I roto i te wāhanga tukanga hoki-mutunga, teangiangi (te angiangi siliconme nga porowhita kei mua) me angiangi ki te tuara i mua i te mahi mataono ka whai ake, te whakapiri me te takai hei whakaiti i te teitei o te pikinga o te kete, te whakaheke i te rahinga o te kete maramara, te whakapai ake i te pai o te whakamaarama wera o te maramara, te mahi hiko, nga taonga miihini me te whakaiti i te nui mataono. Ko te huri o muri he painga o te tino pai me te utu iti. Kua whakakapihia e ia nga tikanga o te weri makuku me nga tikanga katote kia noho hei hangarau whakahiato tuara.
Ko te angiangi angiangi
Me pehea te kikokore?
Ko te tukanga matua o te angiangi angiangi i roto i te tukanga whakakai tuku iho
Ko nga taahiraa motuhake oangiangiKo te mahi angiangi hei here i te mea angiangi ki te tukatuka ki te kiriata angiangi, katahi ka whakamahi i te korehau ki te whakauru i te kiriata angiangi me te maramara ki runga ki te teepu angiangi uku maiengi, whakatika i nga raina poti poti porohita o roto me waho o te mata mahi o te Ko te wira mira taimana ahua kapu ki te pokapū o te angiangi silicon, a ko te angiangi silicon me te wira huri huri huri noa i o raatau toki mo te tapahi-i roto i te huri. E toru nga wahanga o te huri: te huri taratara, te huri pai me te oro.
Ko te angiangi e puta mai ana i te wheketere angiangi ka huri whakamuri kia angiangi te angiangi ki te matotoru e hiahiatia ana mo te takai. I te wa e huri ana i te angiangi, me whakapiri te riipene ki mua (Waihanga Hohe) hei whakamarumaru i te waahi ara iahiko, me te taha ki muri ka kuia i te wa ano. I muri i te huri, tangohia te riipene me te ine i te matotoru.
Ko nga tukanga huri kua oti pai te tono ki te whakarite angiangi silicon ko te huri tepu hurihuri,te angiangi siliconhuri huri, huri taha rua, aha atu. Na te whakapai ake i nga whakaritenga o te kounga o te mata o te kirikiri kirikiri kirikiri kotahi, kei te whakaarohia tonutia nga hangarau hurihuri hou, penei i te huri TAIKO, te huri miihini matū, te huri oro me te huri kopae aorangi.
Te huri tepu hurihuri:
Ko te huri i te teepu hurihuri (te huri tepu hurihuri) he mahinga moata moata i whakamahia i roto i te whakarite angiangi silicon me te angiangi hoki. Ko tana maataapono e whakaatuhia ana i te Whakaahua 1. Ka mau nga wafers silicon ki runga i nga kapu momi o te teepu hurihuri, ka huri i te wa e peia ana e te tepu hurihuri. Ko nga angiangi silicon ano e kore e huri huri noa i to ratou tuaka; ka whangaihia te wira huri i te axially i te wa e huri ana i te tere tere, a ko te diameter o te wira huri he nui ake i te diameter o te wafer silicon. E rua nga momo oro huri tepu: huri huri kanohi me te huri hangai kanohi. I roto i te hurihanga o te mata, he nui ake te whanui o te wira hurihuri i te diameter wafer silicon, a ka whangai tonu te porowhita wira huri i tona ahunga axial tae noa ki te tukatuka i te taikaha, katahi ka hurihia te angiangi silicon i raro i te puku o te tepu hurihuri; i roto i te hurihanga tangential mata, ka whangai te wira huri i te taha o tona ahunga axial, a ka huri tonu te angiangi silicon i raro i te puku o te kōpae hurihuri, a ka oti te huri ma te whangai tauutuutu (tauutuutu) kai ngoki ranei (creepfeed).
Whakaahua 1, hoahoa hoahoa o te maapono huri tepu hurihuri (te patonga kanohi).
Ka whakatauritea ki te tikanga huri, ko te huri i te teepu hurihuri nga painga o te tere tangohanga teitei, te iti o te kino o te mata, me te ngawari aunoa. Heoi ano, ko te waahi huri tonu (te huri kaha) B me te koki tapahi θ (te koki i waenga i te porowhita o waho o te wira huri me te porowhita o waho o te angiangi silicon) i roto i te mahi huri ka huri ki te huringa o te waahi tapahi. o te wira mira, ka puta he kaha huri noa, he uaua ki te whiwhi i te tino tika o te mata (te uara TTV teitei), me te ngawari ka puta he koha penei i te tiango taha me te tiango o te taha. Ko te hangarau hurihuri tepu hurihuri te nuinga e whakamahia ana mo te tukatuka o nga angiangi kirikiri kirikiri kotahi i raro i te 200mm. Ko te pikinga o te rahi o nga angiangi kirikiri kirikiri kotahi kua whakatakotohia nga whakaritenga teitei ake mo te tika o te mata me te tika o te nekehanga o te papamahi taputapu, na reira kaore e pai te huri o te teepu hurihuri mo te huri o nga kirikiri kirikiri kotahi i runga ake i te 300mm.
