A angiangikia toru nga huringa kia noho hei maramara semiconductor: tuatahi, ka tapahia te ingot ahua paraka ki nga angiangi; i te tukanga tuarua, ka whakairohia nga transistors ki mua o te angiangi na roto i te tukanga o mua; ka mutu, ka mahia te takai, ara, ma te tapahi, teangiangika waiho hei maramara semiconductor oti. Ka kitea ko te tukanga takai no te tukanga o muri. I tenei tukanga, ka tapahia te angiangi ki etahi maramara hexahedron takitahi. Ko tenei tikanga mo te whiwhi maramara motuhake ka kiia ko "Singulation", a ko te tukanga o te kani i te papa angiangi ki roto i nga cuboids motuhake ka kiia ko "te tapahi wafer (Die Sawing)". I tata nei, me te whakapai ake i te whakauru semiconductor, te matotoru oangiangikua angiangi me te angiangi, ko te tikanga ka nui te uaua ki te mahi "singulation".
Te kukuwhatanga o te angiangi mataono
Ko nga tikanga o mua me te taha o muri kua tipu ake na roto i te taunekeneke i roto i nga huarahi rereke: ka taea e te whanaketanga o nga tukanga o muri te whakatau i te hanganga me te waahi o nga maramara iti hexahedron kua wehea mai i te mate i runga i teangiangi, me te hanganga me te waahi o nga pads (nga ara hononga hiko) i runga i te wafer; i runga i te anga ke, kua huri te kukuwhatanga o ngā tukanga mua-mutunga te tukanga me te tikanga oangiangite angiangi o te tuara me te "mate dicing" i roto i te tukanga o muri. Na reira, ko te ahua tino maamaa o te kete ka whai paanga nui ki te mahi o muri. I tua atu, ka huri ano te nama, te tikanga me te momo mahi mataono i runga i te huringa o te ahua o te kete.
Kaituhi Tuhituhi
I nga ra o mua, ko te "whawhati" ma te whakamahi i te kaha o waho ko te tikanga mataono anake ka taea te wehewehe i teangiangiki te hexahedron ka mate. Heoi ano, ko tenei tikanga nga kino o te maramara, te pakaru ranei o te tapa o te maramara iti. I tua atu, i te mea kaore i tino tangohia nga burrs i runga i te mata whakarewa, he tino taratara hoki te mata tapahi.
Hei whakaoti i tenei raruraru, i puta te tikanga tapahi "Scribing", ara, i mua i te "pakaru", te mata o teangiangika tapahia ki te haurua o te hohonu. Ko te "Tuhituhi", e kii ana te ingoa, mo te whakamahi i te impeller ki te kite (hawhe-tapahia) te taha o mua o te angiangi i mua. I nga ra o mua, ko te nuinga o nga mea angiangi i raro iho i te 6 inihi i whakamahi i tenei tikanga tapahi o te tuatahi "tapahi" i waenga i nga maramara katahi ka "pakaru".
Matapihi Matapihi, Matapihi kani ranei
Ko te tikanga tapahi "Scribing" i tipu haere ki te tikanga tapahi "Blade dicing", he tikanga tapahi ma te whakamahi i te mata e rua, e toru nga wa i te rarangi. Ka taea e te tikanga tapahi "Blade" te ahua o nga maramara iti e tihorea ana i te "pakaru" i muri i te "tuhituhi", ka taea te tiaki i nga maramara iti i te wa o te "whakatangi". He rereke te tapahi "Blade" mai i te tapahi "dicing" o mua, ara, i muri i te tapahi "matau", ehara i te "pakaru", engari ka tapahia ano ki te mata. Na reira, ka kiia hoki ko te tikanga "step dicing".
