SiC еднокристалот е полупроводнички материјал од групата IV-IV составен од два елементи, Si и C, во стехиометриски сооднос 1:1. Неговата цврстина е само втора по дијамантот.
Методот за намалување на јаглеродот на силициум оксид за да се подготви SiC главно се заснова на следната формула за хемиска реакција:
Процесот на реакција на јаглерод редукција на силициум оксид е релативно сложен, при што температурата на реакцијата директно влијае на финалниот производ.
Во процесот на подготовка на силициум карбид, суровините прво се ставаат во отпорна печка. Отпорната печка се состои од крајни ѕидови на двата краја, со графитна електрода во центарот, а јадрото на печката ги поврзува двете електроди. На периферијата на јадрото на печката прво се поставуваат суровините кои учествуваат во реакцијата, а потоа на периферијата се поставуваат материјалите што се користат за зачувување на топлината. Кога почнува топењето, отпорната печка се напојува и температурата се зголемува на 2.600 до 2.700 Целзиусови степени. Електричната топлинска енергија се пренесува на полнењето преку површината на јадрото на печката, предизвикувајќи таа постепено да се загрева. Кога температурата на полнењето надминува 1450 степени Целзиусови, се јавува хемиска реакција за генерирање на силициум карбид и гас на јаглерод моноксид. Како што продолжува процесот на топење, полето со висока температура во полнењето постепено ќе се шири, а количината на генериран силициум карбид исто така ќе се зголеми. Силициум карбид континуирано се формира во печката, а преку испарување и движење, кристалите постепено растат и на крајот се собираат во цилиндрични кристали.
Дел од внатрешниот ѕид на кристалот почнува да се распаѓа поради високата температура која надминува 2.600 степени Целзиусови. Силиконскиот елемент произведен со распаѓање ќе се рекомбинира со јаглеродниот елемент во полнењето за да формира нов силициум карбид.
Кога хемиската реакција на силициум карбид (SiC) е завршена и печката се олади, може да започне следниот чекор. Прво, ѕидовите на печката се демонтираат, а потоа се избираат суровините во печката и се оценети слој по слој. Избраните суровини се дробат за да се добие зрнестиот материјал што го сакаме. Следно, нечистотиите во суровините се отстрануваат преку водено миење или чистење со киселински и алкални раствори, како и со магнетно одвојување и други методи. Исчистените суровини треба да се исушат, а потоа повторно да се исчистат и на крајот да се добие чист силициум карбид во прав. Доколку е потребно, овие прашоци може дополнително да се обработуваат според вистинската употреба, како обликување или фино мелење, за да се добие пофин силициум карбид во прав.
Специфичните чекори се како што следува:
(1) Суровини
Микро прашокот од зелен силициум карбид се произведува со дробење погруб зелен силициум карбид. Хемискиот состав на силициум карбид треба да биде поголем од 99%, а слободниот јаглерод и железен оксид треба да биде помал од 0,2%.
(2) Скршен
За да се здроби силициум карбид песок во фин прав, во моментов во Кина се користат два методи, едниот е наизменичното дробење со влажна топчеста мелница, а другиот е дробење со помош на мелница за прашок за проток на воздух.
(3) Магнетно одвојување
Без разлика кој метод се користи за дробење прашок од силициум карбид во фин прав, обично се користат влажно магнетно одвојување и механичко магнетно одвојување. Тоа е затоа што нема прашина за време на влажното магнетно одвојување, магнетните материјали се целосно одвоени, производот по магнетното одвојување содржи помалку железо, а прашокот од силициум карбид одземен од магнетните материјали е исто така помалку.
(4) Одвојување на вода
Основниот принцип на методот на одвојување на водата е да се користат различните брзини на таложење на честичките од силициум карбид со различни дијаметри во вода за да се изврши сортирање по големина на честички.
(5) Ултразвучен скрининг
Со развојот на ултразвучната технологија, тој исто така беше широко користен во ултразвучниот скрининг на технологијата на микро-прав, што во основа може да ги реши проблемите со скрининг како што се силна адсорпција, лесна агломерација, висок статички електрицитет, висока финост, висока густина и светлосна специфична тежина .
(6)Квалитетна инспекција
Инспекцијата на квалитетот на микроправ вклучува хемиски состав, состав на големина на честички и други предмети. За методите на проверка и стандардите за квалитет, погледнете во „Технички услови за силициум карбид“.
(7) Производство на прашина од мелење
Откако микро прав ќе се групира и се скрши, главата на материјалот може да се користи за подготовка на прашок за мелење. Производството на прашок за мелење може да го намали отпадот и да го прошири синџирот на производи.
Време на објавување: мај-13-2024 година