Hei whakapai ake i te pai o te huri, te nuinga o te wa ka whakamahia e nga taputapu miihini miihini waka rererangi he hanganga wira hurihuri maha. Hei tauira, he huinga wira miro taratara me tetahi huinga wira hurihuri pai kei runga i nga taputapu, ka huri te tepu hurihuri ki tetahi porowhita hei whakaoti i te huri taratara me te huri huri. Kei roto i tenei momo taputapu te G-500DS o te Kamupene GTI Amerika (Whakaahua 2).
Whakaatu 2, G-500DS taputapu huri tepu huri o GTI Kamupene i te United States
Te hurihanga angiangi Silicon hurihanga:
I roto i te tikanga ki te whakatutuki i nga hiahia o te rahi-rahi silicon angiangi faaineineraa me te hoki angiangi tukatuka, me te whiwhi tika mata ki te uara TTV pai. I te tau 1988, ka whakaarohia e te tohunga Hapani a Matsui he tikanga huri huri (in-feedgrinding) tikanga. Ko tana maataapono e whakaatuhia ana i te Whakaahua 3. Ko te kirikiri kirikiri angiangi kotahi me te wira hurihuri taimana ahua kapu kua whakauruhia ki runga i te papamahi ka huri huri noa i o raatau toki, ka whangai tonu te wira huri ki te ahunga axial i te wa ano. I roto ia ratou, ko te diameter o te wira huri he nui ake i te diameter o te angiangi silicon tukatuka, a ka haere tona porowhita ki waenganui o te angiangi silicon. Hei whakaiti i te kaha o te huri me te whakaiti i te wera huri, ka kutihia te kapu momi korehau ki te ahua convex, concave ranei, te koki ranei i waenga i te miro wira huri me te tuaka miro kapu momi ka whakatika hei whakarite i te huri-whakapapa i waenganui i te wira huri me te angiangi hiraka.
Whakaatu 3, Te hoahoa hoahoa o te maapono huri hurihuri hiraka angiangi
Ka whakatauritea ki te huri tepu hurihuri, ko nga painga e whai ake nei te miraka angiangi angiangi: ① Ka taea e te miraka angiangi kotahi-waa te tukatuka i nga angiangi angiangi nui-rahi neke atu i te 300mm; ② Ko te rohe huri B me te koki tapahi θ he rite tonu, a ko te kaha o te huri he ahua pumau; ③ Ma te whakatikatika i te koki koki i waenga i te tuaka wira huri me te tuaka angiangi silicon, ka kaha te whakahaere i te ahua o te mata o te kirikiri angiangi karaihe kotahi kia pai ake ai te tika o te ahua o te mata. I tua atu, ko te waahi hurihuri me te koki tapahi θ o te miihini angiangi hurihuri hurihuri he painga ano mo te huri i te taha nui, te matotoru o te ipurangi me te kitea o te kounga o te mata me te mana whakahaere, te hanganga taputapu kiato, te ngawari o te miihini whakauru maha, me te pai o te huri.
Hei whakapai ake i te pai o te whakaputa me te whakatutuki i nga hiahia o nga raina whakangao semiconductor, ko nga taputapu miihini arumoni e pa ana ki te kaupapa o te hurihanga angiangi silicon huritao ka tango i te hanganga maha-teihana maha-spindle, ka taea te whakaoti i te huri taratara me te huri pai i roto i te utaina me te whakaheke. . Whakakotahitia me etahi atu whakaurunga awhina, ka taea e ia te mohio ki te huri aunoa o nga angiangi kirikiri karaihe kotahi "maroke-i roto / maroke-waho" me te "rīpene ki te rīpene".
