"Ko te pono, te auahatanga, te kaha, me te kaha" ko te whakaaro tonu o ta maatau kamupene mo te wa roa ki te whakawhanake tahi me nga kaihoko mo te tauutuutu me te painga tahi mo te Tirotiro Kounga mo Haina Ahumahi PolycrystallinePaura Taimana3-6um mo te Sapphire Wafer, Kei te maia matou ka taea e matou te tuku i nga hua o te kounga teitei me nga otinga ki te utu utu utu, he pai ake te tautoko i muri i te hoko ki nga kaihoko. A ka hanga e matou he oma roa.
"Ko te pono, te auahatanga, te kaha, me te kaha" ko te whakaaro tonu o ta tatou kamupene mo te wa roa ki te whakawhanake tahi me nga kaihoko mo te tauutuutu me te painga tahi mo tetahi.Haina Taimana Hangaia, Paura Taimana, Ka tohe tonu matou ki te kaupapa whakahaere o "Ko te Kounga Ko te Tuatahi, Ko te Hangarau te Kaupapa, Te Pono me te Whakahoutanga". Ka taea e matou te whakawhanake i nga hua hou ki te taumata teitei ake hei whakatutuki i nga hiahia rereke o nga kaihoko.
Whakaahuatanga Hua
Ka whakaratohia e to taatau kamupene nga ratonga tukanga whakakikorua SiC ma te tikanga CVD i runga i te mata o te kauwhata, nga karamu me etahi atu taonga, kia tauhohe nga hau motuhake kei roto i te waro me te silicon i te teitei o te pāmahana ki te whiwhi i nga ngota ngota SiC parakore teitei, nga ngota ngota ka waiho ki runga i te mata o nga mea pani, hanga paparanga tiaki SIC.
Āhuatanga matua:
1. Te teitei o te pāmahana aukati waiora:
he tino pai tonu te parenga waiora i te wa e teitei ana te pāmahana ki te 1600 C.
2. Te parakore teitei : i hangaia e te waipara matū matū i raro i te ahua o te maota o te pāmahana teitei.
3. Atete te horo: te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.
4. Te aukati waikura: te waikawa, te kawakore, te tote me nga reagents waro.
Nga Whakatakotoranga Matua o te Whakakikorua CVD-SIC
Nga Taonga SiC-CVD | ||
Hanganga Kiriata | FCC β wāhanga | |
Kiato | g/cm ³ | 3.21 |
Te pakeke | Vickers pakeke | 2500 |
Rahi witi | μm | 2~10 |
Te Maamaa | % | 99.99995 |
Raukaha Wera | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
Te Mahana Whakararo | ℃ | 2700 |
Te Kaha Felexural | MPa (RT 4-point) | 415 |
Young's Modulus | Gpa (4pt piko, 1300℃) | 430 |
Roha Ngawha (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
Te kawe werawera | (W/mK) | 300 |