Ko te reanga tuatahi o nga rauemi semiconductor e tohuhia ana e te silicon tuku iho (Si) me te germanium (Ge), koinei te putake mo te hanga iahiko whakauru. E whakamahia nuitia ana i roto i te ngaohiko iti, te iti-auau, me te iti-kaha transistors me te puhoi. Neke atu i te 90% o nga hua semiconductor he Made of silicone-based material;
Ko nga rauemi semiconductor reanga tuarua e tohuhia ana e te gallium arsenide (GaAs), te indium phosphide (InP) me te gallium phosphide (GaP). Ka whakatauritea ki nga taputapu-a-silicon, kei a raatau nga waahanga optoelectronic teitei me te tere tere me te whakamahi whanui i nga mara o te optoelectronics me te microelectronics. ;
Ko te reanga tuatoru o nga rauemi semiconductor e tohuhia ana e nga mea ka puta ake penei i te silicon carbide (SiC), gallium nitride (GaN), zinc oxide (ZnO), taimana (C), me te konumohe nitride (AlN).
Silicon carbidehe rauemi taketake nui mo te whanaketanga o te ahumahi semiconductor tuatoru-whakatupuranga. Ka taea e nga taputapu hiko Silicon carbide te whakatutuki i te kaha teitei, te iti me nga whakaritenga mama o nga punaha hiko hiko me o raatau tino pai o te ngaohiko teitei, te teitei o te pāmahana, te iti o te mate me etahi atu taonga.
Na te mea he pai ake nga ahuatanga o te tinana: te aputa roopu teitei (e rite ana ki te papa hiko pakaru nui me te kiato mana teitei), te kawe hiko teitei, me te kaha o te waiariki, ko te whakaaro ka noho hei rauemi taketake mo te hanga maramara semiconductor a meake nei. . Ina koa i roto i nga waahi o nga waka hiko hou, te whakaputa hiko whakaahua, te whakawhiti tereina, te matiti atamai me etahi atu mara, he tino painga.
Ko te tukanga whakaputa SiC kua wehea kia toru nga waahanga nui: SiC te tipu karaihe kotahi, te tipu o te paparanga epitaxial me te hanga taputapu, e rite ana ki nga hononga nui e wha o te mekameka ahumahi:tïpako, epitaxy, nga taputapu me nga waahanga.
Ko te tikanga auraki o te whakangao i nga taputapu i te tuatahi ka whakamahi i te tikanga whakaheke kohu tinana ki te whakaheke i te paura i roto i te taiao korehau teitei, me te whakatipu i nga kiripiri carbide silicon ki runga i te mata o te karaihe kakano na roto i te mana o te mara pāmahana. Ma te whakamahi i te angiangi carbide silicon hei tïpako, ka whakamahia te waipara kohu matū ki te whakatakoto i tetahi paparanga karaihe kotahi ki runga i te angiangi hei hanga i te angiangi epitaxial. I roto i a raatau, ko te whakatipu i te paparanga epitaxial silicon carbide i runga i te taputapu carbide silicon conductive ka taea te hanga ki nga taputapu hiko, e whakamahia ana i roto i nga waka hiko, photovoltaics me etahi atu mara; te whakatipu i te paparanga epitaxial gallium nitride i runga i te ahua-waiawatïpako carbide siliconKa taea ano te hanga hei taputapu auau reo irirangi, whakamahia i roto i nga korero 5G me etahi atu mara.
I tenei wa, ko nga taputapu carbide silicon te teitei o nga arai hangarau i roto i te mekameka ahumahi silicon carbide, a ko nga taputapu carbide silicon te tino uaua ki te whakaputa.
Kaore ano kia tino whakatauhia te pounamu whakaputa o te SiC, a, ko te kounga o nga pou karaehe rauemi mata he kore e pumau, he raruraru hua, e arai ana ki te utu nui o nga taputapu SiC. E 3 noa nga ra e tika ana mo te tipu o nga rawa hiraka hei rakau karaihe, engari ka pau te wiki mo te rakau kirikiri karaiha. Ka taea te 200cm te roa o te rakau kirikiri karaehe whanui, engari ka taea e te 2cm te roa o te kaarai kirikiri karaehe. I tua atu, ko te SiC ano he mea uaua, he pakarukaru hoki, a ko nga mea angiangi i mahia mai i tera ka kaha ki te maramara taha ina whakamahi ana i nga miihini tapatapahi angiangi, e pa ana ki te hua me te pono. He tino rerekee nga taputapu SiC mai i nga miihini silicon tuku iho, me nga mea katoa mai i nga taputapu, nga tukanga, te tukatuka ki te tapahi me whakawhanake hei hapai i te carbide silicon.
Ko te mekameka ahumahi carbide silicon te nuinga kua wehea ki nga hononga nui e wha: substrate, epitaxy, taputapu me nga tono. Ko nga rauemi papaahi te turanga o te mekameka ahumahi, ko nga rauemi epitaxial te matua ki te hanga taputapu, ko nga taputapu te kaupapa matua o te mekameka ahumahi, ko nga tono te mana whakahaere mo te whanaketanga ahumahi. Ka whakamahia e te ahumahi whakarunga nga rauemi mata hei hanga i nga rawa tïpako na roto i nga tikanga whakaheke kohu tinana me etahi atu tikanga, katahi ka whakamahi i nga tikanga whakangao kohu matū me etahi atu tikanga ki te whakatipu rauemi epitaxial. Ka whakamahia e te ahumahi o waenga awa nga rauemi whakarunga ki te hanga i nga taputapu reo irirangi, nga taputapu hiko me etahi atu taputapu, ka whakamahia i te mutunga ki nga korero 5G o raro. , nga waka hiko, te whakawhiti tereina, me etahi atu, kei roto i a raatau, ko te substrate me te epitaxy te kaute mo te 60% o te utu o te mekameka ahumahi me te mea nui o te mekameka ahumahi.
Tïpako SiC: I te nuinga o te wa ka hangaia nga tioata SiC ma te whakamahi i te tikanga Lely. Ko nga hua auraki o te ao kei te whakawhiti mai i te 4 inihi ki te 6 inihi, a, kua whakawhanakehia nga hua taputapu 8-inihi. He 4 inihi te nuinga o nga taputapu o roto. I te mea ka taea te whakahou me te whakarereke i nga raina hanga wafer silicon 6-inihi ki te whakaputa i nga taputapu SiC, ka mau tonu te waahanga nui o te maakete o nga taputapu SiC 6-inihi mo te wa roa.
He uaua, he uaua hoki ki te whakaputa i te tukanga tïpako silicon carbide. Ko te tïpako carbide silikono he maataa-a-waa-a-waa-a-waa-a-waa-a-waa e rua nga waahanga: te waro me te hiraka. I tenei wa, ko te nuinga o te ahumahi e whakamahi ana i te paura waro parakore teitei me te paura silicon parakore hei rauemi mata hei whakahiato i te paura carbide silicon. I raro i te mara pāmahana motuhake, ka whakamahia te tikanga tuku kohu tinana pakeke (tikanga PVT) ki te whakatipu carbide silicon o nga rahi rereke i roto i te oumu tipu karaihe. I te mutunga ka tukatukahia te ingot karaihe, tapahia, whenua, whakakoi, horoia me etahi atu tukanga maha hei whakaputa i te taputapu carbide silicon.
Te wa tuku: Mei-22-2024