Miro taha-rua:
I te wa e mahi ana te miihini angiangi hurihuri hurihanga i nga papa o runga me te raro o te angiangi angiangi, me huri te mea mahi me te mahi i roto i nga hikoinga, e whakawhāiti ana i te kaha. I te wa ano, ko te kirikiri angiangi hurihuri huri he hapa mata te kape (te kape) me te huri tohu (tohu huri), a kaore e taea te tango i nga hapa penei i te waviness me te taper i runga i te mata o te kirikiri angiangi karaihe kotahi i muri i te tapahi waea. (multi-saw), e whakaatuhia ana i te Whakaahua 4. Hei whakakore i nga hapa o runga ake nei, ka puta te hangarau huri taha-rua (doubleside grinding) i roto i te 1990s, a ko tana maataapono e whakaatuhia ana i te Whakaahua 5. Ko nga rawhi kua tohatoha hangarite ki nga taha e rua ka awhi i te kirikiri angiangi karaihe kotahi i roto i te mowhiti pupuri, ka huri marietia e te roera. He rua nga wira huri taimana ahua kapu kei nga taha e rua o te kirikiri angiangi karaihe kotahi. I peia e te hau e mau ana i te miro hiko, ka huri haere ki nga huarahi rereke me te whangai axially ki te whakatutuki i te hurihanga taha-rua o te kirikiri angiangi karaihe kotahi. Ka kitea mai i te ahua, ka taea e te hurihanga taha-rua te tango i te waviness me te taper i runga i te mata o te kirikiri angiangi karaihe kotahi i muri i te tapahi waea. E ai ki te ahunga whakaritenga o te tuaka wira huri, huri rua-taha taea e whakapae me te poutū. I roto i a raatau, ko te hurihanga taha-rua whakapae ka taea te whakaiti i te awe o te huringa angiangi silicon na te taumaha mate o te angiangi silicon i runga i te kounga o te huri, a he mea ngawari ki te whakarite ko nga tikanga o te hurihanga i nga taha e rua o te kirikiri karaihe kotahi. he rite tonu te angiangi, a ko nga matūriki abrasive me te huri maramara e kore e ngawari ki te noho ki runga i te mata o te kirikiri angiangi karaihe kotahi. Ko te tikanga oro ahua pai.
Whakaatu 4, "Tape Hapa" me te mau tohu kohakore i roto i te hurihanga angiangi angiangi huri huri
Whakaahua 5, hoahoa hoahoa o te maapono huri taha-rua
Ko te Ripanga 1 e whakaatu ana i te whakatairitetanga i waenga i te huri hurihanga me te huri taha-rua o nga momo e toru o runga ake nei o te kirikiri angiangi karaihe kotahi. Ko te hurihanga taha-rua te nuinga e whakamahia ana mo te tukatuka wafer silicon i raro i te 200mm, a he nui te hua angiangi. Na te whakamahi i nga wira hurihuri abrasive, ka taea e te huri o nga wafers kirikiri kirikiri kotahi te kounga o te mata teitei ake i te hurihanga taha-rua. Na reira, ka taea e rua te angiangi angiangi hurihuri huri me te rua-taha huri ki te whakatutuki i nga whakaritenga kounga tukatuka o auraki 300mm silicon angiangi, a ko enei te tino tikanga tukatuka papatahi. A, no te whiriwhiri i te tikanga tukatuka angiangi angiangi whakarata, he mea tika ki te whakaaro matawhānui nga whakaritenga o te rahi diameter, te kounga mata, me te oro hangarau angiangi tukatuka o te kirikiri angiangi angiangi kotahi. Ko te angiangi o muri o te angiangi ka taea anake te kowhiri i tetahi tikanga tukatuka taha-kotahi, penei i te tikanga huri hurihuri hurihanga.
I tua atu i te kowhiri i te tikanga huri i roto i te miraka angiangi silicon, he mea tika ano hoki ki te whakatau i te kowhiringa o nga tawhā tukanga e tika ana penei i te pehanga pai, te huri i te rahi o te witi, te huri i te wira wira, te tere o te wira, te tere angiangi silicon, te huri i te wai viscosity me te rere o te rere, me etahi atu, me te whakatau i te huarahi tukanga whaitake. I te nuinga o te wa, ka whakamahia te mahi huri wetewete tae atu ki te huri taratara, te huri hangarua, te whakaoti huri, te miro kore-korakora me te puhoi o te tuara ka whakamahia hei tiki i nga angiangi kirikiri karaihe kotahi me te pai o te tukatuka, te papatahi o te mata me te iti o te kino o te mata.
Ka taea e nga hangarau hurihuri hou te korero ki nga tuhinga:
Whakaatu 5, hoahoa hoahoa o te maapono huri o TAIKO
Whakaahua 6, hoahoa hoahoa o te maapono huri kopae paparangi
Hangarau angiangi angiangi mo te huri angiangi:
He kaikawe angiangi e huri ana i te hangarau angiangi me te hangarau huri taha (Whakaahua 5).
Te wa tuku: Akuhata-08-2024