He aha te rereketanga i waenga i te PECVD me te LPCVD i nga taputapu CVD semiconductor?

Kohu kohu matū (CVD) e pā ana ki te tukanga o te whakatakoto i tētahi kiriata mārō ki te mata o te siliconangiangimā te tauhohenga matū o te ranunga hau. E ai ki nga ahuatanga tauhohenga rereke (te pehanga, precursor), ka taea te wehewehe ki nga tauira taputapu.

He aha nga tukanga e whakamahia ana enei taputapu e rua?
PECVDKo nga taputapu (Plasma Enhanced) te nuinga me te nuinga o te whakamahi, whakamahia i roto i te OX, Nitride, te kuaha whakarewa, te waro amorphous, me etahi atu; Ko te LPCVD (Te Mana Iti) ka whakamahia i roto i te Nitride, poly, TEOS.
He aha te kaupapa?
PECVD-he tukanga e whakakotahi pai ana te kaha plasma me te CVD. Ko te hangarau PECVD e whakamahi ana i te plasma iti-mahana ki te whakakorikori i te mura o te mura ki te cathode o te ruuma tukanga (ara, te paepae tauira) i raro i te pehanga iti. Ka taea e tenei tuku mura, tetahi atu taputapu whakamahana ranei te whakanui ake i te pāmahana o te tauira ki te taumata kua whakaritea, katahi ka whakauru i te nui o te hau whakahaere. Ko tenei hau ka pa ki te raupapa o nga tauhohenga matū me te plasma, ka mutu ka hanga he kiriata totoka ki te mata o te tauira.

LPCVD - Ko te waipara matū matū iti-pēhanga (LPCVD) i hangaia hei whakaiti i te pehanga mahi o te hau tauhohenga i roto i te reactor ki te 133Pa iti iho ranei.
He aha nga ahuatanga o ia tangata?
PECVD - He tukanga e whakakotahi pai ana i te kaha plasma me te CVD: 1) Te mahi iti-mahana (te karo i te kino o te wera ki nga taputapu); 2) Te tipu tere o te kiriata; 3) Kare i te kaikawe mo nga rawa, OX, Nitride, kuaha whakarewa, waro amorphous ka tipu katoa; 4) He pūnaha aroturuki i roto i te waahi, ka taea te whakatika i te tunu ma nga tawhā katote, te rere o te hau, te pāmahana me te matotoru kiriata.
LPCVD - Ko nga kiriata angiangi kua tukuna e LPCVD ka pai ake te kapi o te hikoi, te pai o te hanganga me te mana o te hanganga, te reiti me te whakaputanga teitei. I tua atu, kaore e hiahiatia e te LPCVD te hau kaikawe, na reira ka tino whakaitihia te puna o te parahanga matūriki, ka whakamahia nuitia i roto i nga umanga semiconductor utu nui mo te whakahekenga kiriata angiangi.

 

Nau mai ki nga kaihoko mai i nga wa katoa o te ao ki te toro mai ki a maatau mo etahi atu korero!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/