење на метал:

Депонирајте метал, како што е бакар (Cu) или алуминиум (Al), во виси и ровови за да формирате метални меѓусебни врски.

▪ Хемиско механичко полирање:

Хемиско механичко полирање на металната површина за отстранување на вишокот метал и израмнување на површината.

Во споредба со традиционалниот процес на производство на метални интерконекции, процесот на двојна дамаскина ги има следните предности:

▪Поедноставени чекори на процесот:со истовремено формирање на виси и ровови во истиот процес на чекор, чекорите на процесот и времето на производство се намалуваат.

▪Подобрена производна ефикасност:поради намалувањето на чекорите на процесот, двојниот дамаскински процес може да ја подобри ефикасноста на производството и да ги намали трошоците за производство.

▪Подобрување на перформансите на металните меѓусебни врски:двојниот дамаскин процес може да постигне потесни метални меѓусебни врски, а со тоа да ја подобри интеграцијата и перформансите на кола.

▪Намалете ја паразитската капацитивност и отпорност:со користење на диелектрични материјали со низок k и оптимизирање на структурата на металните меѓусебни врски, паразитската капацитивност и отпор може да се намалат, подобрувајќи ја брзината и перформансите на потрошувачката на енергија на кола.