Kore-riterite o te pupuhi katote
marokewhakairoKo te tikanga he tukanga e whakakotahi ana i nga paanga o te tinana me te matū, ko te pupuhi katote he tikanga whakahirahira tinana. I te wa o tetukanga tarai, ko te koki maiki me te tohatoha hiko o nga katote kaore pea i te taurite.
Mena he rereke te koki mai i te katote i nga waahi rereke i te taha taha, ka rereke ano te paanga o nga katote ki te taha taha. I nga waahi ka nui ake nga koki mai i te katote, ka kaha ake te awe o nga katote i runga i te pakitara taha, ka nui ake te tarai o te pakitara taha o tenei waahi, ka piko te pakitara taha. I tua atu, ko te tohatoha koretake o te kaha katote ka puta ano nga paanga rite. Ka taea e nga katote he kaha ake te tango i nga rawa kia pai ake te tango, ka puta he koretakewhakaironga nekehanga o te pakitara taha ki nga waahi rereke, ka huri te taha ki te piko.
Te awe o te photoresist
Ko te mahi a Photoresist he kanohi kanohi ki te tarai maroke, hei tiaki i nga waahi kaore e tika kia taraihia. Heoi ano, ka pangia ano te photoresist e te pupuhi plasma me nga tauhohenga matū i te wa e mahi ana, ka rereke pea te mahi.
Mena he pahekeheke te matotoru o te photoresist, he rereke te reeti kohi i te wa o te mahi tarai, he rereke ranei te piri i waenga i te photoresist me te tïpako ki nga waahi rereke, ka arai pea ki te tiaki koretake o nga pakitara taha i te wa e mahi ana. Hei tauira, ko nga waahi whai whakaahua angiangi, he ngoikore ranei te piri ka ngawari ake te tarai i nga rawa o raro, ka piko nga pakitara taha ki enei waahi.
Rerekētanga i roto i ngā āhuatanga rauemi tïpako
He rereke pea nga ahuatanga o te rawa o te tïpako taraihia, penei i te rereke o nga tuunga karaihe me nga kukū doping i nga rohe rereke. Ko enei rereketanga ka pa ki te tere o te tarai me te whiriwhiringa o te tarai.
Hei tauira, i roto i te silicon tioata, he rereke te whakaritenga o nga ngota silicon i roto i nga ahuatanga o te karaihe rereke, a ka rere ke ano to ratou hohenga me te reiti etching ki te hau etching. I te wa o te mahi tarai, na te rerekee o nga reiti weriweri i puta mai i nga rereketanga o nga rawa rawa ka kore e rite te hohonutanga o nga pakitara taha ki nga waahi rereke, i te mutunga ka arahi ki te piko o te taha taha.
Nga mea e pa ana ki nga taputapu
Ko te mahi me te mana o nga taputapu tarai ka whai paanga nui ki nga hua tarai. Hei tauira, ko nga raruraru penei i te tohatoha plasma koretake i roto i te ruuma tauhohenga me te kakahu hiko koretake ka arahi pea ki te tohatoha koretake o nga tawhā penei i te kiato katote me te kaha ki runga i te mata angiangi i te wa e tarai ana.
I tua atu, ko te whakahaere i te pāmahana koretake o nga taputapu me te paku rereke o te rere hau ka pa ki te riterite o te hakihaki, e arai ana ki te piko o te pakitara taha.
Wā tuku: Tihema-03-2024