Hei tiaki i te angiangi mai i te kino o waho i te wa o te tapahi, ka tukuna he kiriata ki te angiangi i mua atu kia pai ake ai te "kotahi". I te wa o te "huri huri" ka piri te kiriata ki mua o te angiangi. Engari i te rereke, i roto i te tapahi "matau", me piri te kiriata ki te tuara o te angiangi. I te wa o te herenga mate eutectic (te herenga mate, te whakatika i nga maramara wehe i runga i te PCB, i te anga pumau ranei), ka taka atu te kiriata e piri ana ki te tuara. Na te kaha o te waku i te wa e tapahi ana, me rehu tonu te wai DI mai i nga taha katoa. I tua atu, me whakapiri te impeller ki nga matūriki taimana kia pai ake te tapahi i nga poro. I tenei wa, me rite te tapahi (te matotoru o te mata: te whanui o te riu) kia kaua e neke ake i te whanui o te riu riu.
Mo te wa roa, ko te kani rakau te tikanga tapahi tuku iho. Ko tana painga nui ka taea e ia te tapahi i te maha o nga wafers i roto i te wa poto. Heoi, ki te nui haere te tere o te kai o te poro, ka piki ake pea te tihorenga o te mata maramara. Na reira, me whakahaere te maha o nga hurihanga o te impeller i te 30,000 wa ia meneti. Ka taea te kite ko te hangarau o te tukanga semiconductor he mea huna puhoi i roto i te wa roa o te kohikohi me te whakamatautau me te hapa (i te waahanga e whai ake nei mo te hononga eutectic, ka korerohia e matou nga korero mo te tapahi me te DAF).
Mataono i mua i te huri (DBG): kua huri te raupapa tapahi i te tikanga
Ina mahia te tapahi mata ki runga i te angiangi 8-inihi te whanui, kaore he take e maharahara ki te tihorenga o te mata maramara, ka pakaru ranei. Engari i te pikinga o te diameter angiangi ki te 21 inihi ka tino kikokore te matotoru, ka timata ano te ahua o te tihorenga me te kapiti. Kia tino whakaitihia te paanga o te tinana ki runga i te wafer i te wa o te tapahi, ko te tikanga DBG o te "kirikiri i mua i te huri" ka whakakapi i te raupapa tapahi tuku iho. Kaore i rite ki te tikanga tapahi "mata" tuku iho e tapahi tonu ana, ka mahia e DBG he tapahi "mata" i te tuatahi, katahi ka angiangi te matotoru angiangi ma te angiangi tonu te taha o muri kia wehea ra ano te maramara. Ka taea te kii ko te DBG he putanga whakahou o te tikanga tapahi "mata" o mua. Na te mea ka taea e ia te whakaiti i te paanga o te tapahi tuarua, kua tere te rongonui o te tikanga DBG i roto i te "painga wafer-level".
Mataono Taiaho
Ko te mahinga o te kohinga maramara taumata-wafer (WLCSP) te nuinga o te whakamahi i te tapahi taiaho. Ka taea e te tapahi taiaho te whakaiti i nga ahuatanga penei i te tihorea me te pakaru, na reira ka pai ake nga maramara o te kounga, engari ka neke atu i te 100μm te matotoru angiangi, ka tino heke te hua. Na reira, ka whakamahia te nuinga i runga i nga angiangi me te matotoru o te iti iho i te 100μm (he ahua kikokore). Ko te tapahi taiaho ka tapahia te silicon ma te whakamahi i te taiaho kaha-nui ki te riu kaituhi o te angiangi. Engari, i te wa e whakamahi ana i te tikanga tapahi taiaho (Taahoa Tikanga), me tono he kiriata whakamarumaru ki te mata angiangi i mua. Na te mea ko te whakamahana, te whakamahana ranei i te mata o te angiangi ki te taiaho, ka puta enei hononga-a-tinana i nga awaawa ki runga i te mata o te angiangi, ka piri ano nga kongakonga silicon kua tapahia ki te mata. Ka taea te kite ko te tikanga tapahi laser tuku iho ka tapahi tika i te mata o te angiangi, a, i tenei ahuatanga, he rite ki te tikanga tapahi "mata".
