Полупроводнички барања индустрија на графит материјал барања се особено високи, фини честички големина на графит има висока прецизност, висока температура отпор, висока јачина, мала загуба и други предности, како што се: синтерувани графит производи мувла.Бидејќи графитната опрема што се користи во индустријата за полупроводници (вклучувајќи ги грејачите и нивните синтерувани матрици) треба да издржат повторени процеси на загревање и ладење, со цел да се продолжи работниот век на опремата за графит, обично се бара употребените графитни материјали да имаат стабилни перформанси. и функцијата на удар отпорна на топлина.
01 Графитна галантерија за раст на полупроводнички кристали
Сите процеси што се користат за одгледување на полупроводнички кристали работат под висока температура и корозивно опкружување. Топлата зона на печката за раст на кристалите обично е опремена со компоненти од графит со висока чистота отпорни на топлина и отпорни на корозија, како што се грејач, сад, изолациски цилиндар, водич цилиндар, електрода, држач за сад, навртка за електрода итн.
Можеме да ги произведуваме сите графитни делови на уреди за производство на кристали, кои можат да се набават поединечно или во комплети, или прилагодени графитни делови со различни големини според барањата на клиентите. Големината на производите може да се мери на лице место, а содржината на пепел во готовите производи може да биде помалаод 5 ppm.
02 Графитна галантерија за полупроводничка епитаксија
Епитаксијалниот процес се однесува на растот на слој од еднокристален материјал со ист распоред на решетки како подлогата на еднокристалната подлога. Во епитаксијалниот процес, нафората се вчитува на графитниот диск. Перформансите и квалитетот на графитниот диск играат витална улога во квалитетот на епитаксијалниот слој на обландата. Во областа на епитаксијално производство, потребни се многу графит со ултра висока чистота и графитна основа со висока чистота со SIC облога.
Графитната основа на нашата компанија за полупроводничка епитаксија има широк опсег на апликации, може да одговара на повеќето од најчесто користените опрема во индустријата и има висока чистота, униформа облога, одличен работен век и висока хемиска отпорност и термичка стабилност.
03 Графитни додатоци за имплантација на јони
Имплантацијата на јони се однесува на процесот на забрзување на плазма зракот од бор, фосфор и арсен до одредена енергија, а потоа негово вбризгување во површинскиот слој на материјалот од обланда за да се променат својствата на материјалот на површинскиот слој. Компонентите на уредот за имплантација на јони треба да бидат направени од материјали со висока чистота со одлична отпорност на топлина, топлинска спроводливост, помала корозија предизвикана од јонски зрак и ниска содржина на нечистотии. Графитот со висока чистота ги задоволува барањата за апликација и може да се користи за цевка за летање, разни процепи, електроди, капаци на електроди, цевки, терминатори на зраци итн. на опрема за имплантација на јони.
Ние не само што можеме да обезбедиме заштитна обвивка од графит за различни машини за имплантација на јони, туку и да обезбедиме графитни електроди со висока чистота и јонски извори со висока отпорност на корозија од различни спецификации. Применливи модели: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM и друга опрема. Покрај тоа, ние исто така можеме да обезбедиме соодветни производи од керамика, волфрам, молибден, алуминиум и обложени делови.
04 Графитни изолациски материјали и други
Материјалите за топлинска изолација што се користат во опремата за производство на полупроводници вклучуваат тврд филц од графит, мек филц, графитна фолија, графитна хартија и графитно јаже.
Сите наши суровини се увезени графит, кој може да се исече според специфичната големина на барањата на клиентите или да се продаде како целина.
Јаглерод-јаглерод послужавник се користи како носител за филмско обложување во процесот на производство на соларни монокристални силициум и поликристални силиконски ќелии. Принципот на работа е: вметнете го силиконскиот чип во фиоката CFC и испратете го во цевката на печката за да се обработи филмската обвивка.
