Што е sic облога?

Силициум карбиде тврдо соединение кое содржи силициум и јаглерод, а во природата се наоѓа како исклучително редок минерал моисанит. Честичките од силициум карбид може да се поврзат заедно со синтерување за да формираат многу тврда керамика, која е широко користена во апликации кои бараат висока издржливост, особено во полупроводничка процесија.

Физичка структура на SiC

SiC облогата е густа, отпорна на абење слој од силициум карбид со висока отпорност на корозија и топлина и одлична топлинска спроводливост. Овој слој на SiC со висока чистота првенствено се користи во индустријата за полупроводници и електроника за заштита на носачите на обланди, базите и грејните елементи од корозивни и реактивни средини. SiC облогата е исто така погодна за вакуумски печки и за загревање на примероците во средини со висок вакуум, реактивна и кислородна средина.

Површина за обложување на SiC со висока чистота

Кој е процесот на обложување на SiC?

Тенок слој силициум карбид се депонира на површината на подлогата користејќиCVD (хемиско таложење на пареа). Таложењето обично се врши на температури од 1200-1300°C и однесувањето на термичко проширување на материјалот на подлогата треба да биде компатибилно со SiC облогата за да се минимизира термичкиот стрес.

CVD SIC ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

CVD SIC Облога ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

Физичките својства на облогата SiC главно се рефлектираат во неговата отпорност на висока температура, цврстина, отпорност на корозија и топлинска спроводливост.

Типичните физички параметри обично се како што следува:

Цврстина: SiC облогите обично имаат Vickers цврстина во опсег од 2000-2500 HV, што им дава исклучително висока отпорност на абење и удар во индустриски апликации.

Густина: SiC облогите обично имаат густина од 3,1-3,2 g/cm³. Високата густина придонесува за механичка сила и издржливост на облогата.

Топлинска спроводливост: SiC облогите имаат висока топлинска спроводливост, обично во опсег од 120-200 W/mK (на 20°C). Ова му дава добра топлинска спроводливост во средини со висока температура и го прави особено погоден за опрема за термичка обработка во индустријата за полупроводници.

Точка на топење: силициум карбид има точка на топење од приближно 2730°C и има одлична термичка стабилност при екстремни температури.

Коефициент на термичка експанзија: SiC облогите имаат низок линеарен коефициент на термичка експанзија (CTE), обично во опсег од 4,0-4,5 µm/mK (во 25-1000℃). Ова значи дека неговата димензионална стабилност е одлична при големи температурни разлики.

Отпорност на корозија: SiC облогите се исклучително отпорни на корозија во средини со силна киселина, алкали и оксидација, особено кога се користат силни киселини (како HF или HCl), нивната отпорност на корозија далеку ја надминува онаа на конвенционалните метални материјали.

SiC облогите може да се нанесат на следниве материјали:

Изостатски графит со висока чистота (низок CTE)
Волфрам
Молибден
Силициум карбид
Силициум нитрид
Јаглерод-јаглеродни композити (CFC)

Производите обложени со SiC најчесто се користат во следниве области:

Производство на LED чипови
Производство на полисилициум
Полупроводникраст на кристали
Силикон иSiC епитаксија
Термичка обработка и офорт на нафора

Зошто да изберете VET Energy?

VET Energy е водечки производител, иноватор и лидер на производи за обложување на SiC во Кина, а главните производи за обложување на SiC вклучуваатносач на обланди со облога од SiC, обложена со SiCепитаксијален суцептор, Графитен прстен обложен со SiC, Делови за полумесечина со слој SiC, Композит од јаглерод-јаглерод обложен со SiC, Брод со нафора обложен со SiC, Грејач обложен со SiC, итн. VET Energy е посветена на обезбедување на полупроводничката индустрија со врвни решенија за технологија и производи и поддржува услуги за прилагодување. Искрено со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.