Ko te Stealth Dicing (SD) he tikanga mo te tapahi tuatahi i te roto o te angiangi ki te hiko taiaho, katahi ka pehia te pehanga o waho ki te riipene e piri ana ki te tuara kia pakaru, na reira ka wehea te maramara. Ka pehia te pehanga ki te riipene kei muri, ka piki tonu te angiangi ki runga na te totoro o te riipene, na reira ka wehea te maramara. Ko nga painga o te SD i runga i te tikanga tapahi laser tawhito ko: tuatahi, kaore he otaota silicon; tuarua, he whaiti te kerf (Kerf: te whanui o te awaawa kaituhi), na reira ka nui ake nga maramara ka taea. I tua atu, ka tino whakahekehia te ahua o te tihorea me te pakaru ma te whakamahi i te tikanga SD, he mea nui ki te kounga o te tapahi. Na reira, ko te tikanga SD ka waiho hei hangarau rongonui a muri ake nei.
Mataono Plasma
Ko te tapahi Plasma he hangarau hou i whakawhanakehia e whakamahi ana i te tarai plasma hei tapahi i te wa o te hangahanga (Fab). Ka whakamahia e te tapahi plasma nga rauemi hau-hau hei utu mo te wai, no reira he iti te paanga ki te taiao. A ko te tikanga mo te tapahi i te wafer katoa i te wa kotahi ka tangohia, no reira he tere te tere "tapahi". Heoi, ka whakamahia e te tikanga plasma te hau tauhohenga matū hei rauemi mata, a he tino uaua te mahi tarai, na reira he uaua te rere o te tukanga. Engari ka whakatauritea ki te tapahi "mata" me te tapahi laser, ko te tapahi plasma karekau e kino ki te mata angiangi, na reira ka whakaitihia te reeti hapa me te whiwhi maramara ake.
I tata nei, mai i te mea kua whakahekehia te matotoru o te angiangi ki te 30μm, he nui te parahi (Cu) me nga rauemi tuuturu dielectric iti (Low-k) e whakamahia ana. Na reira, hei aukati i nga burrs (Burr), ka pai ano nga tikanga tapahi plasma. Ko te tikanga, kei te whakawhanake tonu te hangarau tapahi plasma. E whakapono ana ahau i te wa e heke mai nei, i tetahi ra kaore he take ki te mau i te kanohi kanohi motuhake i te wa e tarai ana, na te mea he ahunga whanaketanga nui tenei mo te tapahi plasma.
I te mea kua heke tonu te matotoru o te angiangi mai i te 100μm ki te 50μm ka tae ki te 30μm, ko nga tikanga tapahi mo te whiwhi maramara motuhake kua rerekee me te whanake mai i te "pakaru" me te "mata" tapahi ki te tapahi laser me te tapahi plasma. Ahakoa ko nga tikanga tapahi kua pakeke ake kua piki ake te utu o te mahi tapahi, i tetahi atu taha, na te tino whakaiti i nga ahuatanga kino penei i te tihorea me te pakaru e puta pinepine ana i roto i te tapahi maramara semiconductor me te whakanui ake i te maha o nga maramara ka riro mai i ia wafer wae. , ko te utu hanga o te maramara kotahi kua whakaatu te ahua heke. Ae ra, ko te pikinga o te maha o nga maramara e whiwhi ana mo ia waahanga o te wafer e hono tata ana ki te whakahekenga o te whanui o te huarahi tiihi. Ma te whakamahi i te tapahi plasma, tata ki te 20% te nui atu o nga maramara ka taea te whakarite ki te whakamahi i te tikanga tapahi "matau", koinei hoki te take nui e whiriwhiri ai nga tangata i te tapahi plasma. Na te whanaketanga me nga huringa o nga wafers, te ahua maramara me nga tikanga kapi, ka puta ano nga momo tapahi penei i te hangarau tukatuka wafer me te DBG.
Te wa tuku: Oketopa-10-2024