За време на процесот на епитаксијата на пареа фаза (VPE), улогата на постаментот е да ја поддржи подлогата и да обезбеди еднообразно загревање за време на процесот на растење. Различни типови на постаменти се погодни за различни услови на раст и системи на материјали. Следниве се некои од најчесто користените типови на постаменти во фаза на пареаепитаксија:
Буре пиедестал
Постаментите на бурето најчесто се користат во хоризонтални или навалени системи за епитаксија на пареа фаза. Тие можат да ја држат подлогата и да дозволат гасот да тече над подлогата, што помага да се постигне рамномерен епитаксијален раст.
Постамент во форма на диск (вертикален пиедестал)
Постаментите во форма на диск се погодни за вертикални системи за епитаксија на пареа фаза, во кои подлогата е поставена вертикално. Овој дизајн помага да се намали површината на контакт помеѓу подлогата и подлогата, со што се намалува загубата на топлина и потенцијалната контаминација.
Хоризонтален сусцептор
Хоризонталните сусцептори се поретки во епитаксиите во фазата на пареа, но може да се користат во некои специфични системи за раст за да се овозможи епитаксијален раст во хоризонтална насока.
Монолитен чувствител на епитаксијална реакција
Монолитниот сензор за епиаксијална реакција е дизајниран за една подлога, која може да обезбеди попрецизна контрола на температурата и подобра топлинска изолација, погодна за раст на висококвалитетни епитаксијални слоеви.
Добредојдовте на нашата веб-страница за информации и консултации за производот.
Нашата веб-страница: https://www.vet-china.com/
Време на објавување: 30 јули 2024 година