Ko te Dual-Damascene he hangarau tukanga e whakamahia ana ki te hanga hononga whakarewa i roto i nga iahiko whakauru. Ko te whanaketanga atu o te tukanga Ramahiku. Na roto i te hanga i roto i nga rua me nga awaawa i te wa ano i roto i te taahiraa tukanga kotahi me te whakakii i a raatau ki te whakarewa, ka kitea te hangahanga whakauru o nga hononga whakarewa.
He aha i kiia ai ko Ramahiku?
Ko te taone nui o Ramahiku te whakapaipai o Hiria, a he rongonui nga hoari a Ramahiku mo te koi me te ahua ataahua. Ko te ahua o te tukanga whakauru e hiahiatia ana: tuatahi, ko te tauira e hiahiatia ana ka whakairohia ki runga i te mata o te maitai o Ramahiku, a, ko nga mea kua oti te whakarite, ka piri ki roto i nga waahi whakairo. I muri i te otinga o te whakaurunga, he iti noa te ahua o te mata. Ka ata whakakoapahia e te kaitoi kia pai ai te maeneene katoa. Na ko tenei tukanga ko te tauira o te mahinga Ramahiku rua o te maramara. Tuatahi, ka whakairohia nga awaawa me nga rua ki roto i te paparanga dielectric, katahi ka whakakiia te whakarewa ki roto. I muri i te whakakī, ka tangohia te taikaha whakarewa e cmp.
Ko nga waahanga matua o te tukanga Damascene rua ko:
▪ Te whakatakoto o te paparanga dielectric:
Whakatakotoria he paparanga o te mea dielectric, penei i te hiako hauhā (SiO2), ki runga i te hikohikoangiangi.
▪ Photolithography ki te tautuhi i te tauira:
Whakamahia te whakaahua whakaahua hei tautuhi i te tauira o nga vias me nga awaawa i runga i te paparanga dielectric.
▪Te tarai:
Whakawhitihia te tauira o nga vias me nga awaawa ki te paparanga dielectric ma roto i te tukanga tarai maroke, maku ranei.
▪ Te whakatakoto o te whakarewa:
Whakatakotoria te konganuku, penei i te parahi (Cu) me te konumohe (Al), ki roto i nga vias me nga awaawa hei hanga hononga whakarewa.
▪ Te whakakorikori matū:
Te whakakorikori matū o te mata whakarewa hei tango i te taikaha o te whakarewa me te papatahi i te mata.
Ka whakatauritea ki te hangahanga honohono whakarewa tuku iho, ko te mahinga damascene rua nga painga e whai ake nei:
▪Nga waahanga tukanga ngawari:ma te hanga i nga vias me nga awaawa i te wa kotahi i roto i te taahiraa tukanga kotahi, ka whakaitihia nga waahanga tukanga me te wa whakangao.
▪Kua pai ake te mahi whakangao:na te whakahekenga o nga mahi mahi, ka taea e te mahinga damascene rua te whakapai ake i te mahi whakangao me te whakaiti i nga utu whakaputa.
▪Whakapai ake te mahinga o nga hononga whakarewa:ka taea e te tukanga damascene rua te whakatutuki i nga hononga whakarewa whaiti, na reira ka pai ake te whakauru me te mahi o nga iahiko.
▪Whakaitihia te kaha o te parapara me te aukati:ma te whakamahi i nga rauemi dielectric iti-k me te arotau i te hanganga o nga hononga whakarewa, ka taea te whakaheke i te kaha o te parapara me te parenga, te whakapai ake i te tere me te mahi hiko o nga iahiko.
Te wa tuku: Noema-25-2024