Ko te oumu tipu tioata te taputapu matua mocarbide silicontipu tioata. He rite tonu ki te oumu whakatipu karaihe kirikiri kiriata tuku iho. Ko te hanganga oumu ehara i te mea tino uaua. Ko te nuinga o te tinana o te oumu, te punaha whakamahana, te tikanga tuku porowhita, te tangohanga me te punaha ine, te punaha ara hau, te punaha whakamahana, te punaha whakahaere, me era atu.tioata carbide siliconpenei i te kounga, te rahi, te kawe me etahi atu.
I tetahi taha, te pāmahana i roto i te tipu otioata carbide siliconhe tiketike rawa, kaore e taea te aroturuki. No reira, ko te tino uaua kei roto i te mahi tonu. Ko nga tino uaua e whai ake nei:
(1) He uaua ki te whakahaere i te mara waiariki:
Ko te aro turuki i te kohao teitei-teitei kati he uaua me te kore e taea te whakahaere. He rereke mai i te rongoa tuku iho i runga i te hiako-a-te-a-te-toi i nga taputapu tipu karaihe me te tohu teitei o te miihini me te maataki me te whakahaere i te tipu o te karaihe karaihe, ka tipu nga kiripiri carbide silicon i roto i te waahi kati i roto i te taiao teitei-teitei i runga ake i te 2,000 ℃, me te pāmahana tipu. me tika te whakahaere i te wa o te whakaputanga, he uaua te whakahaere i te pāmahana;
(2) He uaua ki te whakahaere i te ahua karaihe:
Ko nga micropipes, ko te whakauru polymorphic, ko nga wehenga me etahi atu koha ka puta i te wa o te tipu, ka pa ana, ka whanake tetahi ki tetahi. Ko nga paipa moroiti (MP) he momo kohakore me te rahi o te maha o nga microns ki te tekau nga microns, he koha kino o nga taputapu. Ko nga tioata kotahi o te Silicon carbide he nui atu i te 200 nga momo karaihe rereke, engari he iti noa nga hanganga karaihe (momo 4H) ko nga rauemi semiconductor e hiahiatia ana mo te hanga. Ko te whakarereketanga o te ahua kiriata he ngawari ki te puta i te wa o te tipu o te tipu, ka puta ko nga hapa whakauru polymorphic. Na reira, me tika te whakahaere i nga tawhā penei i te ōwehenga silicon-carbon, te rōnaki pāmahana tipu, te tere o te tipu karaihe, me te pehanga rere hau. I tua atu, he rōnaki pāmahana i roto i te papa waiariki o te silicon carbide tupu karaihe kotahi, e arai ki te ahotea o roto taketake me te hua dislocations (basal plane dislocation BPD, screw dislocation TSD, taha dislocation TED) i roto i te tukanga tipu tioata, na reira. ka pa ki te kounga me te mahi o te epitaxy me nga taputapu ka whai ake.
(3) Te whakahaere doping uaua:
Ko te whakaurunga o nga poke o waho me tino whakahaere kia whiwhi i te karaihe conductive me te doping aronga;
(4) Te tere tipu haere:
He tino puhoi te tipu o te carbide silicon. Me 3 noa nga ra e tipu ai nga taonga hiraka tuku iho hei rakau karaihe, engari me 7 nga ra mo nga rakau karaihe carbide. Ko tenei ka arahi ki te iti rawa o te whakaputanga o te carbide silicon me te iti rawa o te whakaputanga.
I tetahi atu taha, ko nga tohu o te tipu o te epitaxial silicon carbide e tino hiahia ana, tae atu ki te hau o nga taputapu, te pumau o te pehanga hau i roto i te ruma tauhohenga, te mana tika o te wa whakauru hau, te tika o te hau. ōwehenga, me te tino whakahaere o te pāmahana waipara. Ina koa, me te whakapai ake i te taumata ngaohiko o te taputapu, kua tino piki te uaua ki te whakahaere i nga tawhā matua o te wafer epitaxial. I tua atu, me te piki ake o te matotoru o te paparanga epitaxial, me pehea te whakahaere i te riterite o te parenga me te whakaiti i te kiato koha i te wa e whakarite ana ko te matotoru tetahi atu wero nui. I roto i te punaha whakahaere hiko, he mea tika ki te whakauru i nga pukoro tino-tika me nga kaitahuri hei whakarite kia taea te whakarite tika me te mau tonu nga momo tawhā. I te wa ano, he mea nui ano te arotautanga o te algorithm mana. Me kaha ki te whakatika i te rautaki whakahaere i roto i te waa tuuturu kia rite ki te tohu urupare ki te urutau ki nga huringa rereke i roto i te tukanga tipu epitaxial silicon carbide.
Nga uauatanga matua i rototïpako carbide siliconhangahanga:
Wā tuku: Hune-07-2024