Ko te susceptor whakakikoruatia te tantalum carbide mo te angiangi

Tantalum carbide pania susceptor mo te angiangi Whakaahua Whakaatu

Whakaahuatanga Poto:

He kaihautu a Semicera i roto i te hangarau whakamarumaru rawa o te pāmahana, a, e whakahīhī ana mātou ki te whakauru i ngā hua whakakikorua CVD Tantalum Carbide (TaC) hei whakarato i te whakamarumaru pāmahana teitei mo o taputapu kauwhata.Ko te Graphite he mea tino pai rawa atu ki te pāmahana teitei, engari he pai ki te whakapouri i te wera nui, e kore e taea te karo rawa ahakoa i roto i te oumu korehau.Ka taea e ta tatou paninga CVD Tantalum Carbide (TaC) te aukati i te whakapouritanga o te taputapu kauwhata i te wa e mau tonu ana tana mahi pāmahana teitei.Ko te TaC ano he mea korekore e taea te whakahē i nga tauhohenga me nga hau penei i te argon me te hauwai.Korero atu ki a Semicera i tenei ra ki te ako atu mo o maatau Tantalum Carbide CVD whakakikoruatia EPI susceptors ki te whakarite i te pumau me te pono o o tono pāmahana teitei.

Tukuna he imeera ki a matou Tikiake hei PDF

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ko te paninga TaC he momo paninga tantalum carbide (TaC) kua whakaritea e te hangarau whakangao kohu tinana, kei a ia nga ahuatanga e whai ake nei:

1. Te pakeke: He tiketike te pakeke o te whakakikorua TaC, te nuinga o te waa ka tae ki te 2500-3000HV, he pai rawa te whakakikorua.

2. Te aukati i te kakahu: Ko te paninga TaC he tino kakahu-aukati, ka taea te whakaiti i te kakahu me te kino o nga waahanga miihini i te wa e whakamahia ana.

3. He pai te parenga teitei o te pāmahana: Ka taea hoki e te paninga TaC te pupuri i tana mahi pai i raro i te taiao teitei.

4. He pai te pumau matū: He pai te noho matū o te paninga TaC, ka taea te whakahē i te maha o nga tauhohenga matū, penei i te waikawa me te turanga.

Tantalum Carbide CVD paninga EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Ngā āhuatanga ā-tinana o TaC paninga
密度/ Kiato	14.3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissivity motuhake	0.3
热膨胀系数 / Te whakarea roha wera	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Maama (HK)	2000 HK
电阻 / Atete	1×10^-5 Aue*cm
热稳定性 / Pumau werawera	<2500℃
石墨尺寸变化 / Hurihia te rahi o te kawhata	-10~-20um
涂层厚度 / Te matotoru paninga	≥20um uara angamaheni (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd he hinonga hangarau teitei e aro ana ki te hanga me te hoko o nga rawa teitei teitei, nga rauemi me te hangarau e hipoki ana i te kauwhata, te carbide silicon, te karaima, te maimoatanga mata me etahi atu.Ko nga hua e whakamahia ana i roto i te photovoltaic, semiconductor, te kaha hou, te whakarewa, me etahi atu.

Ko ta maatau roopu hangarau i ahu mai i nga umanga rangahau o roto o te whare, ka taea te whakarato i nga otinga rauemi ngaio mo koe.

Tena koe ki te toro ki to maatau wheketere, me korero ano!