Ko ta matou kaupapa ko te tipu hei kaiwhakarato auaha mo nga taputapu mamati me te whakawhitiwhiti korero ma te tuku i nga momo hua taapiri, te hanga akomanga o te ao, me nga kaha whakatika mo nga Tohu mo te Haina Graphite Ball Valves mo te Tiaki Wera, Ko ta matou whainga ko te hanga Wini. -wini te ahuatanga me o taatau kaihoko. E whakapono ana matou ko matou te mea pai rawa atu. "Ko te ingoa tuatahi, ko nga kaihoko ki mua. “E tatari ana mo to patai.
Ko ta maatau kaupapa ko te tipu hei kaiwhakarato auaha mo nga taputapu mamati me nga taputapu whakawhitiwhiti korero ma te tuku i nga momo hua taapiri, te hanga o te ao, me nga mahi whakatika moHaina Graphite Crucible, Nga kohuke me nga rawa, Ka piri tonu matou ki te whai i te pono, te painga tahi, te whakawhanaketanga noa, i muri i nga tau o te whakawhanaketanga me te whakapau kaha o nga kaimahi katoa, inaianei kua tino pai te punaha kaweake, nga rongoatanga rereke rereke, te whakatutuki whanui i nga kaipuke a nga kaihoko, nga waka rererangi, nga korero o te ao me nga ratonga logistics. . Whakawhanakehia te papaahanga kotahi-mutu mo o taatau kaihoko!
Wao / waro hiato(i muri nei ka kiia ko “C / C ranei CFC”) he momo rauemi hiato e hangai ana i runga i te waro me te whakakaha e te muka waro me ona hua (preform muka waro). Kei a ia te inertia o te waro me te kaha teitei o te muka waro. He pai nga ahuatanga o te miihini, te wera wera, te aukati waikura, te whakaheke waku me nga ahuatanga o te wera me te hiko
CVD-SiCpaninga he nga āhuatanga o te hanganga ōrite, rauemi kiato, teitei ātete pāmahana, ātete hāoratanga, teitei para, waikawa&wai ātete me te tauhohe waro, ki te pūmau āhuatanga tinana me te matū.
Ka whakatauritea ki nga rauemi graphite parakore teitei, ka timata te graphite ki te oxidize i te 400C, ka ngaro te paura na te waikura, ka puta te parahanga o te taiao ki nga taputapu peripheral me nga ruma korehau, me te whakanui ake i nga poke o te taiao tino-ma.
Engari, ka taea e te paninga SiC te pupuri i te pumau o te tinana me te matū i nga nekehanga 1600, Kei te whakamahia nuitia i roto i te ahumahi hou, ina koa i roto i te ahumahi semiconductor.
Ka whakaratohia e to taatau kamupene nga ratonga tukanga whakakikorua SiC ma te tikanga CVD i runga i te mata o te kauwhata, nga karamu me etahi atu taonga, kia tauhohe nga hau motuhake kei roto i te waro me te silicon i te teitei o te pāmahana ki te whiwhi i nga ngota ngota SiC parakore teitei, nga ngota ngota ka waiho ki runga i te mata o nga mea pani, hanga paparanga tiaki SIC. Ko te SIC i hangaia he tino herea ki te turanga kauwhata, ka hoatu ki te turanga kauwhata nga ahuatanga motuhake, na reira ka hangai te mata o te kauwhata kiato, Porosity-kore, teitei te pāmahana, te aukati waikura me te aukati waikura.
Āhuatanga matua:
1. Te teitei o te pāmahana aukati waiora:
he tino pai tonu te parenga waiora i te wa e teitei ana te pāmahana ki te 1600 C.
2. Te parakore teitei: i hangaia e te waipara matū matū i raro i te ahua o te maota o te pāmahana teitei.
3. Atete te horo: te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.
4. Te aukati waikura: te waikawa, te kawakore, te tote me nga reagents waro.
Nga Whakatakotoranga Matua o nga Whakakikorua CVD-SIC:
| SiC-CVD | ||
| Kiato | (g/cc)
| 3.21 |
| Te kaha whakaheke | (Mpa)
| 470 |
| Te roha wera | (10-6/K) | 4
|
| Te kawe werawera | (W/mK) | 300
|
