Силикон карбид слој,попозната како облога SiC, се однесува на процесот на нанесување слој од силициум карбид на површини преку методи како што се хемиско таложење на пареа (CVD), физичко таложење на пареа (PVD) или термичко прскање. Оваа керамичка облога од силициум карбид ги подобрува површинските својства на различните подлоги со тоа што дава исклучителна отпорност на абење, термичка стабилност и заштита од корозија. SiC е познат по своите извонредни физички и хемиски својства, вклучувајќи висока точка на топење (приближно 2700℃), екстремна цврстина (Mohs скала 9), одлична отпорност на корозија и оксидација и исклучителни перформанси на аблација.
Главните предности на облогата со силициум карбид во индустриски апликации
Поради овие карактеристики, облогата со силициум карбид е широко користена во области како што се воздушната, опремата за оружје и полупроводничката обработка. Во екстремни средини, особено во опсег од 1800-2000℃, облогата SiC покажува извонредна термичка стабилност и аблативна отпорност, што го прави идеален за апликации на високи температури. Сепак, силициум карбид сам го нема структурниот интегритет потребен за многу апликации, така што методите на обложување се користат за да се искористат неговите уникатни својства без да се загрози јачината на компонентата. Во производството на полупроводници, елементите обложени со силициум карбид обезбедуваат сигурна заштита и стабилност на перформансите во опремата што се користи во процесите на MOCVD.
Вообичаени методи за подготовка на облога со силициум карбид
Ⅰ● Слој со силикон карбид со хемиско таложење на пареа (CVD).
Во овој метод, SiC облогите се формираат со поставување на подлоги во комора за реакција, каде што метилтрихлоросиланот (MTS) делува како претходник. Под контролирани услови - обично 950-1300 ° C и негативен притисок - MTS се подложува на распаѓање, а силициум карбид се депонира на површината. Овој процес на CVD SiC обложување обезбедува густа, униформа облога со одлично прилепување, идеална за примена со висока прецизност во полупроводничките и воздушните сектори.
Ⅱ● Метод на конверзија на прекурсори (импрегнација и пиролиза на полимер – PIP)
Друг ефикасен пристап за премачкување со силициум карбид со прскање е методот на конверзија на прекурсори, кој вклучува потопување на претходно обработениот примерок во раствор од керамички претходник. По вакуумирање на резервоарот за импрегнација и притискање на облогата, примерокот се загрева, што доведува до формирање на облога од силициум карбид при ладењето. Овој метод е фаворизиран за компоненти кои бараат униформа дебелина на облогата и зголемена отпорност на абење.
Физички својства на облогата со силициум карбид
Премазите од силициум карбид покажуваат својства што ги прават идеални за тешки индустриски апликации. Овие својства вклучуваат:
Топлинска спроводливост: 120-270 W/m·K
Коефициент на термичка експанзија: 4,3 × 10^(-6)/K (на 20~800℃)
Електрична отпорност: 10^5– 10^6Ω·cm
Цврстина: Мохсова скала 9
Примени на облога со силициум карбид
Во производството на полупроводници, облогата со силициум карбид за MOCVD и други процеси на висока температура ја заштитува критичната опрема, како што се реакторите и сензорите, нудејќи и отпорност на висока температура и стабилност. Во воздушната и одбраната, силициум карбид-керамичките премази се нанесуваат на компоненти кои мора да издржат удари со голема брзина и корозивни средини. Понатаму, бојата или облогите од силициум карбид може да се користат и на медицински помагала за кои е потребна издржливост при процедурите за стерилизација.
Зошто да изберете облога од силициум карбид?
Со докажан рекорд во продолжување на животниот век на компонентите, облогите од силициум карбид обезбедуваат неспоредлива издржливост и температурна стабилност, што ги прави исплатливи за долготрајна употреба. Со избирање на површина обложена со силициум карбид, индустриите имаат корист од намалените трошоци за одржување, зголемената доверливост на опремата и подобрената оперативна ефикасност.
Зошто да изберете VET ENERGY?
VET ENERGY е професионален производител и фабрика на производи за обложување силициум карбид во Кина. Главните производи за обложување на SiC вклучуваат грејач со керамички облоги со силициум карбид,CVD силиконски карбид облога MOCVD сусцептор, MOCVD графитен носач со CVD SiC облога, SiC обложени графитни базни носачи, Графитна подлога обложена со силициум карбид за полупроводници,SiC облога/обложена графитна подлога/послужавник за полупроводници, CVD SiC обложена јаглерод-јаглерод Композитен CFC калап за чамци. VET ENERGY е посветена на обезбедување напредна технологија и решенија за производи за индустријата за полупроводници. Искрено се надеваме дека ќе станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Време на објавување: Сеп-02-2023 година